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公开(公告)号：CN116732490A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202310588207.4
申请日：2023-05-23
申请人： 重庆金美新材料科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种蒸镀温度调节方法及系统，蒸镀温度调节方法包括：在蒸镀过程中，检测不同坩埚上方的原子蒸汽密度；根据所检测到的原子蒸汽密度对不同坩埚的温度进行调节，以使各坩埚之间的差值低于预设原子蒸汽密度差值；蒸镀温度调节系统包括光源模组、发射光检测模组、接收光检测模组、数据处理模组及温控模组。该种蒸镀温度调节方法及系统能够实时实时检测蒸发速度，可合理控制坩埚的温度，提升镀层厚度一致性，提升蒸镀质量。
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公开(公告)号：CN113957391B
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202010702098.0
申请日：2020-07-21
申请人： 宝山钢铁股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种采用芯棒加热结构均匀分配金属蒸汽的真空镀膜装置，包括坩埚，所述坩埚的外侧设有用以将所述坩埚内的金属液加热形成金属蒸汽的感应加热器，所述坩埚顶部通过蒸汽金属管道连有布流箱体，所述布流箱体内设有水平向的芯棒和稳压板，所述芯棒位于所述稳压板的下方，所述布流箱体的顶部设有镀膜喷嘴，所述布流箱体的外侧设有感应线圈，所述蒸汽金属管道上设有调压阀；所述芯棒上开有数个加热孔，所述加热孔内设有电阻丝，所述芯棒朝向所述蒸汽金属管道的表面上设有数个冲击槽；所述布流箱体的内壁上开有缓冲槽，所述缓冲槽与所述芯棒的位置相对应。本发明使高温蒸汽和低温钢板接触时，在钢板表面形成均匀镀层。
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公开(公告)号：CN116716588A
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202310795296.X
申请日：2023-06-30
申请人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要： 本发明提供了一种具有大熔点差成分的合金靶材及其制备方法与应用，所述制备方法将熔点差≥1000℃的两种金属混合得到混合粉末，将所得混合粉末装模后进行脱气，再进行热等静压烧结，得到合金靶材。以钛锌合金靶材为例，本发明采用特殊的热等静压法制备钛锌合金靶材，能够有效解决内部孔洞、成分不均等问题，所得靶材的致密度高，因此呈现出优良的溅射性能，且所得靶材纯度≥99.9％、内部组织结构优良、致密度≥99％。
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公开(公告)号：CN116716585A
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202310583476.1
申请日：2023-05-22
申请人： 南方科技大学
摘要： 本发明公开一种耐摩擦合金薄膜及其制备方法与应用，耐摩擦合金薄膜具有非晶结构，主要由Co元素、Cr元素、Ni元素和C元素组成，C元素主要以单质的形式存在且均匀分布在耐摩擦合金薄膜中。本发明中，耐摩擦合金薄膜具有非晶结构，因而没有晶界和各种晶体缺陷，且C元素主要以单质的形式均匀弥散分布在合金薄膜中，几乎没有形成碳化物，不会因为C元素的大量引入而造成合金薄膜力学性能的明显变化，可在硬度等力学性能与原始CoCrNi合金薄膜接近的条件下获得优异的耐室温摩擦和耐腐蚀摩擦性能。
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公开(公告)号：CN116676585A
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202310531037.6
申请日：2023-05-11
申请人： 北京屹唐半导体科技股份有限公司
IPC分类号： C23C16/40 , C23C16/02 , C23C14/14 , C23C4/02 , C23C4/134 , C23C28/00 , H01L21/67 , F27D19/00
摘要： 本发明提供了一种提高热处理控温准确性的方法、复合涂层和热处理反应装置。所述方法包括在热处理反应装置的一个或多个部件表面涂覆复合涂层；其中涂覆所述复合涂层包括在所述部件表面上涂覆第一涂层，以及在所述第一涂层上涂覆第二涂层。本发明的方法通过在热处理反应装置的部件表面涂覆复合涂层，使得在500℃以上的温区内快速升温或快速降温的时间偏差在0.01s以内，温度偏差在3℃以内。
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公开(公告)号：CN116623135A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310586697.4
申请日：2023-05-23
申请人： 西安航天动力研究所
摘要： 本发明具体涉及一种带有涂层防护的姿轨控推力室身部结构及其制备方法，解决大推力高性能姿轨控推力室身部涂层制备受离子溅射炉尺寸限制，无法利用耐高温抗氧化性能更优的离子溅射涂层的技术问题。本发明带有涂层防护的姿轨控推力室身部结构，推力室身部包括依次连接的短身部和延伸段；短身部的外壁上设置有离子溅射涂层；延伸段的外壁上设置有料浆烧结涂层，既能发挥离子溅射涂层优良的耐高温抗氧化特性，又能满足大推力高性能姿轨控推力室身部不同区域分段防护的需求。本发明姿轨控推力室的涂层制备方法，避免了姿轨控推力室的基体局部无涂层保护。
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公开(公告)号：CN116607117A
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202310815196.9
申请日：2023-07-04
申请人： 上海电气集团股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种复合预涂层、金属双极板及制备方法。该复合预涂层包括依次叠置的软质金属层、第一扩散层、过渡金属层、第二扩散层、陶瓷过渡层、第三扩散层和导电碳层；软质金属层的材质为金、银、锡、镁、铟、铜、铝和钇中的任一种。本发明的复合预涂层界面接触电阻小、导电性好，能有效抵抗冲压过程中的应变力、结合强度高，防止涂层因为冲压而出现剥落开裂的情况，致密性和耐腐蚀性有效提高。
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公开(公告)号：CN116590678A
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202310619161.8
申请日：2023-05-25
申请人： 武汉大学
摘要： 本申请公开了带偏压的管内壁磁控溅射镀膜设备及方法。本设备包括：真空电极，安装在待镀的样品管的一端，其电极与样品管内放置的靶材连接；陶瓷绝缘件，一端与样品管连接，另一端接真空过渡腔；真空过渡腔，向样品管通入或抽出工艺气体以维持辉光放电所需气压；电磁铁，在通电后在靶材表面形成磁场；溅射电源，与真空电极、真空过渡腔电连接；偏压电源，与样品管、真空过渡腔电连接，陶瓷件使得过渡腔与样品管之间电绝缘。在镀膜时，待镀样品管在适合的工艺气压和磁场下，靶材溅射出粒子在样品表面成膜同时可以对样品管施加独立控制的正偏压，可以沉积不同性质，质量更佳的薄膜，可以调控薄膜的物化性能和表面粗糙度。获得缺陷更少的薄膜，或者沉积致密/柱状的多层复合薄膜。
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公开(公告)号：CN116558200A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202310339803.9
申请日：2023-03-31
申请人： 上海华力微电子有限公司
IPC分类号： F25D17/02 , C23C16/44 , C23C16/34 , C23C14/34 , C23C14/14 , F28F19/01 , F28F27/00 , H01J37/32
摘要： 本发明提供了一种热交换器及其使用方法，热交换器包括蓄水箱、第一去离子器和第二去离子器；蓄水箱内设置有抽水泵；抽水泵的出口与出液管道连接，出液管道包括第一主出液管道和第二主出液管道；其中，第二主出液管道包括第一分支出液管道和第二分支出液管道；第一分支出液管道与第一去离子器的进口连接，第二分支出液管道与第二去离子器的进口连接。本发明提供的热交换器及其使用方法，热交换器包括第一去离子器和第二去离子器，使得正在工作的第一去离子器/第二去离子器需要更换时，不需要暂停整个机台，能够切换到第二去离子器/第一去离子器来进行工作。
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公开(公告)号：CN114892282B
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202210425296.6
申请日：2022-04-21
申请人： 西南交通大学
IPC分类号： D01D5/00 , D01F6/12 , H10N30/857 , H10N30/098 , C23C14/35 , C23C14/14
摘要： 本发明公开了一种拓扑结构压电纤维的制备方法及应用，该方法包括以下步骤：(1)3D打印导电基板：利用光固化3D打印技术打印边长为10cm的正方形，再在其表面打印出高2mm的拓扑结构，然后在上面磁控溅射导电金属，得导电基板；(2)拓扑结构纤维的制备：将导电基板作为静电纺丝的接收板进行静电纺丝。本发明的拓扑结构制备流程短、控制简单、成本低，利用3D打印技术的基板调控静电纺丝的电场，进而调控纤维的取向角度，与现有的纤维的应用对比，提供了一个更好提高性能的策略，可进一步扩大拓扑结构在众多产品，如电子传感，通讯产品等领域的广泛应用。
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