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公开(公告)号：CN107561106B
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN201710772595.6
申请日：2017-08-31
申请人： 长江存储科技有限责任公司
IPC分类号： G01N23/2251 , G01B15/00 , G01B15/04
摘要： 本申请公开了一种条痕状形貌表征参数的测量方法，用于对深孔蚀刻中条痕状形貌的严重程度进行量化测量，该方法包括：获取电子扫描显微镜输出的孔剖面图像，识别孔剖面图像中孔的中心点坐标；获取经过中心点坐标的n条直径的长度值，n为大于1的整数；计算n条直径的长度值的方差，将方差作为该孔的条痕状形貌表征参数。本申请还公开了一种条痕状形貌表征参数的测量装置。
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公开(公告)号：CN111174737A
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201911079861.2
申请日：2019-11-06
申请人： 本田技研工业株式会社
摘要： 本发明提供一种即使在输送时产生计测位置的偏移也能够准确地计测涂覆量的涂覆量的计测方法。一种对利用涂覆机(30)涂布到被输送的片状基材(2)的涂覆物(3)的涂覆量进行计测的涂覆量的计测方法，其包括：第一轮廓制作工序，在涂覆机的上游侧沿输送方向取得表示片状基材的凹凸形状的第一计测信息，制作在片状基材上设定出的计测范围的第一凹凸轮廓；第二轮廓制作工序，在涂覆机的下游侧沿输送方向取得表示片状基材的凹凸形状的第二计测信息，制作计测范围的第二凹凸轮廓；以及涂覆量算出工序，基于将第一凹凸轮廓的形状和所述第二凹凸轮廓的形状匹配时的位置关系，根据第一计测信息和第二计测信息之间的差量来算出涂覆量。
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公开(公告)号：CN110570526A
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201910842886.7
申请日：2019-09-06
申请人： 南京航空航天大学
摘要： 本发明涉及一种拓扑信息引导的三维点阵结构件内部几何数据获取方法，包括以下步骤：通过CT扫描三维点阵结构件，依次对得到的每一帧图像数据，提取所有的闭合轮廓特征线，并找到所述闭合轮廓特征线的中心点；对三维点阵结构件中的三维点阵单元进行分离，并将分离得到的每个三维点阵单元中所述杆件轮廓特征线的中心点与杆件对应起来；通过拟合对应于同一杆件的所有杆件轮廓特征线的中心点得到该杆件的骨架线；将任意两根骨架线对应的空间向量进行点乘，就得到这两根骨架线对应杆件之间的夹角。本发明可以快速测量三维点阵结构件的内部几何数据特征，能够评估三维点阵结构件的最终性能。
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公开(公告)号：CN110060936A
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：CN201910025777.6
申请日：2019-01-11
申请人： 三星电子株式会社
摘要： 提供了一种晶圆测量设备、一种晶圆测量系统以及一种制造半导体装置的方法。用于测量形成在晶圆上的第一测量目标的可测量特性的晶圆测量系统包括存储器和处理器。存储器配置为存储晶圆的图像、均包括至少一条线的多个模板以及测量程序。处理器可访问存储器并且配置为执行包括在测量程序中的多个模块。模块包括：模板选择模块，配置为接收模板，并且选择与第一测量目标的形状对应的测量模板；模板匹配模块，配置为将测量模板与第一测量目标进行匹配；测量模块，配置为基于测量模板的位置信息来测量第一测量目标的可测量特性。
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公开(公告)号：CN109975331A
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201711413935.2
申请日：2017-12-24
申请人： 镇江华尔科通信有限公司
发明人： 韩防汛
摘要： 本发明公开了一种高能射线束成像装置及其方法，包括计算成像装置和光束发射组件，所述计算成像装置连通所述光束发射组件，所述光束发射组件包括高能射线箱和光束管，所述高能射线箱的右侧连接所述光束管，所述光束管连接放射装置，所述放射装置顶部设有环盘，所述环盘内部设有磁铁，所述环盘底部连接初级散射泊，所述初级散射泊底部设有次级散射泊，所述次级散射泊左右两侧对称设有准直锥，所述次级散射泊底部连接电离室，所述电离室底部设有磁极腔体，所述磁极腔体底部连接限光筒，所述限光筒底部连接投射成像口。本发明整个采集过程智能化程度高，操作非常方便、快捷，计算分析的结果更加精确。
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公开(公告)号：CN109873740A
公开(公告)日：2019-06-11
申请号：CN201910243006.4
申请日：2019-03-28
申请人： 北京科技大学
摘要： 本发明提供一种机械摆动雷达数据通信系统，能够增强机械摆动雷达数据通信系统的通信可靠性。所述系统包括：无线发射系统，无线接收系统以及监控中心；其中，所述无线发射系统和无线接收系统位于同一个密闭空间中；所述无线发射系统包括：与天线连接的射频单元、处理器和基于WiFi通信的无线发射单元；所述射频单元，用于在所述处理器的控制下，产生调频连续波，并依据产生的所述连续调频波，获取雷达回波数据并将获取的雷达回波信号传输至所述处理器；所述处理器，用于将接收到的雷达回波数据通过无线发射单元传送至无线接收系统；所述无线接收系统，用于将接收到的雷达回波数据传送至监控中心。本发明涉及雷达测量技术领域。
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公开(公告)号：CN109813259A
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201910048057.1
申请日：2019-01-18
申请人： 中北大学
摘要： 本发明提供一种融合CT成像方法、存储介质和装置，该方法包括：步骤11：采用预设低能量进行全角度扫描，获得第一图像集；步骤12：提取每个第一图像的工件投影区域和边缘轮廓信息；计算每个第一图像的灰度值，将最大或最小灰度值对应的扫描角度记为θ1；步骤14：固定θ1角度逐步调整X射线能量对被测物进行成像，获得第二图像集，定位目标第二图像，将目标第二图像的平均灰度值记为H1、管电压记为V1、管电流记为I1；步骤15：从θ1开始全角度扫描，获得第三图像集；步骤16：基于非线性扩散方程将第三图像集恢复为完整的CT二维图像集。基于本发明的方法，相比现有的递变能量CT成像技术，能极大减小曝光次数，延长射线管的使用寿命。
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公开(公告)号：CN109540945A
公开(公告)日：2019-03-29
申请号：CN201811006292.4
申请日：2018-08-30
申请人： 北京化工大学
摘要： 本发明公开了一种定量表征碳纤维物理结构的方法，包括：(1)将碳纤维束丝置于液氮冷冻后脆断，脆断后的碳纤维用样品台固定并喷金处理，采用扫描电子显微镜获得碳纤维的截面形貌；(2)采用Photoshop软件对碳纤维的截面特征进行有效提取；(3)获得碳纤维表面沟槽深度、宽度、个数的统计信息；(4)基于步骤(3)的统计信息，计算碳纤维的圆形度、沟槽深宽比、表面不规整度以及沟槽密集程度。采用该方法可以得到碳纤维圆形度、沟槽深宽比、表面不规整度以及沟槽密集程度物理量，从而为碳纤维性能研究提供有力指导。
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公开(公告)号：CN105102923B
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201480005933.8
申请日：2014-01-24
申请人： 沃思测量技术股份有限公司
IPC分类号： G01N23/046 , G01B15/00 , G01B15/04 , G01B5/00
摘要： 本发明涉及一种用于至少应用计算机层析X射线摄影术传感装置来确定物体上的结构的几何形状的方法，该计算机层析X射线摄影术传感装置至少由辐射源、机械旋转轴和探测器、优选地面探测器组成，其中通过计算机层析X射线摄影术传感装置例如在材料过渡的区域中生成表面测量点。为了利用任意的额定几何形状、特别是在没必要存在CAD模型的情况下来选择为了确定几何形状特征而要使用的表面测量点，提出：为了确定几何形状特征使用表面测量点，所述表面测量点基于可预先给定的规则被分配给要确定的几何形状特征，并且从所分配的表面测量点确定几何形状特征。
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公开(公告)号：CN101658683B
公开(公告)日：2018-08-28
申请号：CN200910171598.X
申请日：2009-08-25
申请人： 克朗斯股份有限公司
CPC分类号： A61L2/087 , A61L2/082 , A61L2/10 , A61L2/24 , A61L2202/14 , A61L2202/23 , B65B55/08 , B67C7/0073
摘要： 本发明涉及一种消毒容器(10)的方法和装置。其中，将处理头部(5)引入待消毒容器(10)的内部，在预设时间段(dT)内，所述处理头部(5)在所述容器(10)内部至少间歇性地射出辐射物，其中，在所述预设时间段(dT)内，所述容器(10)至少间歇性地相对于所述处理头部(5)以相对运动速度(v)沿所述容器(10)的纵向(L)移动。根据本发明，位于所述容器(10)内部的所述处理头部(5)的该相对运动速度(v)，在所述预设时间段内变化，并将该相对运动速度(v)作为所述容器(10)内部轮廓(10a)的函数进行控制。
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