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公开(公告)号:CN106232354A
公开(公告)日:2016-12-14
申请号:CN201580021037.5
申请日:2015-04-15
申请人: 大金工业株式会社
摘要: 本发明的目的在于提供一种氟树脂层和氟橡胶层牢固地粘接的层积体。本发明涉及一种层积体,其为具备氟橡胶层(A)和层积在氟橡胶层(A)上的氟树脂层(B)的层积体,该层积体的特征在于,上述氟橡胶层(A)为由氟橡胶组合物形成的层,上述氟橡胶组合物包含氟橡胶、低分子量聚四氟乙烯和多官能性化合物,并且多官能性化合物的含量相对于氟橡胶100质量份为5质量份以上。
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公开(公告)号:CN103242611B
公开(公告)日:2016-08-31
申请号:CN201310084316.9
申请日:2008-04-16
申请人: 特拉华格林托德有限公司 , 大金工业株式会社
IPC分类号: C08L27/18 , C08K5/18 , C08F214/26 , C08F216/14 , C08J3/24
CPC分类号: C08L27/18 , C08K5/18 , C08L2205/02 , Y10T428/3154 , C08L2666/04
摘要: 本发明涉及全氟弹性体组合物及其制备方法。具体地,本发明包括交联的全氟弹性体组合物和从可交联的全氟弹性体组合物形成的模制品,所述可交联的全氟弹性体组合物包括具有固化位点单体的第一可固化全氟聚合物和具有固化位点单体的第二全氟聚合物。在所述全氟聚合物中,在一种全氟聚合物中四氟乙烯单体与全氟烷基乙烯基醚的摩尔比例为约0:100至约65:35。在所述第二全氟聚合物中,在第二种聚合物中四氟乙烯单体与全氟烷基乙烯基醚单体的摩尔比例为约65:35至约95:5。所述组合物还包含固化剂。本发明的一种具有短的交联时间的含氟弹性体组合物具有全氟弹性体(A),该全氟弹性体(A)具有四氟乙烯单元、全氟烷基乙烯基醚单元(a)和单体单元(b),该单体单元(b)具有选自腈基、羧基和烷氧基羰基的至少一种基团,其中所述组合物具有两种或更多种全氟弹性体(A),该两种或更多种全氟弹性体(A)具有不同含量的全氟烷基乙烯基醚单元(a)。
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公开(公告)号:CN103242611A
公开(公告)日:2013-08-14
申请号:CN201310084316.9
申请日:2008-04-16
申请人: 特拉华格林托德有限公司 , 大金工业株式会社
IPC分类号: C08L27/18 , C08K5/18 , C08F214/26 , C08F216/14 , C08J3/24
CPC分类号: C08L27/18 , C08K5/18 , C08L2205/02 , Y10T428/3154 , C08L2666/04
摘要: 本发明涉及全氟弹性体组合物及其制备方法。具体地,本发明包括交联的全氟弹性体组合物和从可交联的全氟弹性体组合物形成的模制品,所述可交联的全氟弹性体组合物包括具有固化位点单体的第一可固化全氟聚合物和具有固化位点单体的第二全氟聚合物。在所述全氟聚合物中,在一种全氟聚合物中四氟乙烯单体与全氟烷基乙烯基醚的摩尔比例为约0:100至约65:35。在所述第二全氟聚合物中,在第二种聚合物中四氟乙烯单体与全氟烷基乙烯基醚单体的摩尔比例为约65:35至约95:5。所述组合物还包含固化剂。本发明的一种具有短的交联时间的含氟弹性体组合物具有全氟弹性体(A),该全氟弹性体(A)具有四氟乙烯单元、全氟烷基乙烯基醚单元(a)和单体单元(b),该单体单元(b)具有选自腈基、羧基和烷氧基羰基的至少一种基团,其中所述组合物具有两种或更多种全氟弹性体(A),该两种或更多种全氟弹性体(A)具有不同含量的全氟烷基乙烯基醚单元(a)。
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公开(公告)号:CN101702910A
公开(公告)日:2010-05-05
申请号:CN200880012321.6
申请日:2008-04-16
申请人: 特拉华格林托德有限公司 , 大金工业株式会社
IPC分类号: C08F214/18
CPC分类号: C08L27/18 , C08K5/18 , C08L2205/02 , Y10T428/3154 , C08L2666/04
摘要: 本发明包括交联的全氟弹性体组合物和从可交联的全氟弹性体组合物形成的模制品,所述可交联的全氟弹性体组合物包括具有固化位点单体的第一可固化全氟聚合物和具有固化位点单体的第二全氟聚合物。在所述全氟聚合物中,在一种全氟聚合物中四氟乙烯单体与全氟烷基乙烯基醚的摩尔比例为约0∶100至约65∶35。在所述第二全氟聚合物中,在第二种聚合物中四氟乙烯单体与全氟烷基乙烯基醚单体的摩尔比例为约65∶35至约95∶5。所述组合物还包含固化剂。本发明的一种具有短的交联时间的含氟弹性体组合物具有全氟弹性体(A),该全氟弹性体(A)具有四氟乙烯单元、全氟烷基乙烯基醚单元(a)和单体单元(b),该单体单元(b)具有选自腈基、羧基和烷氧基羰基的至少一种基团,其中所述组合物具有两种或更多种全氟弹性体(A),该两种或更多种全氟弹性体(A)具有不同含量的全氟烷基乙烯基醚单元(a)。
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公开(公告)号:CN1313541C
公开(公告)日:2007-05-02
申请号:CN02825216.0
申请日:2002-12-13
申请人: 大金工业株式会社
IPC分类号: C08L101/00 , C08K3/00 , H01L21/02
CPC分类号: C08L27/18 , C08G73/101 , C08L79/08 , C08L101/00 , C08L2666/14 , C08L2666/02
摘要: 本发明提供可以减少高温下HF的产生,即使对于在半导体制造工序中曝露于NF3等离子体处理和O3处理,其重量变化小,可以明显抑制在这些处理中产生异物(颗粒)的交联性弹性体组合物。本发明涉及含有交联性弹性体和比表面积大于等于0.5m2/g的、由主链具有热稳定和化学稳定的芳香环的合成高分子形成的填充物的交联性弹性体组合物、由交联性弹性体和非氧化陶瓷形成的交联性弹性体组合物,以及NF3等离子体照射时减小的重量小于等于0.20重量%的交联性弹性体组合物。
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公开(公告)号:CN1604940A
公开(公告)日:2005-04-06
申请号:CN02825216.0
申请日:2002-12-13
申请人: 大金工业株式会社
IPC分类号: C08L101/00 , C08K3/00 , H01L21/02
CPC分类号: C08L27/18 , C08G73/101 , C08L79/08 , C08L101/00 , C08L2666/14 , C08L2666/02
摘要: 本发明提供可以减少高温下HF的产生,即使对于在半导体制造工序中曝露于NF3等离子体处理和O3处理,其重量变化小,可以明显抑制在这些处理中产生异物(颗粒)的交联性弹性体组合物。本发明涉及含有交联性弹性体和比表面积大于等于0.5m2/g的、由主链具有热稳定和化学稳定的芳香环的合成高分子形成的填充物的交联性弹性体组合物、由交联性弹性体和非氧化陶瓷形成的交联性弹性体组合物,以及NF3等离子体照射时减小的重量小于等于0.20重量%的交联性弹性体组合物。
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公开(公告)号:CN1439035A
公开(公告)日:2003-08-27
申请号:CN01811803.8
申请日:2001-05-22
申请人: 大金工业株式会社
IPC分类号: C08L27/12 , C08K5/18 , C07C211/56
CPC分类号: C08K5/18 , C07C211/56 , C08L27/12
摘要: 本发明提供一种可交联的弹性体组合物,该组合物含有(A)带有至少两个式(I)表示的交联反应性基团(I)的化合物,和(B)具有与所述交联反应性基团(I)反应的交联位点的弹性体;以此,可得到机械强度和耐热性均有所提高的交联产物。
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公开(公告)号:CN1117110C
公开(公告)日:2003-08-06
申请号:CN98810644.2
申请日:1998-11-05
申请人: 大金工业株式会社
IPC分类号: C08F293/00 , C08L53/00 , C09K3/10
CPC分类号: C08F293/00 , C09K3/1009
摘要: 根据本发明,可以提供一种由含氟多元链段化聚合物构成的、用于例如半导体相关制造装置用密封材料等的成型用材料,该材料的柔软性、弹性、密封性、耐药品性、耐热性等含氟弹性体的特性维持不变,且机械特性(特别是在高温时等)、耐磨耗性、低污染性、气体低透过性、透明性优良。该成型用材料是由含氟多元链段化聚合物构成,该聚合物中,具有弹性含氟聚合物链段和非弹性含氟聚合物链段,该弹性含氟聚合物链段能够向聚合物整体赋予柔软性,且构成单元的95摩尔%以上为全卤烯烃单元。
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公开(公告)号:CN1427874A
公开(公告)日:2003-07-02
申请号:CN01809115.6
申请日:2001-04-27
申请人: 大金工业株式会社
IPC分类号: C08L101/00 , C08K3/22 , C08K3/36 , C08K9/06 , H01L21/3065
CPC分类号: C08F214/18 , H01L23/293 , H01L2924/0002 , H01L2924/12044 , H01L2924/00
摘要: 本发明提供作为使用水分产生量与有机系气体产生量均降低的清洁填料的半导体制造装置用的成型品材料适用的弹性体组合物与成型品,本发明的填料在200℃加热2小时的每单位表面积的重量减少率是2.5×10-5重量%/m2以下,且在200℃加热15分钟时的有机系气体的总发生量是2.5ppm以下,该填料与高分子聚合物,尤其是与交联性含氟弹性体组成交联性组合物。
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