公开(公告)号：CN1133496A

公开(公告)日：1996-10-16

申请号：CN95121868.9

申请日：1995-11-16

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 武内幸久 ,  七泷努 ,  竹内胜之

IPC: H01L41/04

CPC classification number: B32B18/00 ,  C04B35/486 ,  C04B35/4885 ,  C04B2235/6567 ,  C04B2237/341 ,  C04B2237/343 ,  C04B2237/348 ,  C04B2237/66 ,  C04B2237/704 ,  H01L41/098 ,  Y10T156/1062

Abstract: 一种陶瓷膜结构体包括一个具有至少一个窗口部分的陶瓷基体，和一被层压以便覆盖窗口部分的陶瓷薄膜片，其中将该陶瓷膜结构体整体形成以便使该陶瓷薄膜部分在窗口部分的相反方向上向外凸出，并且陶瓷连接层将该陶瓷薄膜片连接到陶瓷基体上。该陶瓷膜结构体具有高共振频率，高强度，优异质量和高可靠性。

公开(公告)号：CN1129359A

公开(公告)日：1996-08-21

申请号：CN95115543.1

申请日：1995-08-10

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 武内幸久 ,  七龙努

IPC: H01L41/083 ,  H01L41/22

CPC classification number: H04R17/08

Abstract: 一种压电/电致伸缩膜元件，它包括一个有至少一个窗口(6，36)和一个用来封闭每个窗口的膜片部(10)的陶瓷基片(2，22)，及一个在该膜片部上形成的膜状压电/电致伸缩单元(18，24)。该膜片部有一种凸面形状并沿离开对应窗口的方向向外突出。该压电/电致伸缩单元包括一个下电极(12，40)、一个压电/电致伸缩层(14、42)和一个上电极(16、44)，它们按叙述次序通过一种膜形成方法叠层地形成在该膜片部的凸形外表面上。还公开了一种制作如上所述的压电/电致伸缩膜元件的方法。

公开(公告)号：CN1128199A

公开(公告)日：1996-08-07

申请号：CN95116204.7

申请日：1995-09-05

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 武内幸久 ,  七泷努 ,  增森秀夫

IPC: B28B1/00

CPC classification number: G01L9/008 ,  G01L9/0042 ,  H01L41/098 ,  H01L41/314 ,  Y10T428/166 ,  Y10T428/24331 ,  Y10T428/24628 ,  Y10T428/24942

Abstract: 一种制造陶瓷膜结构(2)的方法，该陶瓷膜结构包括陶瓷基体(4)，和一个叠放在陶瓷基体上的陶瓷膜片(8)，上述膜片包括至少一个膜部分(10)，上述至少一个膜部分的每一部分都向外凸出，在上述每一个膜部分的凸形形成期间或形成之后，用一个带有平面或凹面的模子(14、15、22、23)压着上述至少一个膜部分(10)的每一个的顶部，使至少上述的顶部有一个平面(10a)或预定曲率半径的曲面(10b)，由此控制上述每一个膜部分的凸出量。

公开(公告)号：CN1127430A

公开(公告)日：1996-07-24

申请号：CN95115342.0

申请日：1995-08-11

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 武内幸久 ,  七泷努

IPC: H01L41/09 ,  H01L41/107 ,  H01L41/113 ,  H01L41/24

CPC classification number: H04R17/08

Abstract: 一种压电/电致伸缩膜元件，它包括一个有至少一个窗口(6，36)和一个用来封闭每个窗口的整体地形成的膜片部(10)的陶瓷基片(2，22)，及一个包括按叙述次序在该膜片部的外表面上形成的下电极(12，40)、压电/电致伸缩层(14，42)和上电极(16，44)的压电/电致伸缩单元(18，24)。该压电/电致伸缩层由一个具有不小于0.7μm的晶粒尺寸和不大于15％的孔隙率(X)的致密体组成，而该膜片部具有0～8％的偏移率(Y)。孔隙率(X)和偏移率(Y)满足以下公式：Y≤0.1167X2-3.317X+25.5。

公开(公告)号：CN1119632A

公开(公告)日：1996-04-03

申请号：CN95109697.4

申请日：1995-07-31

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 武内幸久 ,  七泷努 ,  竹内胜之 ,  前田高宏

IPC: C04B37/00

CPC classification number: H04R17/08

Abstract: 一种陶瓷膜片结构，它包括一个有至少一个窗口(6；36)的陶瓷基片(4；28，30)，和一个叠合于该陶瓷基片以封闭该窗口或那些窗口的陶瓷膜片板(8；26)。该膜片板与该陶瓷基片一起烧制以形成一个整体烧结体。该膜片板包括与该(各)窗口对正并沿离开对应窗口方向向外突出以形成突出形状的至少一个膜片部(10)。还公开了一种制作此一陶瓷膜片结构的方法，其中在烧制该陶瓷基片和陶瓷膜片板时使该膜片部形成凸面形状。