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公开(公告)号:CN103210113B
公开(公告)日:2015-01-28
申请号:CN201180054721.5
申请日:2011-12-13
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/56 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/243 , H01L51/0011 , H01L51/50
Abstract: 依次配置有蒸镀源(60)、限制板单元(80)和蒸镀掩模(70)。限制板单元具备沿第一方向配置的多个限制板(81)。在第一方向上规定限制空间的限制板的侧面构成为:相对于在第一方向上相邻的限制板间的限制空间(82)的第一方向尺寸最狭窄的最狭窄部(81n),至少在蒸镀源侧,形成限制空间的第一方向尺寸比最狭窄部宽的部位。由此,能够在大型基板上的期望位置形成端缘的模糊被抑制的覆膜。
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公开(公告)号:CN103154300B
公开(公告)日:2014-12-31
申请号:CN201180046926.9
申请日:2011-09-26
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H05B33/10 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/24 , C23C14/562 , H01L51/001
Abstract: 蒸镀装置(50)包括:掩模单元(54),其包括蒸镀源(70)、蒸镀掩模(60)和掩模保持部件(80);基板保持具(52);掩模单元移动机构(55)和基板移动机构(53)中的至少一个。在基板保持具(52)和掩模保持部件(80)中的至少一个的与另一个相对的面,设置有辊(83)。
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公开(公告)号:CN103477713A
公开(公告)日:2013-12-25
申请号:CN201280015935.6
申请日:2012-03-27
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/504 , H01L27/3213 , H01L27/3218 , H01L27/3244 , H01L51/5265 , H01L51/56 , H05B33/145
Abstract: TFT基板(10)具有包含至少三种颜色的发光区域的多个像素区域,该至少三种颜色的发光区域分别具有由蒸镀膜构成的发光层(23R(1)、23G、23R(2)、23B),相邻的两个发光区域是在由各种颜色的发光区域的发光层产生相同亮度的光时具有最大电流效率的颜色的发光层(23G)的发光区域和具有最小电流效率的颜色的发光层(23B)的发光区域的组合以外的组合。
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公开(公告)号:CN103385035A
公开(公告)日:2013-11-06
申请号:CN201280008716.5
申请日:2012-03-07
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/5012 , B05D1/60 , C23C14/042 , C23C14/243 , C23C14/542 , C23C14/564 , H01L51/0003 , H01L51/56
Abstract: 蒸镀颗粒放出喷嘴部(30)包括蒸镀颗粒发生部(41)、至少一级的中间喷嘴部(51)、蒸镀颗粒放出喷嘴部(61)和热交换器(43、63、53)。蒸镀颗粒放出喷嘴部(61)由热交换器(63)控制成比蒸镀材料成为气体的温度低的温度,中间喷嘴部(51)由热交换器(53)控制成蒸镀颗粒发生部(41)与蒸镀颗粒放出喷嘴部(61)之间的温度。
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公开(公告)号:CN103329622A
公开(公告)日:2013-09-25
申请号:CN201280005723.X
申请日:2012-01-13
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H05B33/145 , C23C14/042 , C23C14/54 , H01L27/3211 , H01L27/3244 , H01L51/0002 , H01L51/56 , H01L2251/558 , Y10T428/24612
Abstract: 本发明的被成膜基板(200)中,第一膜(23R)的膜厚渐减部分(23sR)的y轴方向上的基端侧形成为与第一成膜区域(24R)重叠,第二膜(23B)的膜厚渐减部分(23sB)形成为位于第二成膜区域(24B)的y轴方向上的外侧,并且与第一膜(23R)的膜厚渐减部分(23sR)重叠而填补膜厚渐减部分(23sR)的膜厚逐渐减少的量。
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公开(公告)号:CN103314464A
公开(公告)日:2013-09-18
申请号:CN201280005736.7
申请日:2012-01-13
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L27/3262 , C23C14/044 , C23C14/12 , H01L27/3211 , H01L51/0011 , H01L51/56 , H05B33/10
Abstract: 被成膜基板(200)是在排列于规定方向上的多个蒸镀区域(24R、24G)中的各个蒸镀区域形成有蒸镀膜(23R、23G)的被成膜基板,蒸镀膜(24R)具有相对于被成膜基板(200)的法线方向倾斜的倾斜侧面(23s),蒸镀膜(23R)的上述规定方向上的宽度大于蒸镀区域(24R)的所述规定方向上的宽度与所述各蒸镀区域(24R、24G)间的区域(29)的所述规定方向上的宽度之和。
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公开(公告)号:CN103282540A
公开(公告)日:2013-09-04
申请号:CN201180063869.5
申请日:2011-12-28
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L21/02263 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/562 , H01L21/67017 , H01L51/0008 , H01L51/56
Abstract: 蒸镀装置(50)的掩模(60)具有周期性的图案,仅一周期的图案的形成区域露出。掩模基材的与长边方向垂直的方向的长度比被成膜基板(200)的扫描方向的长度短。掩模(60)配设成掩模基材的长边方向与扫描方向垂直,并设置成能够通过卷出辊(91)和卷取辊(92)的旋转使露出区域在与扫描方向垂直的方向上移动。
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公开(公告)号:CN103270187A
公开(公告)日:2013-08-28
申请号:CN201180062667.9
申请日:2011-12-20
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: C23C16/4401 , C12M33/00 , C23C14/564 , H01L31/186 , H01L51/0011
Abstract: 在真空腔室(5)的防附着板(3)和闸门(4)的被蒸镀蒸镀颗粒的表面的至少一部分上设置有能够从防附着板(3)和闸门(4)剥离的薄膜(7),薄膜(7)包含熔点、升华点、相对于规定溶剂的溶解特性、相对于微生物的生物降解性、和光分解特性中的至少一个与在薄膜(7)上形成的蒸镀膜不同的材料。
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公开(公告)号:CN103168114A
公开(公告)日:2013-06-19
申请号:CN201180049926.4
申请日:2011-10-12
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/0011 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/24 , C23C14/50 , C23C16/042 , H01L27/3211 , H01L27/3244 , H01L51/001 , H01L51/56 , H01L2227/323 , H05B33/10
Abstract: 蒸镀装置(50)在被成膜基板(200)上的成膜的区域间竖立设置有分隔壁(26),蒸镀装置(50)具备:掩模单元(80),其具备相对位置被固定的遮蔽掩模(81)和蒸镀源(85);接触单元,其使被成膜基板(200)与遮蔽掩模(81)经由分隔壁(26)接触;和移动单元,其在维持由接触单元进行的接触的状态下使掩模单元(80)和被成膜基板(200)中的至少一个相对移动。
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公开(公告)号:CN108029163B
公开(公告)日:2020-01-14
申请号:CN201680052134.5
申请日:2016-08-10
Applicant: 夏普株式会社
Abstract: 本发明的一个方式的有机电致发光装置包括:在一面侧设置有凹部的基材;至少沿着凹部的表面设置的反射层;隔着反射层填充在凹部的内侧的具有光透射性的填充层;至少设置在填充层的上层侧的具有光透射性的第一电极;设置在第一电极的上层侧的至少包含发光层的有机层;和设置在有机层的上层侧的具有光透射性和光反射性的第二电极,填充层包含至少1种荧光体。
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