一种超高硬度碳化硼陶瓷材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN116354726A

    公开(公告)日:2023-06-30

    申请号:CN202310274431.6

    申请日:2023-03-20

    摘要: 本发明公开一种超高硬度碳化硼陶瓷材料及其制备方法,该超高硬度碳化硼陶瓷材料的原料成分为B4C粉末和Ti6Al4V粉末,B4C粉末的体积百分比含量为95~99.5%,Ti6Al4V粉末的体积百分比含量为0.5~5%。其制备方法包括以下步骤:A、粉末混合:将B4C粉末和Ti6Al4V粉末按比例进行行星球磨混合,球磨介质为氧化锆球和无水乙醇;B、放电等离子烧结:将球磨后的混合粉体放入石墨模具中,再将石墨模具放入放电等离子烧结腔体中进行烧结即得到超高硬度碳化硼陶瓷材料,待冷却后将超高硬度碳化硼陶瓷材料从石墨模具中取出。本发明克服了现有对于碳化硼陶瓷的致密化问题,成功制备出超高硬度碳化硼陶瓷材料。

    一种金刚石陶瓷复合划片刀及其制备方法

    公开(公告)号:CN111704391B

    公开(公告)日:2022-02-22

    申请号:CN202010609978.3

    申请日:2020-06-29

    IPC分类号: C04B26/12 C04B20/10 B28D5/02

    摘要: 本发明涉及半导体加工领域,尤其涉及一种金刚石陶瓷复合划片刀及其制备方法,原料包括树脂、金刚石、无机填料和造孔剂,经过混料、填料、热压、二次硬化等步骤制作,并使用其特制模具制成,模具包括两个压型模、设置在两个压型模中间的外型模及设置在压型模下端的内型模;内型模包括底板和均匀固定在底板上端面的内型限位柱;压型模包括上和均匀固定在上板端面的压型管,内型限位柱外径与压型管内径相匹配;外型模包括中板和均匀开设在中板上的外型孔,压型管的外径与外型孔内径相匹配。本发明可制备一种具有超高形位精度,切缝表面质量,机械性能和寿命的超薄金刚石划片。

    一种超高硬度和高韧性的碳化硼陶瓷材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN116354727A

    公开(公告)日:2023-06-30

    申请号:CN202310276172.0

    申请日:2023-03-20

    摘要: 本发明公开一种超高硬度和高韧性的碳化硼陶瓷材料及其制备方法,其原料成分为B4C粉末和Si粉末,其中,B4C粉末的体积百分比含量为95~99.5%,Si粉末的体积百分比含量为0.5~5%。其制备方法包括以下步骤:A、粉末混合:将B4C粉末和Si粉末按比例进行行星球磨混合,球磨介质为氧化锆球和无水乙醇;B、放电等离子烧结:将球磨后的混合粉体放入石墨模具中,再将石墨模具放入放电等离子烧结腔体中进行烧结即得到超高硬度和高韧性的碳化硼陶瓷材料,待冷却后将超高硬度和高韧性的碳化硼陶瓷材料从石墨模具中取出。本发明克服了现有对于碳化硼陶瓷的致密化和韧性问题,成功制备出兼具超高硬度和高韧性的碳化硼陶瓷材料。

    一种金刚石陶瓷复合划片刀及其制备方法

    公开(公告)号:CN111704391A

    公开(公告)日:2020-09-25

    申请号:CN202010609978.3

    申请日:2020-06-29

    IPC分类号: C04B26/12 C04B20/10 B28D5/02

    摘要: 本发明涉及半导体加工领域,尤其涉及一种金刚石陶瓷复合划片刀及其制备方法,原料包括树脂、金刚石、无机填料和造孔剂,经过混料、填料、热压、二次硬化等步骤制作,并使用其特制模具制成,模具包括两个压型模、设置在两个压型模中间的外型模及设置在压型模下端的内型模;内型模包括底板和均匀固定在底板上端面的内型限位柱;压型模包括上和均匀固定在上板端面的压型管,内型限位柱外径与压型管内径相匹配;外型模包括中板和均匀开设在中板上的外型孔,压型管的外径与外型孔内径相匹配。本发明可制备一种具有超高形位精度,切缝表面质量,机械性能和寿命的超薄金刚石划片。