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公开(公告)号：CN118854263A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202411350490.8
申请日：2024-09-26
申请人： 江苏微导纳米科技股份有限公司
IPC分类号： C23C16/50 , C23C16/458 , C23C16/455
摘要： 本申请涉及一种支撑结构、支撑组件以及镀膜设备。支撑结构包括支撑本体，支撑本体具有配合面，配合面用于承载石墨舟。支撑本体还具有气道，气道具有进气口及出气口，出气口位于配合面上。上述支撑结构，其具有能够通入气体的气道，且气道的出气口位于配合面上。如此，从气道的进气口通入的高压气体，能够自配合面上的出气口向外吹出，也就是支撑结构可向外排出气体。一方面，这些高压气体能够在配合面上形成高压区域，能够提高发生剧烈反应所需的电压，缓解或解决高频打弧的问题。另一方面，这些高压气体能够在配合面上形成相对高压的区域并向外吹扫，抑制了该区域CVD反应的发生并在配合面沉积绝缘膜的情况，缓解了支撑结构附近打弧、出粉的问题。
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公开(公告)号：CN114823438B
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202210334750.7
申请日：2022-03-31
申请人： 江苏微导纳米科技股份有限公司
IPC分类号： H01L21/673 , H01L31/18 , H01J37/32
摘要： 本申请实施例提供了一种舟结构及承载舟结构的电极馈入装置，所述舟结构包括若干个相互连通的第一舟片，若干个相互连通的第二舟片，一个第三舟片和一个第四舟片；第一舟片和第二舟片交错分布在相邻的第三舟片和第四舟片相互远离第一侧和第二侧，所述若干个第一舟片均与第一电极连接，所述若干个第二舟片均与第二电极连接；分布在第一侧的若干个第一舟片通过第三舟片与第二侧的第一舟片连接；分布在第二侧的若干个第二舟片通过第四舟片与第一侧的第二舟片连接，本申请实施例减少了电极馈入点和电极杆数量，降低了接触不良概率，提高了设备稳定性，同时减少了检修维护难度。
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公开(公告)号：CN116469802B
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202310388206.5
申请日：2023-04-12
申请人： 江苏微导纳米科技股份有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677
摘要： 本申请提供一种立式处理设备及立式处理设备的控制方法，涉及作业与运输技术领域。立式处理设备包括处理腔室和运输装置，处理腔室具有室体和室门，室体具有处理腔和进出口，运输装置具有升降机构及可沿升降机构升降的承载机构，承载机构可将处理件送入或送出处理腔，承载机构在将处理件送入处理腔后可沿升降机构下降，室门可移动至封堵进出口、并与室体紧密配合。本申请通过升降机构和承载机构配合实现对处理件的升降运输控制，提高了上下料效率；在处理件送入处理腔后，室门可封堵室体的进出口、并与室体紧密配合，而不必设置独立的支撑结构或利用承载机构支撑室门，降低了设备成本。
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公开(公告)号：CN117275852A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202311549822.0
申请日：2023-11-21
申请人： 江苏微导纳米科技股份有限公司
IPC分类号： H01B17/58 , H01B17/66 , C23C16/458 , H01L21/673 , H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种镀膜设备，包括第一石墨舟和第二石墨舟，所述第一石墨舟和第二石墨舟分别设有舟脚并通过所述舟脚安放于支撑杆，所述第一石墨舟邻近所述第二石墨舟一端的舟脚与所述支撑杆之间设有第一绝缘套管，所述第二石墨舟邻近所述第一石墨舟一端的舟脚与所述支撑杆上的承舟块电连接，所述第一绝缘套管与承舟块之间设有第二绝缘套管，所述第一绝缘套管和/或第二绝缘套管设有防导电结构。该设备可以有效防止双石墨舟电场导通，从而保证电场的稳定性，提高镀膜质量。
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公开(公告)号：CN115852335A
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202211269722.8
申请日：2022-10-17
申请人： 江苏微导纳米科技股份有限公司
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/52 , C23C16/54
摘要： 本申请提供了一种镀膜设备及镀膜方法。镀膜设备包括第一腔体、第二腔体和输送组件。第一腔体用于将产品加热至预定温度，第二腔体用于对产品进行镀膜。输送组件用于将第一腔体内加热完成的产品运送至第二腔体内。其中，第一腔体的开口与第二腔体的开口位于同一侧，输送组件通过开口对产品进行取放。本申请能够在第一腔体对产品进行预热，减少产品的加工时间，提高镀膜设备的生产效率。
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公开(公告)号：CN115418626A
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202211009911.1
申请日：2022-08-22
申请人： 江苏微导纳米科技股份有限公司
IPC分类号： C23C16/455
摘要： 本申请涉及机械设备技术领域，提供一种镀膜设备。镀膜设备包括封闭门、安装板、喷淋板、调节件。安装板滑动设置于封闭门。喷淋板设置于安装板上。调节件设置于封闭门和/或安装板上，用于调节安装板相对于封闭门的位置。本申请能够调整喷淋板相对于封闭门的位置。
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公开(公告)号：CN113881927A
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN202111105649.6
申请日：2021-09-22
申请人： 江苏微导纳米科技股份有限公司
IPC分类号： C23C14/56 , C23C14/08 , C23C14/06 , H01L21/677 , H01L31/0216 , H01L31/18
摘要： 本申请公开了一种镀膜设备以及镀膜机构，该镀膜设备包括：镀膜机构，包括第一炉管、第二炉管以及第三炉管，第一炉管、第二炉管分别用于在基板的第一表面依次形成第一膜层、第二膜层，第三炉管用于在第二炉管形成第二膜层后，在基板的第二表面形成第三膜层，其中，第二膜层与第三膜层的形成时间相等且均是第一膜层的形成时间的第一整数倍，第二炉管与第三炉管的数量相等且均是第一炉管的数量的第二整数倍，第一整数与第二整数相等；翻面机构，用于在第二炉管形成第二膜层后，将基板进行翻面；传送机构，用于将基板在镀膜机构和翻面机构之间传送。本申请的镀膜设备能够实现双面镀膜，提高镀膜的生产效率。
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公开(公告)号：CN111595408A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010364744.7
申请日：2020-04-30
申请人： 江苏微导纳米科技股份有限公司
摘要： 本发明涉及机械设备领域，具体涉及一种测量恒温密闭容器内液位的设备、镀膜装置、测量液位的方法，包括前端管路，在前端管路上依次设置有第一气动阀、第二气动阀；出气端管路，在出气端管路上依次设置有第三气动阀、第四气动阀；密闭容器，与前端管路末端相连，与出气端管路上靠近第三气动阀的一端相连；压力计，设置于出气端管路上或前端管路上或密闭容器上；真空排气装置，与密闭容器连通。采用本发明的设备及测量方法，可实时、快速、准确地测量小直径的真空容器内的液位，运行可靠稳定，不会有泄漏的风险。
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公开(公告)号：CN117821949A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202410205355.8
申请日：2024-02-23
申请人： 江苏微导纳米科技股份有限公司
IPC分类号： C23C16/505 , C23C16/458
摘要： 本申请涉及一种载具及镀膜设备，其中，载具包括导电舟体和设于导电舟体底部的支撑件，支撑件包括支撑舟脚和馈电舟脚，馈电舟脚，馈电舟脚支撑于馈电承舟块；导电舟体和馈电承舟块通过导电件电性连接，馈电舟脚包括包裹于导电件外的绝缘件。该载具的设置，使得镀膜设备在生产过程中，能够避免或者降低局部高频打弧的现象，改善馈电接触，保证电场的稳定性以及产品的良率、效率和产量。
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公开(公告)号：CN115418626B
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202211009911.1
申请日：2022-08-22
申请人： 江苏微导纳米科技股份有限公司
IPC分类号： C23C16/455
摘要： 本申请涉及机械设备技术领域，提供一种镀膜设备。镀膜设备包括封闭门、安装板、喷淋板、调节件。安装板滑动设置于封闭门。喷淋板设置于安装板上。调节件设置于封闭门和/或安装板上，用于调节安装板相对于封闭门的位置。本申请能够调整喷淋板相对于封闭门的位置。
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