垂直霍尔传感器及制造方法、芯片

    公开(公告)号:CN117098447A

    公开(公告)日:2023-11-21

    申请号:CN202311364146.X

    申请日:2023-10-20

    IPC分类号: H10N52/01 H10N52/80 H10N59/00

    摘要: 本发明涉及磁传感器领域,提供一种垂直霍尔传感器及制造方法、芯片。所述垂直霍尔传感器包括:硅衬底、垂直嵌入硅衬底内的电源激励电极以及形成于硅衬底表面的霍尔电压检测电极,电源激励电极包括至少一个外围电源激励电极以及至少一个中间电源激励电极,霍尔电压检测电极位于外围电源激励电极与中间电源激励电极之间。其中,电源激励电极是通过在硅衬底中刻蚀形成深沟槽,在深沟槽内填充重掺杂的多晶硅和金属形成的。本发明采用沟槽电极结构的电源激励电极,避免了离子注入工艺形成掺杂区不均匀的问题,有效提高垂直霍尔传感器的灵敏度,减小零偏。

    采用频率输出的霍尔传感器
    68.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117420484A

    公开(公告)日:2024-01-19

    申请号:CN202311302725.1

    申请日:2023-10-09

    IPC分类号: G01R33/07 G01R33/00

    摘要: 本发明提供一种采用频率输出的霍尔传感器,属于传感器技术领域。所述霍尔传感器包括:补偿电路,用于提供与外加磁场无关的参考电压;所述参考电压随温度的变化规律和测量电路相同;测量电路,用于根据外加磁场产生霍尔电压;还用于测量激励源的频率,并根据激励源的频率确定外加磁场的大小;减法器,用于计算参考电压和霍尔电压的电压差值,并将所述电压差值反馈给激励源;测量电路激励源,用于为测量电路提供驱动电流;以及用于根据所述电压差值进行负反馈,使得所述霍尔电压的取值始终和所述参考电压相等。本发明利用霍尔电压对激励电源的频率响应特性,将霍尔电压转变为频率信号,通过对频率信号的测量来得到磁场的强度值。

    基于人工智能的输电线路无人机自主巡检方法及装置

    公开(公告)号:CN117173447A

    公开(公告)日:2023-12-05

    申请号:CN202310876464.8

    申请日:2023-07-17

    摘要: 本发明实施例提供一种基于人工智能的输电线路无人机自主巡检方法及装置,属于输电线路巡检技术领域。所述方法包括:获取无人机拍摄的输电线路巡检图像;使用预设的目标检测模型对所述输电线路巡检图像进行检测,获得输电线路目标图像;使用预设的缺陷识别模型对所述输电线路目标图像进行缺陷识别,获得缺陷识别结果;所述缺陷识别模型由改进的YOLOv5m网络训练得到。所述方法通过目标检测模型定位绝缘子等输电线路目标图像,使用缺陷识别模型对所述输电线路目标图像进行缺陷识别,从而准确识别出输电线路上的缺陷,不仅拥有很高的检测精度,同时拥有很快的检测速度。

    基于磁电效应与压电效应的电流传感器及芯片

    公开(公告)号:CN118443998A

    公开(公告)日:2024-08-06

    申请号:CN202410403040.4

    申请日:2024-04-03

    IPC分类号: G01R15/20 G01R19/00

    摘要: 本发明涉及电子传感器领域,提供一种基于磁电效应与压电效应的电流传感器及芯片。所述电流传感器包括:支撑结构、质量块、线圈、弹性梁以及设于弹性梁表面的压电转换结构,质量块与弹性梁相连,质量块悬空设于支撑结构上,线圈设于质量块的表面。压电转换结构包括第一金属层、压电材料层及第二金属层,压电材料层设于第一金属层与第二金属层之间。本发明采用磁电效应和压电效应相结合,通过选择磁电效应‑正压电效应的工作模式或磁电效应‑逆压电效应的工作模式,实现同一个电流传感器同时兼顾直流电和交流电的检测,可应用于各种电流检测场景。