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公开(公告)号：CN114354058A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202111472942.6
申请日：2021-12-06
申请人： 兰州空间技术物理研究所
IPC分类号： G01L21/32
摘要： 本申请涉及真空测量技术领域，具体而言，涉及一种宽量程电离真空计规管，包括阴极、阳极、收集极、以及法兰组件，其中：阴极为侧置式阴极，位于阳极侧面；阳极为笼式半封闭栅网，收集极为细丝状收集极；阴极发射的电子经栅网进入栅网内部，在栅网内部多次振荡后，被收集极接收；法兰组件为宽量程电离真空计规管的真空系统的机械接口。本申请的宽量程电离真空计规管，既能够抑制电极漏放气的影响，还能具有较高灵敏度。
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公开(公告)号：CN107407612B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201680017058.4
申请日：2016-02-10
申请人： 株式会社爱发科
摘要： 本发明提供一种可减少从离子收集器表面释放的粒子的影响并无测量误差地测量出测量对象物的压力的三极管型电离真空计。三极管型电离真空计(IG)，具有：灯丝(2)；配置在灯丝周围的具有筒状轮廓的栅极(3)；以及在栅极周围同心配置的筒状离子收集器(4)。还具有：灯丝发光用的电源(E1)；施加给栅极高于灯丝电位的栅极用的电源(E2)；以及使灯丝电位高于离子收集器电位的电源(E3)。给灯丝的供给电力设置在4W以下，控制灯丝和栅极之间的发射电流在2mA～10mA的范围内。
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公开(公告)号：CN107407611B
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201680013476.6
申请日：2016-02-10
申请人： 株式会社爱发科
摘要： 本发明提供一种可减少从离子收集器表面释放的粒子的影响并无测量误差地测量出测量对象物的压力的三极管型电离真空计。三极管型电离真空计(IG)，具有灯丝(2)；配置在灯丝周围的具有筒状的轮廓的栅极(3)；以及在栅极周围同心配置的筒状的离子收集器(4)。离子收集器的母线方向的长度(L2)设定在栅极的母线方向的长度(L1)的6％～80％的范围内，省去离子收集器的母线方向的两端部的粒子释放区域。
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公开(公告)号：CN107407612A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201680017058.4
申请日：2016-02-10
申请人： 株式会社爱发科
摘要： 本发明提供一种可减少从离子收集器表面释放的粒子的影响并无测量误差地测量出测量对象物的压力的三极管型电离真空计。三极管型电离真空计(IG)，具有：灯丝(2)；配置在灯丝周围的具有筒状轮廓的栅极(3)；以及在栅极周围同心配置的筒状离子收集器(4)。还具有：灯丝发光用的电源(E1)；施加给栅极高于灯丝电位的栅极用的电源(E2)；以及使灯丝电位高于离子收集器电位的电源(E3)。给灯丝的供给电力设置在4W以下，控制灯丝和栅极之间的发射电流在2mA～10mA的范围内。
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公开(公告)号：CN104303033B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201380014817.8
申请日：2013-02-07
申请人： MKS仪器公司
发明人： G·A·布鲁克尔
IPC分类号： G01L21/32
摘要： 一种电离计，在控制由操作在高压下的溅射得到沉积的位置而测量压力，所述电离计包括至少一个发射电子的电子源，和限定电离体积的阳极。电离计还包括用于收集在电离体积中由电子与气体分子和原子之间的碰撞所形成的离子的收集器电极，以提供气体压力输出。电子源可以被定位在电离体积的端部处，使得电子源到溅射离开收集器电极和包层表面的原子束的暴露最小化。可替换地，电离计可以包括电离体积的外部的第一遮挡件，所述第一遮挡件被定位在电子源和收集器电极之间，并且可选地，处于包层和电子源之间的第二遮挡件，使得溅射离开包层的原子受到抑制不在电子源上沉积。
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公开(公告)号：CN101726390A
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200910206302.3
申请日：2009-10-13
申请人： ITT制造企业公司
摘要： 本发明涉及用于电离真空计的分子屏。本发明公开了一种用于测量真空中气体密度的系统，其包括量计、用于容纳量计的壳体以及紧固到壳体外表面上的磁体。磁体是柔性磁条，且布置在壳体的外表面周围。量计包括沿着壳体的管段纵向延伸的栅极绝缘体杆，磁体紧固到邻近栅极绝缘体杆的壳体的外表面上并沿栅极绝缘体杆的横向定向。磁体是柔性磁条，且夹具将磁体紧固到壳体的外表面上。
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公开(公告)号：CN112504553B
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202011418371.3
申请日：2020-12-07
申请人： 杭州盘古自动化系统有限公司
摘要： 本发明涉及热阴极电离真空计，具体为一种电离规发射电流压控恒流控制电路，包括电离规电路和旁路电流切换支路，旁路电流切换支路包括运算放大器U1、晶体管Q1和电阻R11、电容C1，运算放大器U1的同相输入端控制电压Vref作为量程转换和调节控制参数的压控输入端,运算放大器U1与晶体管Q1组成含有Qbe正向压降偏置的射极跟随器，通过运算放大器U1的供电端V+和控制电压Vref的设置，晶体管Q1的集电极与发射极电流相等，运算放大器U1使晶体管Q1接于反相输入端的发射极电位精确跟踪等于控制电压Vref，由控制电压Vref除以电阻R11所确定电流值并通过晶体管Q1的集电极所连接的阴极经由Qce和由电阻R11确定的电流值流入地AG。本发明结构新颖简单，方便实现电路任意规律补偿。
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公开(公告)号：CN110529728B
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN201910413702.5
申请日：2019-05-17
申请人： 昆明物理研究所
摘要： 本发明提供一种在线检测红外焦平面探测器杜瓦瓶寿命的装置及方法，包括真空室以及与真空室相连的若干工位接口，通过测量排气管与一个工位接口相连的测量组件；所述测量组件的另一端设有第二BA热阴极规管，第二BA热阴极规管依次与真空计、计算机相连。本发明通过实时在线检测真空获得关键工艺参数真空度，运用稀薄气体物理和真空技术原理，建立真空有用寿命与关键工艺参数的数学模型，进而得到气体源出气速率。有利于优化真空获得工艺，提高生产效率和降低生产成本，也能够有效地控制真空获得工艺质量参数，提高待测制冷型红外焦平面探测器杜瓦组件的高真空绝热能力和可靠性。
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公开(公告)号：CN112629747A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN202011592328.9
申请日：2020-12-29
申请人： 尚越光电科技股份有限公司
IPC分类号： G01L21/32
摘要： 本发明涉及一种用于高腐蚀性蒸汽压监测的离子真空计，解决目前常规的热阴离子真空计无法用于高腐蚀性蒸气压的实时监测的问题。本装置包括热阴极电离规管和测量电路，其特征在于：所述热阴极电离规管包括螺旋状的栅极，螺旋状的栅极的内侧设置有沿栅极螺旋轴线方向延伸的收集极，栅极外侧的一方或多方设置有热阴极灯丝，热阴极灯丝在栅极外侧多方设置时、各热阴极灯丝环绕栅极均匀设置，所述热阴极电离规管的外侧绕设有电加热装置，电加热装置上设置有热电偶。本发明在真空腔达到较高真空度后的高温、高腐蚀环境下持续、稳定监测蒸气压；且在真空腔停止工作升压、降温的状态下，利用电加热装置避免硒蒸气沉积到热阴极电离规管表面。
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公开(公告)号：CN110926694A
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201811091837.6
申请日：2018-09-19
申请人： 成都建极微波技术有限公司
发明人： 邓先树
IPC分类号： G01L21/32
摘要： 本发明公开了一种基于用永久磁铁的真空度测量仪，包括圆筒形的外包装体，在外包装体的中部处，轴向放置着待测真空开关管的空腔部分，所述外包装体的外围轴向放置着两层圆筒形的永久磁钢，永久磁钢由无磁不锈钢套筒包裹，其永久磁钢包括上层永久磁钢和下层永久磁钢，在上层永久磁钢的顶部沿内径边缘设有硅橡胶环，在上层永久磁钢和下层永久磁钢之间设有极靴片，在上层永久磁钢的上面设有上夹板。本发明的真空度测量仪的磁场装置，具有合理组合的磁铁结构，获得了有利于磁控放电的磁场分布，扩展了真空度测试仪的测量范围，提高了测量仪的关键技术指标，使测量范围扩展数量级,这是以往采用电磁线圈结构难以获得的。
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