-
公开(公告)号：CN116536649A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202310760019.5
申请日：2023-06-27
申请人： 江苏微导纳米科技股份有限公司
IPC分类号： C23C16/458 , C23C16/455 , H01L21/673 , H01L31/18
摘要： 本发明涉及一种组合舟、单舟、处理设备、载片方法及处理方法，组合舟包括：外舟体，设有具有开口的容纳空间；独立于外舟体设置的单舟，用于放置基片；单舟能够经开口移入容纳空间内或者经开口从容纳空间移出。当需要进行水平载片时，将硅片放入单舟，将单舟移入外舟体内；而当需要进行竖直载片时，对外舟体的结构做适应性调整，将硅片放入单舟并旋转90°后放入调整后的外舟体中即可。相对于现有技术中一体设置的载片舟，该组合舟采用分体设置的外舟体与单舟的方式，在水平载片与竖直载片之间切换时，在不改变处理设备其他结构的情况下，不需要改变单舟的结构，只需要调整外舟体的结构即可，便于实现水平载片与竖直载片之间的切换。
-
公开(公告)号：CN116469802A
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202310388206.5
申请日：2023-04-12
申请人： 江苏微导纳米科技股份有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677
摘要： 本申请提供一种立式处理设备及立式处理设备的控制方法，涉及作业与运输技术领域。立式处理设备包括处理腔室和运输装置，处理腔室具有室体和室门，室体具有处理腔和进出口，运输装置具有升降机构及可沿升降机构升降的承载机构，承载机构可将处理件送入或送出处理腔，承载机构在将处理件送入处理腔后可沿升降机构下降，室门可移动至封堵进出口、并与室体紧密配合。本申请通过升降机构和承载机构配合实现对处理件的升降运输控制，提高了上下料效率；在处理件送入处理腔后，室门可封堵室体的进出口、并与室体紧密配合，而不必设置独立的支撑结构或利用承载机构支撑室门，降低了设备成本。
-
公开(公告)号：CN116398726A
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202310402168.4
申请日：2023-04-14
申请人： 江苏微导纳米科技股份有限公司
摘要： 本申请涉及一种导气装置、腔体结构及其使用方法、处理设备，包括导气筒、动力源、推动件和弹性组件，导气筒沿设定方向导气，推动件被配置为在设定方向上可移动地安装于承重体上，动力源被配置于承重体，且用于驱动推动件移动。弹性组件被构造为在设定方向上可弹性形变的连接导气筒和推动件之间。本申请的技术方案，可以提高导气装置的入口端与外部通道的出口端的气密性，降低外部通道内物质的外逸，有助于降低设备的维护周期，降低设备的维护成本，并且提高资源利用率。
-
-
公开(公告)号：CN116313963A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310392892.3
申请日：2023-04-13
申请人： 江苏微导纳米科技股份有限公司
发明人： 严大
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/683 , H01L21/673
摘要： 本申请公开了一种基片处理系统及方法、载具、支撑及吸盘组件、插片方法，属于基片处理技术领域。基片处理系统包括载具、支撑组件以及吸盘组件，载具上设有多个容纳基片的工位；吸盘组件可将基片转移到支撑组件中或从支撑组件中的取出基片；支撑组件可将基片平稳放入载具的工位中，或将容纳在工位中的基片平稳顶出载具。本申请提供的基片处理系统，支撑组件可将基片平稳放入或顶出载具，吸盘组件向支撑组件放入基片或从支撑组件中取出基片，使得基片可在吸盘组件与支撑组件之间以及支撑组件与载具之间平稳转移，从而实现基片的平稳取放，可提高基片的良品率。
-
公开(公告)号：CN114455048B
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202210204132.0
申请日：2022-03-02
申请人： 江苏微导纳米科技股份有限公司
IPC分类号： B63H16/04
摘要： 本发明提供了一种桨杆，包括：固定段、连接段和支撑段；连接段设置于固定段，支撑段设置于连接段远离固定段的一侧；支撑段设有镂空部和凹槽，镂空部沿支撑段延伸的方向设置。本发明的桨杆通过设置连接段对支撑段和固定段进行连接，降低支撑段与固定段连接处的脆性，提升桨杆的负载能力。通过将镂空部沿支撑段延伸的方向设置，能够降低支撑段的整体重量，降低自重对固定段的影响，保证桨杆的负载能力。由于支撑段的支点位于固定端，在支撑段承载待加工半导体时，支撑段承重或受热时会发生变形，通过在支撑段设置凹槽，能够在支撑段发生变形时提供支撑段分子结构的变形空间，降低支撑段内部的应力，能够提升桨杆的负载能力。
-
公开(公告)号：CN115341196A
公开(公告)日：2022-11-15
申请号：CN202211009529.0
申请日：2022-08-22
申请人： 江苏微导纳米科技股份有限公司
IPC分类号： C23C16/455
摘要： 本申请涉及机械设备技术领域，提供一种反应腔体门盖组件及镀膜设备。反应腔体门盖组件包括盖体、喷淋板、连接轴。盖体上设置有通孔。连接轴用于装配喷淋板。连接轴的一端设置固定部。连接轴通过通孔可拆卸固定于盖体，且能够从盖体背对喷淋板一侧利用通孔进行拆卸，以简化对喷淋板的拆卸。
-
公开(公告)号：CN115341195A
公开(公告)日：2022-11-15
申请号：CN202210959992.5
申请日：2022-08-11
申请人： 江苏微导纳米科技股份有限公司
IPC分类号： C23C16/455
摘要： 本申请涉及机械设备技术领域，提供一种镀膜设备。镀膜设备包括包括内壳体、喷淋板。内壳体的一端具有开口。内壳体内具有第一气体流道，第一气体流道的出气口位于内壳体的侧壁上，用于将气体通过所述第一气体流道的出气口输出至内壳体内。喷淋板的喷淋孔向内壳体内输出气体。本申请能够从内壳体的侧壁上向内壳体内输出气体。
-
公开(公告)号：CN220233159U
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202321864138.7
申请日：2023-07-14
申请人： 江苏微导纳米科技股份有限公司
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/677 , H01L31/18
摘要： 本申请涉及一种抵推结构，包括相互连接的多个第一抵推部及多个第二抵推部，多个所述第一抵推部和多个所述第二抵推部在第一方向上交替排布，所述第一抵推部和所述第二抵推部的长度相异，以使所述第一抵推部和所述第二抵推部抵推基片的位移相异。由于第一抵推部和第二抵推部抵推电池片的位移相异，故第一抵推部和第二抵推部顶起的电池片的高度相异，从而使得相邻的两个第一抵推部以及相邻的两个第二抵推部顶起的电池片之间存在较大间隔，可直接通过该抵推结构将载具中所有的电池片顶起，然后吸盘依次吸附高度较高的电池片和高度较低的电池片，无需设置平移结构进行驱动，简化了设备结构。本申请还涉及一种基片转移装置、转移设备及处理系统。
-
公开(公告)号：CN220224325U
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202321608032.0
申请日：2023-06-21
申请人： 江苏微导纳米科技股份有限公司
摘要： 本实用新型涉及一种防倒灌组件、真空系统及处理设备，包括：本体，其上开设有流体通道；导向件，安装于本体，并沿第一方向延伸；封堵板，滑动安装于导向件，封堵板可沿第一方向滑动，以能够使流体通道在常开状态与暂闭状态之间切换；当流体通道处于常开状态时，流体通道允许流体正向流过，封堵板远离流体通道的第一通行口；当流体逆向流动时，封堵板封堵第一通行口，使流体通道从常开状态切换至暂闭状态以阻止流体逆向流过流体通道。在真空泵作用下，反应腔中的气体能够经流体通道正向流出，而当真空泵卡粉或者出现故障时，封堵板能够使得流体通道从常开状态切换至暂闭状态，以阻挡外界气体逆向流动至反应腔中，防止工件损坏并保证生产安全。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
87 条记录 (耗时 0.04 秒)
