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公开(公告)号:CN110023385B
公开(公告)日:2022-04-05
申请号:CN201780074049.3
申请日:2017-11-29
申请人: 株式会社LG化学
IPC分类号: C08J5/22 , H01L21/027 , H01L21/311 , G03F1/00 , C08F220/18 , C08F220/22 , C08F297/02 , C08F220/44 , C08F220/38
摘要: 本申请涉及用于生产聚合物膜的方法。本申请是能够在基底上有效地形成包含高度对准的嵌段共聚物而没有取向缺陷、配位数缺陷、距离缺陷等的聚合物膜的生产方法,其可以提供用于生产能够有效地应用于生产各种图案化基底的聚合物膜的方法和使用该聚合物膜生产图案化基底的方法。
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公开(公告)号:CN109983043B
公开(公告)日:2022-02-18
申请号:CN201780071835.8
申请日:2017-11-29
申请人: 株式会社LG化学
IPC分类号: C08F293/00 , C08F230/08 , C08F212/14 , H01L21/027 , H01L21/311 , G03F1/00
摘要: 本申请可以提供嵌段共聚物及其用途。本申请的嵌段共聚物可以具有优异的自组装特性或相分离特性和优异的蚀刻选择性,并且可以自由地赋予其所需的各种其他功能。
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公开(公告)号:CN109890857B
公开(公告)日:2021-09-10
申请号:CN201780067383.6
申请日:2017-11-29
申请人: 株式会社LG化学
IPC分类号: C08F220/18 , C08F297/02 , C08F220/22 , C08F220/38 , C08J5/22 , H01L21/027 , H01L21/311 , G03F1/00
摘要: 本申请可以提供嵌段共聚物及其用途。本申请的嵌段共聚物具有优异的自组装特性或相分离特性,其也可以被自由地赋予所需要的各种功能。
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公开(公告)号:CN107849202B
公开(公告)日:2020-04-21
申请号:CN201680039982.2
申请日:2016-06-07
申请人: 株式会社LG化学
IPC分类号: C08F297/00 , C08F299/00 , C08F212/08 , C08F220/10 , C08L53/00 , B32B27/30 , G03F7/00
摘要: 本申请涉及中性层组合物。本申请可以提供能够形成中性层的中性层组合物,所述中性层可以有效地应用于包含垂直排列的自组装嵌段共聚物的聚合物膜的形成。
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公开(公告)号:CN107075055B
公开(公告)日:2019-08-27
申请号:CN201580060150.4
申请日:2015-09-30
申请人: 株式会社LG化学
IPC分类号: C08F297/00 , C08F212/08 , C08F220/10 , C08F299/00 , C08J5/18 , C08L53/00 , G03F7/00
摘要: 本申请涉及嵌段共聚物及其用途。本申请可以提供具有优异的自组装特性并因此可以有效应用于多种用途的嵌段共聚物及其用途。
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公开(公告)号:CN106459326B
公开(公告)日:2019-08-13
申请号:CN201480074156.2
申请日:2014-12-08
申请人: 株式会社LG化学
IPC分类号: C08F297/00 , C08F299/00 , C08F212/14 , C08F212/12 , C08F220/10 , C08F220/30 , C08F216/12 , C08L55/00 , C08J5/00 , C08J7/04
CPC分类号: C08F293/005 , B81C1/00428 , B81C1/00531 , B81C2201/0149 , B82Y40/00 , C07C35/48 , C07C43/215 , C07C43/225 , C07C217/84 , C07C2601/16 , C07D209/48 , C07F7/1804 , C08F12/20 , C08F12/22 , C08F12/26 , C08F12/32 , C08F212/14 , C08F220/10 , C08F220/30 , C08F2438/03 , C08J5/18 , C08J7/123 , C08J7/14 , C08J2353/00 , C09D153/00 , G03F7/0002 , G03F7/038 , G03F7/039 , G03F7/162
摘要: 本发明可提供嵌段共聚物及其用途。本发明可提供具有优异的自组装特性和相分离特性且必要时任选地向其提供多种所需功能的嵌段共聚物。
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公开(公告)号:CN109996840A
公开(公告)日:2019-07-09
申请号:CN201780071946.9
申请日:2017-11-29
申请人: 株式会社LG化学
IPC分类号: C08J5/22 , C08F220/18 , H01L21/027 , H01L21/311 , G03F1/00 , C08F220/38 , C08F220/22 , C08F228/02
摘要: 本申请涉及聚合物组合物及其用途。本申请可以提供具有优异的自组装特性并且即使在未进行中性处理的表面上也能够形成垂直取向结构的聚合物组合物及其用途,其中垂直取向的自组装结构可以在短时间内有效地形成。
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公开(公告)号:CN105980342B
公开(公告)日:2019-02-15
申请号:CN201480072804.0
申请日:2014-12-08
申请人: 株式会社LG化学
IPC分类号: C07C43/215 , C08F297/00 , C08F212/08
摘要: 本发明涉及单体、用于制备嵌段共聚物的方法、嵌段共聚物及其用途。本发明的单体可形成嵌段共聚物,所述嵌段共聚物具有优异的自组装特性和相分离特性且必要时任选地向其提供多种所需的功能。
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公开(公告)号:CN105873968B
公开(公告)日:2018-09-28
申请号:CN201480071864.0
申请日:2014-12-08
申请人: 株式会社LG化学
IPC分类号: C08F297/00 , C08F299/00 , C08F212/08 , C08F220/10 , C08L53/00
摘要: 本发明可提供嵌段共聚物及其用途。本发明的嵌段共聚物具有优异的自组装特性,并因此可有效地应用于多种用途。
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