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公开(公告)号：CN101217180B
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN200810046660.8
申请日：2008-01-09
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： H01L41/22
摘要： 本发明公开了一种无铅压电厚膜的丝网印刷制备方法，包括：①固相法制备无铅压电陶瓷粉体；②将粘合剂按质量比为3∶100～9∶100溶解到松油醇中得到有机混合物；③将无铅压电陶瓷粉料与有机混合物按质量比15∶10～90∶10混合，加入分散剂，增塑剂混合碾磨后再球磨，得到待印刷浆料；④将浆料通过丝网印刷工艺印刷到基片上，经过放平，烘烤，预烧并重复得到所需厚度的厚膜素坯；⑤将素坯在1050～1300℃下烧结，保温15～45分钟即可。本发明工艺简单，环保，成膜效率高，可重复性好，成膜较致密，电性能优异，厚度可在10～100μm内随意控制，可无需光刻工艺得到各种印刷厚膜图形，与MEMS技术兼容，适合于制备压电微马达、微流体泵、超声换能器及微执行器。
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公开(公告)号：CN101323427B
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN200810047178.6
申请日：2008-03-28
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： H01L41/08
摘要： 本发明公开了一种制备硅微悬梁无铅压电厚膜执行器的方法，包括：①硅片清洗，生长二氧化硅和氮化硅层；②刻蚀硅片背面腐蚀窗口后刻蚀硅微桥；③采用剥离工艺制备Pt/Ti下电极；④印刷法制备无铅压电厚膜并进行抛光；⑤沉积Au上电极并对其湿法刻蚀，最后去掉微桥一端得到悬梁。本发明的优点是：结构、工艺简单，低的驱动电压，更大的位移，响应速率快，谐振频率高；采用致密的无铅压电膜，无毒环保，符合当前电子材料与器件的发展趋势；用途广泛，可用作各种微夹持、驱动的执行部件，改变尺寸参数也可用于微传感器。
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公开(公告)号：CN101215172A
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200810046659.5
申请日：2008-01-09
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： C04B35/64 , C04B35/468 , C04B35/475 , C04B35/462
摘要： 本发明公开了一种制备钛酸铋钠基无铅压电厚膜的方法，包括①按固相法制备结构式为(Na0.5Bi0.5)(1－x)BaxTiO30＜x＜1的陶瓷粉料，加入粘合剂，松油醇，分散剂和增塑剂，碾磨再球磨成浆料并印刷、烘烤和预烧得单层膜；②以三乙醇胺为催化剂，乙酰丙酮为稳定剂配制BNT－BT前驱体溶液，分成两份，一份经过烘烤、碾磨、预烧和球磨后加入到另一份溶胶中，得复合溶胶。③复合溶胶旋涂至预烧后的厚膜上后，改为垂直放置，再次旋转、烘干、预烧、重复填充数次，退火；④重复印刷、放平、烘干、预烧、填充、预烧和结晶步骤，得到所需厚度的厚膜素坯再烧结即可。本发明的优点是工艺简单，成膜致密度高，电性能优异，能应用于压电微马达、微流体泵、超声换能器及微执行器等。
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公开(公告)号：CN217740345U
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202220700164.5
申请日：2022-03-28
申请人： 广东华中科技大学工业技术研究院
摘要： 本实用新型公开了3D打印多层异质结构介质储能复合陶瓷块体，包括至少两层BNT‑SBT膜层，每层BNT‑SBT膜层被固化成型；耐热层，所述耐热层内置在两层BNT‑SBT膜层之间；保护层，所述保护层与每层BNT‑SBT膜层的外侧表面层上连接。本实用新型不仅相对密度高、质量好，并且击穿场强高，储能密度大。可防止BNT‑SBT膜层的外侧表面层受到刮伤或碰撞等伤害，而且在高温的环境下工作时，通过该耐热层可减少高温热量所带来的不良影响。
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公开(公告)号：CN216900612U
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN202123275200.2
申请日：2021-12-22
申请人： 广东华中科技大学工业技术研究院
IPC分类号： G01P15/09
摘要： 本实用新型公开了一种可在高温下应用的无铅压电加速度传感器，包括多块陶瓷片，每块陶瓷片与相邻的陶瓷片的一端相互并联连接在一起；多块导电块，每块导电块分别设置在对应的陶瓷片上，每块导电块之间相距预设的距离；引导线，所述引导线的两端分别与其中两块导电块电连接。本实用新型传感器具有环保无毒，制备成本低，可在较高温度的环境下使用等特点，结构简单，具有较高的灵敏度，可替代市面上中低端的压电传感器。
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公开(公告)号：CN219850568U
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202320863912.6
申请日：2023-04-17
申请人： 广东华中科技大学工业技术研究院
IPC分类号： B06B1/06
摘要： 本实用新型公开了一种聚焦式空气耦合超声换能器，从上往下依次包括上电极、压电陶瓷层和下电极，所述压电陶瓷层由压电陶瓷柱阵列与填充在压电陶瓷柱阵列中的环氧树脂组成，所述压电陶瓷柱阵列包括若干个呈阵列分布的压电陶瓷柱，所述若干个压电陶瓷柱的输出端指向同一个中心点。本实用新型提供的一种聚焦式空气耦合超声换能器，通过设计聚焦阵列结构来实现声波能量聚焦，在大幅度提高声波能量密度的同时，拓宽了探头的频带而不损失灵敏度，可以实现对多材料的快速，非接触的扫查检测，且其结构简单，可根据实际性能需要进而更改几何设计、制备不同规格的探头，以匹配不同领域所需的质量、损伤快速扫查。
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公开(公告)号：CN217372740U
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202220161932.4
申请日：2022-01-20
申请人： 东莞理工学院 , 广东华中科技大学工业技术研究院
IPC分类号： B28B1/00 , B28B13/02 , B28B17/00 , B22F10/12 , B22F12/67 , B22F12/90 , B33Y30/00 , B33Y40/10 , B33Y40/20
摘要： 本实用新型涉及一种用于膏料光固化3D打印装置。本实用新型所述的用于膏料光固化3D打印装置，包括壳体、设置于壳体内部的载料机构、铺料机构、成型机构、光源机构、驱动机构、控制机构。铺料机构通过条形楔块的斜面带动第一刮刀和第二刮刀上下移动，并固定在不同高度，使铺料机构运行平稳；通过折叠式成型缸与料槽一体式构造避免了料槽及成型缸上的膏料出现渗漏现象，降低了复杂机构的系统误差，一定程度上减少了膏料的用量，大大节约时间的同时大大提高了成型的精度。本实用新型的用于膏料光固化3D打印装置结构简单、使用简便，打印过程避免了复杂冗余的步骤，装置运行平稳，打印省时、高效、精度高，打印结束后装置易于拆卸、清洁方便。
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公开(公告)号：CN219871173U
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202320863868.9
申请日：2023-04-17
申请人： 广东华中科技大学工业技术研究院
摘要： 本实用新型公开一种多孔结构空气耦合式超声换能器及空气耦合超声探头，空气耦合式超声换能器从上往下依次包括上电极、压电敏感元件、下电极和匹配层，压电敏感元件为多孔压电陶瓷，匹配层为由环氧树脂和空心玻璃微珠组成的复合材料层，复合材料层包括环氧树脂基体，环氧树脂基体内包覆有若干个空心玻璃微珠。本实用新型的空气耦合式超声环能器采用了多孔压电陶瓷，其更容易实现充分极化，压电电压常数d33可达到560pC/N，相比块体陶瓷仅有小幅降低，同时相对介电常数大幅降低至400，得到了大于150mV·m/N的压电电压常数，远超块体陶瓷，从而以该空气耦合式超声环能器制备的空气耦合超声探头具有更高的机电响应信号。
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公开(公告)号：CN218584724U
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202222024213.0
申请日：2022-07-29
申请人： 华中科技大学 , 山东非金属材料研究所
IPC分类号： G01N29/24
摘要： 本实用新型公开了一种压电超声空耦换能器探头，包括探头外壳，所述探头外壳内具有容置空间；匹配层，所述匹配层设置在探头外壳的第一端，所述匹配层的其中一面位于容置空间内，所述匹配层具有若干层且每一层匹配层均内置在空置空间内，每层以浇注空心玻璃珠含量梯度分布；背衬层，所述背衬层内置在容置空间且设置在其中一层匹配层上。改善了传统空气耦合式超声换能器探头的多方面问题,避免了存在有影响声阻抗匹配效果与拖尾超声波吸收的问题，而且整体结构设计便于实际生产流程，提高产品良率。
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公开(公告)号：CN217729097U
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202220700161.1
申请日：2022-03-28
申请人： 广东华中科技大学工业技术研究院
摘要： 本实用新型公开了一种冷冻陶瓷流延机，所述冷冻陶瓷流延机包括工作平台，所述工作平台上铺设一层流延膜带；控制杆，所述控制杆可在工作平台上移动，将陶瓷浆料均匀地铺平在流延膜带上，形成厚度均一的陶瓷膜；制冷组件，所述制冷组件设置在工作平台上，当陶瓷浆料流出在工作平台上的流延膜带，所述制冷组件将陶瓷浆料进行冷冻处理。冷冻流延机可实现冷冻降温，可以在更低温度下工作，扩大了流延机的应用场景，通过PLC控制器控制，简易方便，可自动化进行流延操作，本流延机在多孔陶瓷流延过程中，可直接将浆料中的溶剂进行冷冻，无需进行干燥和排胶，后续可直接通过真空干燥制备陶瓷生坯使用造孔剂。
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