公开(公告)号：CN206163469U

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201620829812.1

申请日：2016-08-02

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 林兴 ,  周建华 ,  Z·J·叶 ,  陈建 ,  J·C·罗查-阿尔瓦雷斯

IPC: H01L21/683 ,  C23C16/44 ,  C23C16/513 ,  C23C16/458

CPC classification number: H01L21/6833 ,  H01J37/32715 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/68735

Abstract: 本公开的实施方式提供一种用于支撑基板的改进的静电卡盘。所述静电卡盘包括：卡盘主体，所述卡盘主体耦合到支撑杆，所述卡盘主体具有基板支撑表面；多个突片，所述多个突片远离所述卡盘主体的所述基板支撑表面突出，其中所述突片绕所述卡盘主体圆周设置；电极，所述电极嵌入在所述卡盘主体内，所述电极从所述卡盘主体的中心径向地延伸到超出所述多个突片的区域；以及RF电源，所述RF电源通过第一电连接耦合到所述电极。