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公开(公告)号：CN217153145U
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202220719000.7
申请日：2022-03-30
申请人： 宁波恒普真空科技股份有限公司
摘要： 本实用新型公开一种进出气装置，涉及烧结炉相关领域，包括设置于烧结炉上的出气装置和进气装置；出气装置包括与烧结炉的腔内连通的出气通道，出气通道远离烧结炉的一端设置有第一限位装置，第一限位装置与出气通道之间设置有与出气通道密封接触连接的第一封堵装置；在烧结炉腔内的气压下，第一封堵装置与出气通道之间形成供气体流通的开口；进气装置包括与密封箱内部连通的进气通道，进气通道一端固定设置有第二限位装置，第二限位装置与进气通道之间设置有与进气通道密封接触连接的第二封堵装置；在烧结炉腔内的密封箱的内外压差下，第二封堵装置与进气通道之间能够形成供气体流通的开口。本实用新型能够在工艺处理过程中使进出气压力控制恒定。
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公开(公告)号：CN217149399U
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202220701779.X
申请日：2022-03-29
申请人： 宁波恒普真空科技股份有限公司
摘要： 本实用新型公开一种半导体设备密封锁紧机构，涉及半导体设备技术领域；包括炉膛、炉盖、驱动机构和锁紧机构，所述炉膛内设有反应腔室，所述炉膛内的反应腔室内用于放置半导体原料，所述锁紧机构设置于所述炉膛底部，所述驱动机构能够控制所述锁紧机构将所述炉盖与所述炉膛密封连接。本实用新型提供的半导体设备密封锁紧机构，使炉盖和炉膛安装及拆卸操作简单，提高了工作效率。
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公开(公告)号：CN217081403U
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202220905671.2
申请日：2022-04-19
申请人： 宁波恒普真空科技股份有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种感应加热炉的可调密封压缩量结构，包括石英管、金属炉膛、密封组件和调节螺栓，石英管的两端分别套设于一金属炉膛内，密封组件设置于石英管和金属炉膛之间，使石英管和金属炉膛之间密封，调节螺栓贯穿金属炉膛的端面与密封组件相抵触，密封组件在石英管的轴线方向上能够发生形变。本实用新型能通过调节螺栓对密封组件施加压力，改变其变形量，进而提升其对石英管腔体的密封性能；可在极限真空度不佳的情况下，通过增加调节螺栓对密封组件的压力，实现极限真空度的提高，通过调节螺栓减少密封组件对石英管的压力，使得石英管更容易装入金属炉膛。
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公开(公告)号：CN217077865U
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202220859316.6
申请日：2022-04-14
申请人： 宁波恒普真空科技股份有限公司
摘要： 本实用新型公开一种高频双线圈感应加热的碳化硅单晶生长装置，涉及碳化硅单晶的制备及晶体生长技术领域。本实用新型提供的碳化硅单晶生长装置，采用上下两组感应线圈分别对坩埚下部(原料处)和上部(籽晶处)进行感应加热，并且两组感应线圈可分别上下移动，本生长装置还采用籽晶轴旋转升降机构，可以在单晶生长过程中旋转籽晶或者改变籽晶的位置，可抵消利用改变感应线圈上下位置的方法来改变轴向温度梯度时引起的径向温度梯度耦合的影响，以此获得可控的轴向温度梯度和径向温度梯度，解决了传统线圈感应加热无法同时独立控制坩埚下部(原料处)和上部(籽晶处)的温度以及无法独立控制轴向温度梯度和径向温度梯度的问题。
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公开(公告)号：CN216923211U
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202220458262.2
申请日：2022-03-04
申请人： 宁波恒普真空科技股份有限公司
IPC分类号： F16K1/00 , F16K1/32 , F16K31/122
摘要： 本实用新型公开一种加压挡板阀，包括阀体、挡板和气缸，挡板设置在阀体的一侧或者阀体内部，当挡板设置在阀体一侧时，挡板位于压力容器的出风口处，气缸设置在阀体的一端，与气缸的伸缩端相连的连接轴的另一端贯穿阀体后与挡板相连；阀体的顶部或底部开设卸压口；当挡板设置在阀体内部时，阀体的一侧位于压力容器的出风口处，气缸设置在阀体的顶端，与气缸的伸缩端相连的连接轴的另一端与挡板相连，阀体的底部与挡板对应的位置开设卸压口；连接轴与阀体之间设置有密封组件，密封组件用于保证阀体腔室的密封。该加压挡板阀，阀门可以在压力容器上使用；进气端压力上升，阀门依然可以正常关闭；减少了阀门的动作压差与气缸尺寸的限制。
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公开(公告)号：CN216801684U
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202220023614.1
申请日：2022-01-07
申请人： 宁波恒普真空科技股份有限公司
摘要： 本实用新型公开一种多向气氛烧结炉，涉及烧结炉及烧结工艺技术领域；包括料箱，所述料箱的前部、后部、中部、左部和右部等均分别设置有气氛控制机构，所述气氛控制机构包括进气机构和出气机构，气体能够通过所述进气机构流入所述料箱，并通过所述出气机构流出料箱，从而形成气体在料箱内外的流动。该工艺包括，步骤一，通过料箱至少一个方向上的气氛控制机构作为进气机构向料箱内充入气体；步骤二，通过料箱除步骤一之外，其他方向上的至少一个气氛控制机构作为出气机构排出料箱内的气体。本实用新型使得料箱多个方向均能进气和出气，从而避免了气流死角和气流行程太长的问题。
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公开(公告)号：CN216745479U
公开(公告)日：2022-06-14
申请号：CN202220088889.3
申请日：2022-01-14
申请人： 宁波恒普真空科技股份有限公司
摘要： 本实用新型公开一种烧结炉电极绝缘结构，包括金属电极棒、加热电极棒和绝缘套，所述加热电极棒穿过隔热材上的电极孔后与炉体水夹套上电极法兰处设置的所述金属电极棒通过螺纹进行连接导通，所述金属电极棒和加热电极棒的连接处套设有绝缘套组件。本实用新型中的烧结炉绝缘结构，通过在金属电极棒和加热电极棒的连接处增设绝缘套以及其他组件，可以对烧结炉内的杂质进行拦截，防止杂质粉末接触到电极，造成电极短路，产生打火现象，造成炉内部件烧坏，降低元器件的使用寿命。
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公开(公告)号：CN216558300U
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202123286465.2
申请日：2021-12-24
申请人： 宁波恒普真空科技股份有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种开闭隔热门及其烧结炉，涉及烧结炉技术领域，包括：隔热门，隔热门用于盖住隔热筒；密封箱门，密封箱门固定于隔热门上，密封箱门用于盖住密封箱；隔热材固定架，隔热门固定于隔热材固定架上，密封箱门和隔热材固定架分别位于隔热门的两侧；第一推圈，第一推圈的第一端铰接于隔热材固定架上；第二推圈，第二推圈的第一端铰接于隔热材固定架上；转轴固定座，转轴固定座固定于炉门焊板上；连接板，第二推圈的第二端固定于连接板上，连接板的第一端铰接于转轴固定座上；执行机构，执行机构能够做直线伸缩运动，执行机构的伸缩端铰接于连接板的第二端。本实用新型能够增大隔热门的开度，从而提高烧结炉的冷却效果。
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公开(公告)号：CN211854924U
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN202020249474.0
申请日：2020-03-04
申请人： 宁波恒普真空技术有限公司
IPC分类号： F27D9/00
摘要： 本实用新型公开一种冷却系统，涉及冷却装置技术领域，烧结炉包括炉体，所述炉体内部设置有隔热筒，所述隔热筒的端部设置有隔热门，所述炉体端部设置有可开启的封头，所述封头上设置有冷却机构；冷却机构包括冷却器、叶轮和驱动装置；所述叶轮设置于所述隔热门环与所述封头的内侧面之间，所述驱动装置用于驱动所述叶轮，通过向炉体的冷却夹套通入循环冷却水对炉体进行冷却，通过冷却机构实现炉体内部的气流循环，将炉体内部的热量通过冷却器排出，两种冷却方式配合，冷却快速且效率高，能够大大缩短生产周期，提高生产效率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN208261850U
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201820877046.5
申请日：2018-06-07
申请人： 宁波恒普真空技术有限公司
IPC分类号： B22F3/10
摘要： 本实用新型公开了一种用于金属粉末注射成形的脱脂烧结炉，包括炉体，炉体下部通过闸门装置连接有升降旋转装置，升降旋转装置的外壳与闸门装置连接，外壳上设有装卸料门，外壳内部设有升降旋转机构，升降旋转机构上端设有放料平台，放料平台与炉体之间设有间隙，放料平台在升降旋转机构的驱动下能够通过闸门装置进出炉体，并能够在炉体内旋转。本实用新型可使产品受热更加均匀，并提高生产效率。
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