公开(公告)号：CN109794684A

公开(公告)日：2019-05-24

申请号：CN201811346400.2

申请日：2018-11-13

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 金元容 ,  韩圭完 ,  姜泽教 ,  明承镐 ,  吴泽溢

IPC分类号： B23K26/36 ,  H01L51/56 ,  C23C14/04

摘要： 提供了一种用于制造掩模的设备和一种用于制造掩模的方法。所述设备包括：平台，其上设置有预掩模；以及激光照射装置，包括激光产生构件、用于控制激光束的形状的光学系统和用于调节具有被所述光学系统控制的所述形状的激光束的路径的扫描器。所述预掩模包括限定在前表面上的第一图案凹槽和限定在与前表面对应的后表面上的第二图案凹槽。在作为预掩模的厚度方向的第一方向上限定第一部分和第二部分。具有被控制的形状的激光束，在与所述第一方向交叉的第二方向上照射到预掩模的第二部分上，提供去除了所述第二部分的具有开口的掩模。

公开(公告)号：CN104275555B

公开(公告)日：2018-02-02

申请号：CN201310463783.2

申请日：2013-10-08

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 赵庚石 ,  金俊亨 ,  韩圭完 ,  柳济吉

IPC分类号： B23K26/57 ,  B23K26/402 ,  H01L21/67

摘要： 提供了衬底分离装置和衬底分离方法。根据本发明的一方面，提供了一种衬底分离装置，该装置包括激光照射器、激光分光器和方向变换器，其中激光照射器沿第一方向照射第一激光束，激光分光器将第一激光束分成沿第一方向行进的第二激光束和沿不同于第一方向的第二方向行进的第三激光束，方向变换器改变第二激光束或第三激光束的方向。

公开(公告)号：CN107390338A

公开(公告)日：2017-11-24

申请号：CN201710220151.1

申请日：2017-04-06

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 李成用 ,  韩圭完 ,  李石柱

IPC分类号： G02B7/02

CPC分类号： G02B7/02

摘要： 一种安装在光照射单元上的透镜组件，包括透镜、透镜壳体、窗口壳体及窗口单元。所述透镜改变从所述光照射单元射出的光的行进方向，并且所述透镜壳体收纳所述透镜。所述窗口壳体隔着所述透镜与所述光照射单元相对，所述窗口壳体与所述透镜壳体相结合来保护所述透镜。所述窗口单元收纳于所述窗口壳体的内部，与所述透镜相重叠。此外，所述窗口壳体包括主体框架及门部件。所述主体框架沿着所述窗口单元的周边延伸。所述门部件配置在所述主体框架的一侧，开闭所述窗口壳体的内部。

公开(公告)号：CN106064275A

公开(公告)日：2016-11-02

申请号：CN201610160327.4

申请日：2016-03-21

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 柳廷和 ,  金兑龙 ,  金孝真 ,  丁一荣 ,  韩圭完 ,  柳济吉 ,  李振豪

IPC分类号： B23K26/06 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/36

CPC分类号： H01L51/56 ,  B23K26/0608 ,  B23K26/0624 ,  B23K26/18 ,  B23K26/38 ,  B23K26/40 ,  B23K26/402 ,  B23K2103/00 ,  B23K2103/42 ,  B23K2103/50 ,  H01L51/5253 ,  H01L2251/566 ,  B23K26/36 ,  B23K2101/36

摘要： 公开了一种切割基板的方法和一种制造显示装置的方法。切割基板的方法包括：在基板的第一表面上形成第一保护层；形成第一保护层的一部分被去除的去除区域，第一保护层的该部分是通过在第一保护层的一部分以第一激光束照射第一保护层而去除的；以及在以第一激光束照射第一保护层后，通过由在去除区域以第二激光束照射基板而去除基板的一部分，形成切割区域。

公开(公告)号：CN104874922A

公开(公告)日：2015-09-02

申请号：CN201510072802.8

申请日：2015-02-11

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 韩圭完 ,  姜球贤 ,  李惠淑 ,  全镇弘 ,  赵庚石

IPC分类号： B23K26/382 ,  B23K26/064 ,  B23K26/067 ,  B23K26/082 ,  B23K26/402 ,  H01L51/56

CPC分类号： G02B26/10 ,  G02B13/0005 ,  G02B27/0927 ,  G02B27/0988 ,  G02B27/10 ,  G02B27/106 ,  G02B27/144 ,  G02F1/113 ,  H01L27/3244 ,  H01L27/3248 ,  H01L51/5228 ,  H01L51/56 ,  H01L2227/323 ,  B23K26/067

摘要： 公开了一种激光束照射设备以及使用其的有机发光显示设备的制造方法。所述激光束照射设备包括激光源、用于控制通过激光源生成的光的能量的控制器、用于调节已通过控制器的光的形状的第一光学系统、用于调节已通过第一光学系统的光的方向的扫描器、和用于缩小已通过扫描器的光束的F-θ镜头。

公开(公告)号：CN101645403B

公开(公告)日：2014-04-09

申请号：CN200910151695.2

申请日：2009-07-22

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 金亨植 ,  朴镇翰 ,  金俊亨 ,  李炫澈 ,  金成坤 ,  姜泰旭 ,  金锤大 ,  韩圭完 ,  卢喆来

IPC分类号： H01L21/50 ,  H01L27/32

CPC分类号： H01L51/56 ,  C03C8/24 ,  C03C27/06 ,  C03C2218/34 ,  H01L51/5246 ,  H01L2251/566

摘要： 本发明提供一种制造平板显示装置的方法。为了减小当玻璃密封材料经激光被熔化以结合母玻璃时施加到母玻璃的应力变化，所述制造平板显示装置的方法包括：在第一基底和第二基底之间设置多个发射单元，其中，第一基底面对第二基底，每一发射单元形成单元显示装置；在第一基底和第二基底之间设置多个墙壁，其中，每一墙壁分别围绕一个发射单元；将激光束照射到墙壁上，其中，将激光束同时照射到沿第一方向排列成一行的多个第一墙壁部分；沿第二方向扫描激光束，以照射所述多个墙壁的其它墙壁部分，其中第二方向不同于第一方向；切割第一基底和第二基底以获得各个显示装置。

公开(公告)号：CN103364638A

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201310119658.X

申请日：2013-04-08

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 亚历山大·沃罗诺夫 ,  李奭浩 ,  郑志宪 ,  许京会 ,  韩圭完

IPC分类号： G01R27/02 ,  G01N27/20

CPC分类号： G01R31/26 ,  G01R31/2648 ,  G01R31/265

摘要： 本发明公开一种硅薄膜的电导率测量方法、缺陷检测方法及缺陷检测设备。通过硅薄膜的电导率测量方法，以在传感器和样品之间具有气隙的方式将电容式传感器放置在硅薄膜样品的上方，在关闭激发光源组件的同时，利用电容式传感器测量气隙的大小，通过开启激发光源组件，使激发光照射到硅薄膜样品上，其中激发光是紫外光，利用电容式传感器测量硅薄膜样品的电导率变化，以及通过基于气隙大小的测量结果使电导率变化归一化，来消除由于气隙的偏差而导致的测量误差。