导电性高分子组合物、包覆物、及图案形成方法

    公开(公告)号:CN106336603B

    公开(公告)日:2020-10-23

    申请号:CN201610537136.5

    申请日:2016-07-08

    Abstract: 本发明的课题在于提供一种导电性高分子组合物,所述导电性高分子组合物在对电子束抗蚀剂进行刻写时的抗静电性能优异,并且抗蚀剂上的涂布性、以及利用H2O和碱性水溶液而产生的剥离性优异,能够适用于电子束光刻。为了解决上述问题,本发明提供一种导电性高分子组合物,其含有:(A)π‑共轭系导电性高分子,其具有由下述通式(1‑1)、通式(1‑2)及通式(1‑3)所示的重复单元中的至少1种;及,(B)掺杂聚合物,其包含由下述通式(2)所示的重复单元a,重均分子量为1000~500000的范围;

    聚合性单体、导电聚合物用高分子化合物及其制备方法

    公开(公告)号:CN111499500A

    公开(公告)日:2020-08-07

    申请号:CN202010077624.9

    申请日:2020-01-31

    Abstract: 本发明提供一种适合用作燃料电池用或导电材料用的掺杂剂的导电聚合物用高分子化合物与其制备方法,该导电聚合物用高分子化合物由共聚聚合物形成,该共聚聚合物含有具有氟磺酸、氟磺酰亚胺基、正羰基氟磺酰胺基的重复单元与具有3,3,3-三氟-2-羟基-2-三氟甲基异丁醚基的苯乙烯的重复单元。使用下述通式(1)所表示的聚合性单体与选自具有由氟磺酸等的锂盐、钠盐、钾盐、氮化合物盐构成的盐结构的单体中的一种以上的单体,进行聚合反应,通过离子交换,将通过聚合反应而得到的聚合物的重复单元的盐结构变换为氟磺酸等。[化学式1]

    导电性高分子组合物、包覆品以及图案形成方法

    公开(公告)号:CN106947221B

    公开(公告)日:2020-06-26

    申请号:CN201610848395.X

    申请日:2016-09-23

    Abstract: 本发明提供一种导电性高分子组合物,该组合物形成一种过滤性、对基板的涂布性、成膜性良好且膜质良好的导电膜,由H2O或碱性水溶液而产生的剥离性优异,所成膜的导电膜表现出高电荷发散能力的抗静电性能,也不会对接触的相邻层带来由酸导致的影响。为此,本发明提供一种导电性高分子组合物,含有:(A)π‑共轭系导电性高分子,其具有由下述通式(1‑1)、通式(1‑2)以及通式(1‑3)所示的重复单元中的至少一种;(B)掺杂聚合物,其包含由下述通式(2)所示的重复单元a,重量平均分子量为1000~500000的范围;以及,(C)由下述通式(3)所示的两性离子型化合物。

    收缩材料和图案形成方法
    79.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105676591B

    公开(公告)日:2019-11-26

    申请号:CN201510893730.3

    申请日:2015-12-08

    Abstract: 本发明提供收缩材料,其包括包含式(1)的重复单元的聚合物和含有抗消失性溶剂的溶剂。通过将包含基础树脂和产酸剂的抗蚀剂组合物涂布到基材上以形成抗蚀剂膜、曝光、在有机溶剂显影剂中显影以形成负型抗蚀剂图案、将该收缩材料涂布到该图案上和用有机溶剂将过量的收缩材料除去以由此使该图案中的孔和/或狭缝的尺寸收缩,从而形成图案。

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