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公开(公告)号：CN118102619A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202311792222.7
申请日：2023-12-23
申请人： 深圳市鑫达辉软性电路科技有限公司
发明人： 吴奎
摘要： 本申请涉及柔性电路板加工的技术领域，并具体公开了一种增加聚酰亚胺材质与金属间结合力的方法及加工设备，包括以下步骤：利用惰性等离子体对覆盖膜一侧进行处理，将补强层与经过惰性等离子体处理的覆盖膜表面进行结合。本申请具有增强覆盖膜与其它物体的连接强度，增加柔性电路板的使用寿命的效果。
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公开(公告)号：CN118019199A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202410220815.4
申请日：2024-02-28
申请人： 西安电子科技大学
摘要： 本发明公开了一种金属颗粒电极的介质阻挡放电装置和方法，包括等离子发生器，等离子发生器的介质层包括圆柱形筒体，部分外壁被金属层包裹，作为地电极；圆柱形筒体底部安装有半球形底座；介质层的中心安装有磁场发生装置，介质层与磁场发生装置之间的腔体内自由堆放有若干金属颗粒，作为高压电极；磁场发生装置的内部流通有沿轴向的电流，形成环形磁场；金属颗粒生成流向半球形底座的电流，形成电场；在环形磁场和电场共同作用下，金属颗粒因洛伦兹力沿径向靠近或远离介质层，从而调控地电极的放电强度。本发明中金属颗粒作为高压电极并耦合磁场发生装置，为沿面型介质阻挡放电，实现了精准调控放电强度，形成均匀等离子体，减少能量消耗。
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公开(公告)号：CN115665962A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202211634819.4
申请日：2022-12-19
申请人： 广东省新兴激光等离子体技术研究院
摘要： 本申请涉及一种引出带状离子束的离子源，包括长方体结构的弧腔以及设于弧腔外部的磁场结构；弧腔的第一侧面上设有微波窗和进气口，微波窗用于向弧腔内导入微波能量，进气口用于向弧腔内部通入气体；弧腔的第二侧面上设有引出带状束离子的引出极，用于从弧腔内引出带状离子束；其中第二侧面是与第一侧面相对的侧面；磁场结构沿着弧腔长度方向设置，用于在弧腔内产生设定磁场强度且沿着弧腔长度方向平行延伸的共振面；气体进入弧腔后，在磁场结构产生的强磁场和微波窗导入的微波能量作用下达到电子回旋共振状态产生等离子体，并将离子从引出极引出；该技术方案，引出大宽度的带状离子束，解决了当前离子源的状离子束流宽度受限问题。
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公开(公告)号：CN114864361A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210442191.1
申请日：2018-10-30
申请人： 元平台技术有限公司
发明人： 尼哈尔·兰詹·莫汉蒂
IPC分类号： H01J27/02 , H01J37/305 , H01J37/32 , H05H1/16 , H05H1/46 , G02B27/42 , G02B27/01 , G02B27/00 , G02B6/34 , G02B6/122 , G02B6/00 , G02B5/18 , G02B3/00
摘要： 本申请涉及高折射率材料的H2辅助的倾斜蚀刻。公开了用于制造倾斜结构的技术。在一个实施例中，一种在材料层中制造倾斜结构的方法包括：将第一反应性气体注入到反应性离子源发生器中，在反应性离子源发生器中生成包括反应性离子的等离子体，从等离子体中提取至少一些反应性离子以形成朝向材料层的准直的反应性离子束，以及将第二反应性气体注入到材料层上。准直的反应性离子束和第二反应性气体物理地和化学地蚀刻材料层，以形成倾斜的表面浮雕结构。在一些实施例中，第一反应性气体包括低分子量气体(例如，H2或He)。在一些实施例中，反应性离子源发生器的内腔的表面层包括氧化物材料(例如，氧化铝或Y2O3)层。
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公开(公告)号：CN113573456B
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202110888285.7
申请日：2021-08-03
申请人： 四川大学
摘要： 本发明提供了一种基于平行平板传输线的微波大气压等离子源，包括：两块平行设置的介质板和位于所述两块介质板之间的间隙调节垫片，所述介质板的两侧各突出地形成有一个相对所述介质板的轴线倾斜设置的进气部，两个所述介质板的对应的进气部之间形成进气口，两个所述介质板相对的一侧沿所述轴线形成有馈电铜带，两个所述介质板之间还设置有石英片，所述石英片位于所述微波大气压等离子源的出口端。本发明借助平行平板传输线，构成了一种微波大气压介质阻挡放电装置，该装置体积小，质量轻，工作频带宽，放电间隙可调，激发等离子体温度低，制造工艺简单，便携度。
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公开(公告)号：CN113606102A
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202110656142.3
申请日：2021-06-11
申请人： 北京机械设备研究所
摘要： 本申请揭示了一种磁聚焦场致发射微电推进装置，包括推进剂存储腔、支撑连接结构、绝缘基底、发射极、绝缘支撑结构、栅极和环形磁铁，支撑连接结构安装于推进剂存储腔的输出端，发射极通过绝缘基底安装于支撑连接结构上，支撑连接结构、绝缘基底的通孔与推进剂存储腔的输出孔贯通；栅极通过绝缘支撑结构安装于支撑连接结构上方，绝缘支撑结构的高度高于栅极和绝缘基底的高度之和，栅极和发射极间隔设置，发射极位于绝缘支撑结构、栅极以及绝缘基板之间形成的空间内；环形磁铁套设于绝缘支撑结构上。本申请在装置电极附近增加电磁场，对产生的离子束流约束，驱使离子束流沿轴向方向喷出形成推力，有效降低羽流发散程度，减小羽流发散带来的推力损失。
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公开(公告)号：CN113365402A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202010151455.9
申请日：2020-03-06
申请人： 上海宏澎能源科技有限公司
IPC分类号： H05H1/16
摘要： 本公开涉及一种限制等离子束的装置。一种限制等离子束的装置，包括：入口，用于接收入射的等离子束；出口，所述等离子束从所述出口出射；以及连接所述入口和所述出口的内壁，被构造成反射所述等离子束，使得所述等离子束朝着所述出口行进，其中，所述入口的尺寸大于所述出口的尺寸。
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公开(公告)号：CN113133174A
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN202110564526.2
申请日：2021-05-24
申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院
摘要： 本发明公开了一种螺旋波‑离子回旋共振耦合放电系统，结构包括有进气管道(1)、进气密封(2)、螺旋波放电室(3)、放电管(4)、螺旋波天线(5)、隔离板(6)、离子回旋加热室(7)、离子回旋天线(8)、扩散隔板(9)、扩散密封(10)、扩散室(11)、扩散泵口(12)、磁体线圈(13)、天线泵口(14)。本发明系统中实现高密度、高温度等离子体电离激发和加热集成化。等离子体激发天线和加热天线置于真空环境内有效降低天线的功率损失，提高设备操作的安全性，等离子体激发和加热之间设置物理隔离可有效降低两者电磁波的相互干扰，提高等离子体耦合效率。通过调整激发和加热的功率比可控制等离子体电子密度1015‑1019m‑3、离子温度0‑100eV、脉冲/连续放电。
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公开(公告)号：CN109774988A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201910068511.X
申请日：2019-01-24
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种驱动磁重联的等离子体装置，属于低温等离子体的应用技术领域。解决了现有的空间等离子体地面模拟装置无法真实研究空间中三维磁重联过程的问题。本发明可实现磁层顶磁重联和磁尾磁重联；实现磁层顶磁重联时，通过偶极磁场线圈模拟地球磁场位形，通过磁镜场线圈模拟行星际磁场位形，通过等离子体枪喷射的等离子束流使地球磁场位形上形成的磁层侧等离子体和星际磁场位形上形成的磁层顶磁鞘侧等离子体在磁零点位置实现重联；实现磁尾磁重联时，偶极磁场线圈通电后模拟地球磁场位形，磁镜场线圈均用于模拟地球磁尾磁场位形，通过等离子体枪喷射的等离子束流使地球磁尾南、北侧等离子体在磁零点位置实现重联。本发明主要用于驱动磁重联过程发生。
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