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公开(公告)号：CN105150106A
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201510602557.7
申请日：2015-09-21
申请人： 上海工程技术大学
摘要： 本发明公开了晶圆双面化学机械研磨抛光用冷却装置及方法，包括设于研磨抛光机构上的冷却机构、调节系统和显示控制系统，冷却机构包括冷却盘体，冷却盘体的内部通过冷却通道形成冷却腔，冷却通道包括内圈圆环形的通道和外圈环状波浪形的通道。本发明结构简单，操作方便，在使用的过程中，将晶圆放入行星轮中并加入含适量磨粒的研磨液，通过操作面板设置所需工作温度，启动装置，通过显示面板即可实时监测工作温度。冷却液沿特定的冷却通道对下磨盘进行强制冷却，有效地控制了晶圆的加工温度，提高了晶圆研磨抛光的表面质量，降低了晶圆碎片概率。
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公开(公告)号：CN105108589A
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201510431925.6
申请日：2015-07-21
申请人： 宁波大学
CPC分类号： B24B1/00 , B24B29/08 , B24B41/065 , B24B57/00 , B24B57/02
摘要： 本发明公开了一种管棒法制备硫系玻璃光纤预制棒用玻璃套管的抛光方法，该抛光方法采用特定抛光装置，对硫系玻璃光纤预制棒用玻璃套管的内壁先后进行初步抛光、粗磨、细磨和精磨，抛光时将玻璃套管套在不锈钢圆棒上，确保不锈钢圆棒处于水平状态，通过手持玻璃套管沿不锈钢圆棒来回移动并前后滚动，利用不锈钢圆棒表面设置的滚牙纹对玻璃套管内壁进行摩擦切削，最终实现了对管棒法制备硫系玻璃光纤预制棒用玻璃套管内壁的高效率、高质量抛光；本发明抛光方法步骤简单，可操作性强，抛光效率高，抛光效果好，适用于内径1.5mm以上的玻璃套管的内壁的抛光。
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公开(公告)号：CN104985518A
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201510456861.5
申请日：2015-07-30
申请人： 四川金锋建设有限公司
发明人： 何学友
摘要： 本发明公布了管道内壁的抛光方法，首先向夹持固定好的石油弯管内注入打磨液，由钢绳与吊耳连接，在牵引设备中的驱动下，抛光机构进入到弯管中，打磨液从抛光机构与弯管内壁之间的间隙中快速流出，打磨液作用在管壁上，经过磨料颗粒的高速运动对弯管内壁上的边角或是凸起等起到剪切去除的作用；流动的打磨液带动叶轮自由转动，叶轮可将部分的打磨液旋转喷射至管壁上，在打磨液冲击管壁的同时也将管壁上脱落的铁屑清理；两个相对设置的保护壳体可在打磨液快速流动时对叶轮进行支撑保护，对称设置在保护壳体上的流孔，打磨液快速进入到扩大段中，在经过平直段后打磨液的速度进一步提升，使得在进入叶轮所在的区域时具有较高的动量。
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公开(公告)号：CN104956278A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201380070325.0
申请日：2013-11-13
申请人： 气体产品与化学公司
CPC分类号： G05D11/132 , B01F3/0861 , B01F3/088 , B01F5/0212 , B01F5/10 , B01F5/12 , B01F15/0022 , B01F15/0408 , B24B37/00 , B24B57/02
摘要： 本发明提供了一种适于向半导体制造设施中的化学机械平面化(CMP)工具或其它工具提供料浆和/或化学共混物的料浆和/或化学共混物供给装置、相关工艺、使用方法和制造方法。所述料浆和/或化学共混物供给装置包括以下的一者或多者：进料模块、共混模块、分析模块和分配模块。
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公开(公告)号：CN104827404A
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201510213427.4
申请日：2015-04-29
申请人： 上海华力微电子有限公司
发明人： 黄汇丰
摘要： 本发明公开了一种化学机械研磨设备，用于对晶圆待研磨表面进行研磨，包括研磨液供给手臂、底座、驱动装置以及位置锁定装置，其中，研磨液供给手臂至少为一节，用于向晶圆表面提供研磨液，研磨液供给手臂一端设有喷射研磨液的喷嘴，另一端所述底座铰接；底座用于支撑研磨液供给手臂，以带动喷嘴在晶片边缘与晶片中心之间做往复运动；驱动装置安装于所述底座下方，用于驱动研磨液供给手臂在晶圆上方做水平往复运动。本发明通过设置驱动装置以带动研磨液供给手臂运动至预设位置，在运动过程中，保证研磨液均匀、匀速的喷射至晶圆表面，到达预设位置后，也可通过位置锁定装置固定研磨液供给手臂的位置和角度，满足实际工艺的需要。
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公开(公告)号：CN104759980A
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201510148639.9
申请日：2015-03-31
申请人： 浙江工业大学
摘要： 一种主动控制反应条件方式的SiC材料高效抛光设备，包括密封腔体、机架、抛光盘、工件夹具、碱性抛光液输入部件和氧化性气体输入部件，抛光盘、工件夹具均置于密封腔体内，工件夹具置于抛光盘上方，待抛光的SiC材料装夹在工件夹具的底面；抛光盘安装在驱动主轴上，所述驱动主轴伸出所述密封腔体的底部，驱动主轴与主轴驱动装置连接；碱性抛光液输入部件安装在密封腔体上，碱性抛光液输入部件上装有用于控制抛光过程中抛光液的流量的流量调节阀；氧化性气体输入部件安装在密封腔体上，氧化性气体输入部件上装有用于控制抛光过程中所述密封腔内的气压大小的气压调节阀。本发明材料去除率较高、过程可控、低成本。
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公开(公告)号：CN104551976A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201310520750.7
申请日：2013-10-29
申请人： 上海上冶阀门制造有限公司
IPC分类号： B24B37/025
CPC分类号： B24B37/025 , B24B37/005 , B24B57/02
摘要： 本发明涉及一种多功能自适应球阀研磨机，磨头电机通过阀杆夹头带动球阀阀芯按工艺要求的转速转动，实现与阀座配合研磨，提高研磨质量与效率，保证阀门密封性能；通过调整出液可变连接口和活动进液接头和磨头中心的位置来与不同尺寸的球阀相配合，扩展研磨机的使用范围，提高自适应性；通过设置循环泵实现磨料液循环利用，绿色环保，同时也降低了生产成本；由磨头电机、磨头、阀杆夹头、工作台架组成的研磨结构也可以对其他回转体进行配磨和研磨，通用性强，生产效率高；通过纵工作台伺服电机、横工作台伺服电机、调整工作台架和球阀的位置，电液缸夹紧球阀，提高工作效率，降低劳动强度。
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公开(公告)号：CN104507639A
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201380039008.2
申请日：2013-07-24
申请人： 柯尼卡美能达株式会社
CPC分类号： C09G1/02 , B03C1/002 , B03C1/02 , B03C1/0332 , B03C1/0335 , B03C2201/18 , B03C2201/20 , B24B57/02 , B24B57/00
摘要： 本发明从包含使用过的研磨材料的研磨材料浆料中得到高纯度的再生研磨材料。研磨材料是选自氧化铈、金刚石、氮化硼、碳化硅、氧化铝、氧化铝-氧化锆以及氧化锆中的至少一种，且经由下述工序A～D从研磨材料浆料中再生研磨材料，即，回收包含使用过的研磨材料的研磨材料浆料的浆料回收工序A；向该回收的研磨材料浆料添加含有碱土金属元素的金属盐，使研磨材料凝聚，从母液分离该研磨材料并进行浓缩的分离浓缩工序B；将分离浓缩了的研磨材料固液分离并回收的研磨材料回收工序C以及用磁性过滤器过滤去除混入研磨材料浆料的金属元素粒子的过滤工序D，并且工序D在工序A～C中任意一项工序之后或者与工序B或工序C同时进行。
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公开(公告)号：CN104470681A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201380024943.1
申请日：2013-06-18
申请人： 国立大学法人鹿儿岛大学 , 株式会社中山电机
CPC分类号： G01N1/32 , B23H5/06 , B23H5/08 , B24B37/046 , B24B37/10 , B24B37/24 , B24B37/26 , B24B37/345 , B24B49/12 , B24B57/02 , C25F3/00 , C25F3/16 , C25F7/00 , G02B21/26 , G02B21/367 , H01L21/32125
摘要： 公开了一种附设有研磨机构(20)的观察拍摄装置。研磨机构(20)设有：旋转轴(23)铅直的旋转盘(24)；研磨布(26、27)，其安装在该旋转盘(24)的下表面上并对试样(15)的表面进行研磨；以及研磨液喷嘴(31、33)，其配置在比该研磨布(26、27)靠下方的位置，并朝上喷射含有研磨材料的研磨液，以润湿研磨布(26、27)。
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公开(公告)号：CN104400587A
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201410549694.4
申请日：2014-10-16
申请人： 中山市吉尔科研技术服务有限公司
发明人： 王小清
摘要： 本发明提供了一种旋流式光学镜片抛光设备，属于光学镜片加工领域。本抛光设备包括具有抛光液的加工桶和旋转电机，电机转轴伸入一双向盒，电机转轴的端部连有转向机构，转向机构带动直杆一和直杆二呈相反时针方向转动，两直杆外端连有吸盘，转向机构包括齿轮一，齿轮二和齿轮三，齿轮二和齿轮三分别啮合于齿轮一，电机转轴紧配合于轴承一和齿轮一，直杆一和直杆二的内端分别紧配合于齿轮二和齿轮三，旋转电机上方具有与之相连的直线电机，加工桶的底部具有设有水泵的吸管，吸管另一端为圆环部，圆环部固连加工桶的，圆环部的内壁上具有喷流管，喷流管呈平行于该处圆环部的切线方向设置。本抛光设备抛光效果好，效率高，使抛光液均匀分布。
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