-
公开(公告)号：CN118335639A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410381386.9
申请日：2024-03-29
申请人： 深圳综合粒子设施研究院
IPC分类号： H01L21/66 , G01N23/04 , G01N23/20 , G01N23/20008 , G01N21/64 , G01B15/02 , G01B15/08 , G01B11/06 , G01B11/30 , G01N9/36 , G01N9/24
摘要： 本发明适用于半导体技术领域，提供了一种薄膜检测装置，包括沿X射线的传播方向设置的X射线发生器、样品架与检测单元，还包括能量探测器、第一转动机构与第二转动机构。在工作时X射线发生器所发出的X射线束以掠入射的方式入射到样品表面，同时第一转动机构驱动样品以及样品架绕第一轴线转动，检测单元在第二转动机构的驱动下绕第一轴线公转。与现有技术相比，通过检测单元对样品反射的反射光束进行检测，以及通过能量探测器对样品表面所激发的荧光信号进行检测，实现两种测量方式的联合使用，即可以满足对晶圆及其他类型薄膜材料的膜厚度、密度、粗糙度等膜特征的测量，也可以对晶圆及其他类型薄膜材料的元素组分和含量进行精确检测。
-
公开(公告)号：CN118258332A
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202410464869.5
申请日：2024-04-18
申请人： 宁波市劳动安全技术服务有限公司
摘要： 本发明涉及数字射线检测领域，且公开了一种数字射线检测设备，包括扫描机构，所述扫描机构用于对管道上焊缝的内侧进行扫描，所述扫描机构包括环形轨道，当对所述管道检测时，将所述环形轨道配置在所述管道的外部并与所述管道同心；射线发生器，固定安装在活动件的外壁，用于对所述管道内壁的焊缝进行物理特征信息扫描。本发明通过对一整圈焊缝进行物理特征信息的采集，然后通过对物理特征信息进行分析，通过定义平滑度系数来对焊缝的平滑度进行判断，当不符合设定的平滑度时，则可以将信息发送至用户终端进行查看，或者将信息发送至激光器，通过激光器将激光打在缺陷位置，从而方便检修人员进行定位，提高了查找缺陷位置的效率。
-
公开(公告)号：CN117665032A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202410140334.2
申请日：2024-02-01
申请人： 国仪量子技术(合肥)股份有限公司
IPC分类号： G01N23/2251 , G01N23/2204 , G01B15/08
摘要： 本发明公开了一种扫描方法、装置、系统、存储介质和电子设备，扫描方法包括：获取待扫描样品的表面高度信息；根据表面高度信息，从待扫描样品的表面区域中确定待扫描区域；基于待扫描区域对应的扫描方式，对待扫描样品中与待扫描区域对应的部分进行扫描。本申请的扫描方法对待扫描样品进行分区扫描，不同区域对应的扫描方法不同，提高了扫描效率。
-
公开(公告)号：CN112364504B
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202011245688.1
申请日：2020-11-10
申请人： 中国石油大学(华东)
IPC分类号： G06F30/20 , G01B15/08 , G01N15/08 , G06F111/08 , G06F113/08
摘要： 本发明涉及基于CT扫描技术和Gabriel图的非均质多孔介质模型构建方法，包括步骤如下：信息；(2)绘制Delaunay三角形，更新获得Gabriel图；(3)生成一组孔隙宽度；(4)判断Gabriel图中是否含有无效网格边；(5)基于每条网格边的位置作为孔径分布，拓展孔隙宽度，遍布所有像素点；(6)对多孔介质模型中的光滑孔隙壁面进行粗糙化。本发明利用CT扫描技术获取真实岩心内孔隙壁面的粗糙度分布，利用Gabriel图构造的孔隙网络分布具有连通性差以及可以随机出现盲道的特点，与真实地层的更加贴近。(1)采用CT扫描技术获取孔隙结构以及粗糙壁面
-
公开(公告)号：CN111809600B
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN202010764393.9
申请日：2020-08-02
申请人： 中咨数据有限公司 , 中国公路工程咨询集团有限公司
摘要： 本发明公开了一种用于公路边坡整修机的多用途整修结构，同时，公开了一种用于公路边坡整修机的多用途整修结构的实施方法，现存在的技术，虽然解决了现有的公路边坡整修机功能单一，不方便移动以及工作效率低的问题，但无法通过磁力的转换来带动机械能对边坡端面进行整修，且无法有效的调节整体装置的可适用范围的问题。本发明能够通过磁力的转换来带动机械能对边坡端面进行整修，能够有效的调节整体装置的可适用范围。
-
公开(公告)号：CN108225224B
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN201711352834.9
申请日：2017-12-15
申请人： 马尔文帕纳科公司
发明人： 伊戈尔·亚历山德罗维奇·马霍金 , 谢尔盖·亚库宁
摘要： 本申请涉及模型独立的掠入射X射线反射率。用于通过GIXR将堆叠划分成子层并以数字P表示每个子层的组成来测量薄膜堆叠的性质的方法。数字P表示每层的组成。例如，整数可以表示纯材料，而分数值表示相邻的纯材料的混合物。随后使用该表示来拟合测量的数据，并且最佳拟合给出每个子层的材料组成的指示，并因此作为深度的函数。
-
-
公开(公告)号：CN112364504A
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN202011245688.1
申请日：2020-11-10
申请人： 中国石油大学(华东)
IPC分类号： G06F30/20 , G01B15/08 , G01N15/08 , G06F111/08 , G06F113/08
摘要： 本发明涉及基于CT扫描技术和Gabriel图的非均质多孔介质模型构建方法，包括步骤如下：(1)采用CT扫描技术获取孔隙结构以及粗糙壁面信息；(2)绘制Delaunay三角形，更新获得Gabriel图；(3)生成一组孔隙宽度；(4)判断Gabriel图中是否含有无效网格边；(5)基于每条网格边的位置作为孔径分布，拓展孔隙宽度，遍布所有像素点；(6)对多孔介质模型中的光滑孔隙壁面进行粗糙化。本发明利用CT扫描技术获取真实岩心内孔隙壁面的粗糙度分布，利用Gabriel图构造的孔隙网络分布具有连通性差以及可以随机出现盲道的特点，与真实地层的更加贴近。
-
公开(公告)号：CN110657765A
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201911107844.5
申请日：2019-11-13
申请人： 中国航发动力股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种喷嘴涡流器检测方法，通过以待测喷嘴涡流器中间轴线为基准轴线，建立待测喷嘴涡流器测量标准轴线，然后利用工业CT获取待测喷嘴涡流器的三维立体图，从而能够在对检测物体无损伤条件下，以三维立体图像的形式清晰、准确、直观地展示待测喷嘴涡流器内部的结构，然后对于获取的三维立体图中待测喷嘴涡流器待测量部位进行切片处理得到二维断层图像，在二维断层图所展示的二维平面内即可完成待测量部位的几何量尺寸，本方法不需要对待测喷嘴涡流器进行剖切测量，通过工业CT能够快速获取待测喷嘴涡流器内部结构，从而能够准确的测量待测喷嘴涡流器的待检测部位数据，为有效验证喷嘴涡流器加工质量提供了可靠的依据。
-
公开(公告)号：CN106352820B
公开(公告)日：2019-01-22
申请号：CN201610645840.2
申请日：2016-08-08
申请人： 中国科学院微电子研究所
IPC分类号： G01B15/08
摘要： 本发明提供一种线条粗糙度的测量方法及系统，确定多个像素阈值，并获得每个像素阈值下的边缘分布，在对边缘分布进行分析后，获得每个像素阈值下的线条粗糙度，通过对所有像素阈值下的线条粗糙度进行比较，选择线条粗糙度连续变化时的最小值作为待测结构的线条粗糙度。在该方法中，采用多像素阈值的方法，每次测试中对所有像素阈值下的线条粗糙度进行比较，选择线条粗糙度连续变化时的最小值作为待测结构的线条粗糙度，该线条粗糙度为最佳像素阈值下的测量值，测试结果更具有准确性，对于不同批次产品的测量，最佳像素阈值下的测量值为动态获得的，测试结果具有准确性和稳定性，能够真实反映刻蚀工艺是否达标，利于提高产品的良率和性能。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
131 条记录 (耗时 0.022 秒)
