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公开(公告)号：CN108051414A
公开(公告)日：2018-05-18
申请号：CN201711242277.5
申请日：2017-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京锐驰恒业仪器科技有限公司
CPC classification number: G01N21/6456 , G01N2021/6463 , G02B21/32
Abstract: 变焦光镊双光子显微成像装置和方法，属于光学显微成像与光学操控技术领域。本发明的技术特点是：装置包括：双光子照明模块、双光子扫描模块、双光子探测模块、光镊聚焦模块和光镊轴向调焦模块。本发明在常规光镊显微系统中增加由偏振分光镜、四分之一波片、低孔径物镜、管镜和平面反射镜组成的轴向调焦装置，实现共光路光镊双光子显微镜中光镊焦面的轴向移动，从而抓取悬浮样品实现轴向移动，完成双光子三维层析扫描成像。该发明具有装调简单，变焦与轴向层析速度快，和观测成本低的优点。
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公开(公告)号：CN108020505A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201711240871.0
申请日：2017-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京锐驰恒业仪器科技有限公司
IPC: G01N21/01
Abstract: 变焦共聚焦光镊显微成像装置和方法，属于光学显微成像与光学操控技术领域。本发明的技术特点是：装置包括：共聚焦照明模块、共聚焦轴向调焦模块、共聚焦扫描模块、共聚焦探测模块和光镊聚焦模块。本发明在常规光镊显微系统中增加由偏振分光镜、四分之一波片、低孔径物镜、管镜和平面反射镜组成的轴向调焦装置，实现共光路光镊共聚焦显微镜中共聚焦焦面的轴向移动，从而抓取悬浮样品实现轴向移动，完成共聚焦三维层析扫描成像。该发明具有装调简单，变焦与轴向层析速度快，观测成本低的优点。
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公开(公告)号：CN108007387A
公开(公告)日：2018-05-08
申请号：CN201711238050.3
申请日：2017-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/25
CPC classification number: G01B11/2518
Abstract: 基于结构光照明的面形测量装置和方法，属于光学显微成像与测量技术领域。本发明的技术特点是：装置包括：结构光照明模块、轴向扫描模块和探测模块。本发明在常规结构光照明显微系统中增加由偏振分光镜、低孔径物镜、管镜和平面反射镜等组成的轴向扫描装置，实现结构光照明条纹在被观测样品空间的高速轴向移动，并且利用窗口傅里叶变换对不同z向位置条纹投影下拍摄的图片进行处理，计算每个子区域图像在投影条纹频率处的相关系数，获取每个横向位置清晰度轴向响应曲线，曲线的峰值位置即为样品该横向位置的相对高度，最终获取样品表面面形。该发明具有装调简单，轴向扫描速度快，测量结果受样品表面反射率差异影响小和信噪比高的优点。
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公开(公告)号：CN104359419B
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201410617213.9
申请日：2014-11-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 差动结构光大曲率样品微观形貌测量膜厚校正装置和方法属于光学显微成像领域；该装置包括：激光光源、准直镜、正弦光栅、透镜、第一管镜、第一二向色镜、物镜、样品、第二二向色镜、第一滤光片、第二管镜、第一制冷CCD、第二滤光片、第三管镜、第二制冷CCD、载物台。每个被测平面光栅做三次相位平移，每个相位处，使样品表面出射的信号通过滤光片，取第一制冷CCD和第二制冷CCD收集信号之差。解调运算可以得到荧光膜上表面和样品表面两层结构信息，取下面一层信息即测得微观光滑曲率样品的表面形貌信息。
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公开(公告)号：CN106908017A
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201710104479.7
申请日：2017-02-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/30
CPC classification number: G01B11/303
Abstract: 基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置及其测量方法，属于光学精密测量技术领域，本发明为解决由于样品表面的荧光中介层的不均匀，导致面形高度误差大的问题。本发明所述基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置的测量方法，在待测样品表面镀一层金属荧光薄膜；激光器发出激光光束经准直镜和光阑形成平行光，经偏振分光棱镜、扫描振镜和扫描透镜在待测样品上形成聚焦光斑，激发金属荧光薄膜发出荧光；经扫描透镜、扫描振镜、偏振分光棱镜、滤光片、收集透镜和针孔被光电探测器收集；通过轴向响应曲线顶点位置确定待测样品表面位置；三维微位载物台带动待测样品在三维方向上移动，形成三维扫描成像。本发明用于测量大口径自由曲面物体表面形貌。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106767510A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611227243.4
申请日：2016-12-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/24
Abstract: 一种大口径自由曲面样品表面轮廓的测量装置与方法，涉及大口径自由曲面样品表面轮廓的测量技术，为了解决现有的测量大口径自由曲面的技术不易测量自由度较多、尺寸较大的样品，或测量速度慢、测量范围小且易损伤样品的问题。激光器发出的激光经依次经过准直镜、光阑、PBS、一号高速数字扫描振镜、二号高速数字扫描振镜和扫描透镜，扫描透镜将激光聚焦至待测样品，待测样品表面激发出的荧光依次经扫描透镜、二号高速数字扫描振镜、一号高速数字扫描振镜、PBS、滤光片、收集透镜和多模光纤，最终入射至PMT。本发明适用于测量大口径自由曲面，尤其适用于测量不对称、不规则、自由度较多的大口径自由曲面的表面轮廓。
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公开(公告)号：CN118914200B
公开(公告)日：2025-05-23
申请号：CN202411010369.0
申请日：2024-07-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本申请公开了一种基于螺旋变换的涡旋二色性暗场共焦显微测量装置，涉及光学精密测量技术领域，相反阶涡旋光束产生模块用于产生混合涡旋光束，样品扫描模块用于利用混合涡旋光束照射待测样品的扫描位置，得到样品反射光束，螺旋变换模块用于对样品反射光束进行空间分离，得到空间分离光束，多阶探测模块用于对空间分离光束进行探测，得到扫描位置的涡旋二色性信号强度，当待测样品的扫描位置无缺陷时，涡旋二色性信号强度为0，当待测样品的扫描位置存在缺陷时，涡旋二色性信号强度不为0，且涡旋二色性信号强度的正负性与缺陷的左旋手性和右旋手性分别对应，从而可以探索三维集成电路层间缺陷的手性特性。
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公开(公告)号：CN117470847B
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202311085660.X
申请日：2023-08-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种暗场共焦显微图像反射信息去耦合方法，它涉及一种显微图像反射信息去耦合方法。本发明为了解决暗场共焦成像过程中，未被完全滤除的反射信号掺杂在散射信号中，导致获取图像亮度不均匀、背景噪声大，进而干扰亚表面缺陷观测的问题。本发明以明场图像作为先验，计算先验梯度模板，通过先验梯度模板提取出暗场散射信号，并滤除反射信息噪声。本发明属于图像处理技术领域。
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公开(公告)号：CN117517333B
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202311423506.9
申请日：2023-10-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种亚表面定值校准标准样板，属于光学计量检测技术领域。解决尚未针对亚表面缺陷检测计量与校准建立起相关的计量体系的问题。包括透明薄膜、定值校准结构和辅助定位结构，所述透明薄膜下侧设置有定值校准结构和辅助定位结构，定值校准结构位于辅助定位结构内侧。本发明通过定值校准结构，并在其表面均匀涂覆透明薄膜，达到真实模拟了亚表面被测结构的实际状态的目的；本发明使用多种结构来进行仪器性能指标的评价与校准溯源，针对性强。
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公开(公告)号：CN117173459B
公开(公告)日：2025-01-21
申请号：CN202311095794.X
申请日：2023-08-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06V10/764 , G06V10/82 , G06N3/0464 , G06N3/096
Abstract: 一种基于迁移学习的互连铟柱缺陷多分类方法，它涉及一种互连铟柱缺陷多分类方法。本发明为了解决焦平面连接像元的结构缺陷和高度异常缺陷检测的问题。本发明的步骤包括步骤1、生成缺陷数据；步骤2、建立迁移学习模型；步骤3、数据降维；步骤4、缺陷分类。本发明属于图像处理技术领域。
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