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公开(公告)号：CN114674501A
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN202111607172.1
申请日：2021-12-25
申请人： 兰州空间技术物理研究所
IPC分类号： G01M3/20
摘要： 本申请涉及测量技术领域，具体而言，涉及一种静态漏率测量装置及方法，所述装置包括标准漏孔、集气系统、供气系统、非蒸散性吸气剂泵以及真空泵，其中：待测件设置在集气系统内部，标准漏孔与集气系统连接；供气系统与待测件连接；非蒸散性吸气剂泵与集气系统连接；真空泵分别与集气系统和待测件连接。本申请简单易行，成本低，能够用于不同量级、多种示漏气体的待测件校准，延伸了漏率测量范围，可实现同步对多台待测件进行测量，提高了测量效率，还实现了对不同形状、不同尺寸的待测件的总漏率的测量以及对待测件整体密封性能的评价，保证了待测件的可靠性。
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公开(公告)号：CN114509490A
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202111594705.7
申请日：2021-12-24
申请人： 兰州空间技术物理研究所
IPC分类号： G01N27/62
摘要： 本发明公开了一种基于谱图迭代解析的超高/极高真空系统质谱测量方法。本发明对质谱直接测量结果进行二次数据分析处理，利用谱图的迭代解析对质谱原始测量数据进行整合处理，提取淹没在噪声中的有用微小信号，实现质谱图精准定性、定量分析，可大幅提升质谱分析仪器的动态范围特性，实现混合气体极小真空分压力痕量气体组分的定性、定量精确分析测量。
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公开(公告)号：CN114354058A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202111472942.6
申请日：2021-12-06
申请人： 兰州空间技术物理研究所
IPC分类号： G01L21/32
摘要： 本申请涉及真空测量技术领域，具体而言，涉及一种宽量程电离真空计规管，包括阴极、阳极、收集极、以及法兰组件，其中：阴极为侧置式阴极，位于阳极侧面；阳极为笼式半封闭栅网，收集极为细丝状收集极；阴极发射的电子经栅网进入栅网内部，在栅网内部多次振荡后，被收集极接收；法兰组件为宽量程电离真空计规管的真空系统的机械接口。本申请的宽量程电离真空计规管，既能够抑制电极漏放气的影响，还能具有较高灵敏度。
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公开(公告)号：CN111141506B
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN201911371532.5
申请日：2019-12-27
申请人： 兰州空间技术物理研究所
摘要： 本发明公开了一种极微小密封器件腔体气体压力和组分测量装置及方法。使用本发明能够实现气体密封器件内腔体容积在0.005cm3～0.1cm3之间的极微小密封器件腔体气体压力和组分含量的测量。本发明是一种静态膨胀和动态流量质谱分析法相结合的测量方法。双小孔结构既可以克服气体取样质量歧视效应，也可以确保压力测量腔和组分测量腔压力稳定。可以解决现有方法测量过程中被测密封器件腔体压力衰减快，质谱分析时序响应慢，无法实现密封器件内部腔体容积特别小的产品气体组分准确测量的难题。
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公开(公告)号：CN112781804A
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN202011486930.4
申请日：2020-12-16
申请人： 兰州空间技术物理研究所
IPC分类号： G01M3/26
摘要： 本发明公开了一种SF6漏率标定无级调节装置及方法。本发明通过外接SF6标准气体，采用微调阀实现配气室SF6进气压力的无级调节，由固定流导小孔和动态流量法原理实时、准确计算出产生的SF6标准漏率，能够实现宽范围SF6标准漏率的快速产生和无级调节，具有漏率调节范围宽、调节精度高、使用方便、工作可靠等优点，可以满足高压电气设备中微量SF6泄漏的精确测量和漏率标定需求，且仅需一台SF6标准漏率产生装置就能满足不同SF6漏率范围测试时的高精度漏率标定需求。
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公开(公告)号：CN112678765A
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN202011444277.5
申请日：2020-12-11
申请人： 兰州空间技术物理研究所
摘要： 本发明公开了一种基于浓硼掺杂的MEMS感压薄膜的制备方法，通过采用浓硼掺杂技术中自停止腐蚀工艺可精准控制薄膜厚度，可制备微米级薄膜，从而提高电容测量重复性，有效保证真空计实际生产制备；同时采用硼硅玻璃去除方案，能够有效去除薄膜表面生成的硼硅玻璃，消除硼硅玻璃造成的杂生电容影响，同时，可有力保证薄膜与玻璃的后续键合工艺品质。
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公开(公告)号：CN112599397A
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN202011478875.4
申请日：2020-12-14
申请人： 兰州空间技术物理研究所
摘要： 本申请涉及真空电子学技术领域，具体而言，涉及一种储存式离子源，包括阴极、电子聚焦系统、电离室以及电子收集极，其中：电子聚焦系统设置在阴极的上方，阴极产生的电子通过电子聚焦系统形成电子束流；电离室设置在电子聚焦系统与电子收集极之间，电离室的两侧设置有栅网，电离室与栅网之间形成均匀电场；电子束流通过均匀电场电离后，被电子收集极接收。本申请利用电子的空间电荷效应囚禁储存离子，使得离子的初始状态具有良好一致性，在引出离子源时，离子束的稳定性和均匀性得到很大提升。
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公开(公告)号：CN111146049A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201911360686.4
申请日：2019-12-25
申请人： 兰州空间技术物理研究所
摘要： 本发明公开了一种碳纳米管场发射阴极的小型离子源，包括碳纳米管阴极、电离室、准直磁铁、推斥电极、聚焦电极、离子出口电极和物缝电极；碳纳米管阴极产生的电子进入电离室，并在准直磁铁产生的磁场作用下电离中性气体，电离得到的离子束依次在推斥电极、电离室、聚焦电极、离子出口电极和物缝电极所加载电压产生的静电场的作用下，加速、聚焦于物缝电极的圆孔处；本发明能够在真空环境下具备较高的电子利用率和离子传输效率，进而提高离子源灵敏度。
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公开(公告)号：CN111141443A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201911362566.8
申请日：2019-12-26
申请人： 兰州空间技术物理研究所
摘要： 本发明公开了一种基于MEMS技术的电容薄膜真空计，基于MEMS技术，待测环境中气压的变化使感压薄膜产生位移，引起下基板电极与感压薄膜之间距离发生变化，从而改变了感压薄膜电极与下基板电极之间的电容值，通过测量电容值的大小即可得到待测环境的真空度，本发明能够显著降低真空计的尺寸和能耗，同时，通过根据测量需要使用不同参数的感压薄膜能够有效提高测量的灵敏度。
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公开(公告)号：CN107830914B
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201710852210.7
申请日：2017-09-19
申请人： 兰州空间技术物理研究所
IPC分类号： G01F25/00
摘要： 本发明公开了一种双通道对称结构的微流量校准装置和方法，该装置由供气系统、截止阀、针阀、压力计、监测压力计、抽气系统、流量校准室、流量比较室、温度采集系统、体积补偿系统、微流量测量仪器组成，通过管路连接构建了左右两个对称布置的通道，对称通道的形状对称，几何尺寸相同。结合体积补偿系统，通过分阶段测量，将出口压力、气体类型与温度对测量的影响降到最低，实现不同出口压力下、不同气体、不同温度下的微流量测量仪器的精确校准。
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