基于深度学习算法的表面缺陷检测方法

    公开(公告)号:CN115205275A

    公开(公告)日:2022-10-18

    申请号:CN202210889914.2

    申请日:2022-07-27

    摘要: 基于深度学习算法的表面缺陷检测方法,解决了现有采用深度学习算法进行表面缺陷检测时存在样本不均衡的问题,属于工业生产中检测技术领域。本发明包括:基于深度学习算法建立表面缺陷分类模型,利用初始训练样本集D1对表面缺陷分类模型进行训练;对D1中各类表面缺陷图像样本进行采样,获得均衡图像样本集D2,利用D2继续对表面缺陷分类模型进行训练,训练过程中,冻结表面缺陷分类模型中卷积层的参数,调整全连接层的参数,直至表面缺陷分类模型收敛;利用表面缺陷分类模型对待检测图像样本进行检测,计算弱监督定位信息;并进行阈值分割处理,利用二值化阈值,生成缺陷的位置掩膜,完成表面缺陷检测。

    一种自然振动时空混合移相微球表面形貌检测系统

    公开(公告)号:CN112815872B

    公开(公告)日:2022-08-05

    申请号:CN202110250385.7

    申请日:2021-03-08

    IPC分类号: G01B11/24

    摘要: 一种自然振动时空混合移相微球表面形貌检测系统,涉及的是光学检测空间物体表面三维信息的技术领域。本申请采用时域、空域混合移相的方式,以自然振动引入的随机移相量作为时域移相值,通过空域移相实时监测每帧主干涉图采集时由自然振动引入的具体移相值,并以此进行相位信息解算,最后得到的被测微球表面形貌不受环境因素中振动、空气扰动等因素的影响。它用于检测微球表面形貌。

    一种激光束靶耦合传感器
    83.
    发明授权

    公开(公告)号:CN114089310B

    公开(公告)日:2022-08-02

    申请号:CN202111407061.6

    申请日:2021-11-24

    IPC分类号: G01S7/481

    摘要: 一种激光束靶耦合传感器,解决了如何高精度束靶耦合的问题,属于光电传感器领域。本发明包括:侧路监测单元位于实验靶侧向,用于确定实验靶的靶面位置,进行粗定位;测距模块用于确定实验靶的靶面位置,进行精细定位;定位过程中,利用调焦平台带动传感器主体运动,使实验靶位于预先标定出的传感器共轭位置。主激光束的焦斑与实验靶上靶点关于双面反射镜外反射面为光学共轭关系;靶点监测单元位于实验靶正向,监测实验靶上的靶点位置;主激光束监测单元用于对束靶耦合时激光焦斑位置进行监测;利用靶点与焦斑位置的换算关系确定靶点与焦斑的相对位置关系、光束准直情况以及光束合束情况。并调整主激光器的入射位置,完成激光束靶耦合。

    集束装置终端光学组件成像系统及方法

    公开(公告)号:CN114660091A

    公开(公告)日:2022-06-24

    申请号:CN202210277608.3

    申请日:2022-03-21

    摘要: 集束装置终端光学组件成像系统及方法,涉及大口径光学元件在线成像系统设计领域,本发明的目的是为了解决目前对单束终端光学组件的成像检测速度慢的问题。光学组件由8个子束按口字型排列组成,成像物镜采集光学组件的像,将采集到的像输出至分光棱镜,第一组子束的像经过分光棱镜透射到对应的4块探测芯片上,同时第二组子束的像或者第三组子束的像经过分光棱镜反射到另外所述2块探测芯片上,将成像物镜、分光棱镜和图像探测器一同绕光轴顺时针线旋转90°后,第三组子束的像或者第二组子束的像经过分光棱镜反射到所述另外2块探测芯片上,图像探测器完成对8个子束图像的全部采集。它用于对光学组件成像进行采集。

    扫频干涉测距信号处理方法

    公开(公告)号:CN113253241A

    公开(公告)日:2021-08-13

    申请号:CN202110608713.6

    申请日:2021-06-01

    IPC分类号: G01S7/48

    摘要: 一种扫频干涉测距信号处理方法,属于测距信号处理技术领域。本发明针对现有激光调谐非线性的校正方法需使用CZT运算完成频谱的细化,计算量巨大的问题。包括:对测量信号x(n)和辅助干涉信号的相位信号phase_aux进行一次信号峰值的滤波:设置n=M/2q,式中M为依据测量指标确定的最终细分倍数;q为频谱峰值索引总次数;n为初始细分倍数;将测量信号x(n)和辅助干涉信号的相位信号phase_aux在频谱范围[f01,f02]内分割为n份,其中f01为细分范围的起点,f02为细分范围的终点,获得第一次频谱峰值索引f1……,直至获得第q次频谱峰值索引fq,对所有频谱峰值索引按照公式解算获得测距信号对应的目标距离。本发明实现了对测距信号全调频范围的快速数据处理。

    暗场成像结合空间移相干涉的微球缺陷检测装置及方法

    公开(公告)号:CN112903713A

    公开(公告)日:2021-06-04

    申请号:CN202110254460.7

    申请日:2021-03-09

    IPC分类号: G01N21/95

    摘要: 暗场成像结合空间移相干涉的微球缺陷检测装置及方法,涉及光学检测技术领域。为了解决检测效率低的问题。本发明使线偏振光依次透过λ/2波片、4f扩束系统和高倍显微物镜后入射至针孔反射镜的针孔,针孔反射镜衍射出的光一部分经D形反射镜反射至第二准直透镜后形成参考光,剩余部分依次透过第一准直透镜、λ/4波片、分光棱镜和显微物镜入射至被测微球,其反射光经显微物镜、分光棱镜、成像透镜和掩膜板入射至成像CCD形成被测微球的二维信息图像,分光棱镜透射光原路返回至第二准直透镜准直后构成测量光,参考光和测量光叠加经过波片组调制、检偏器使参考光和测量光产生干涉后入射至大面阵高速相机构成被测微球的三维信息图像。

    一种匀光棒条形光源及基于该光源的光学元件损伤检测装置

    公开(公告)号:CN112129775A

    公开(公告)日:2020-12-25

    申请号:CN202011012482.4

    申请日:2020-09-23

    IPC分类号: G01N21/95 G01N21/88

    摘要: 一种匀光棒条形光源及基于该光源的光学元件损伤检测装置,属于光学元件损伤检测技术领域。解决了现有大口径光学元件检测存在检测光源均匀性差影响检测结果准确性的问题。本发明括玻璃棒和激光器,所述玻璃棒由一圆弧面和一平面组成,圆弧面的弧度大于180度,平面为等腰梯形,所述平面为粗糙散射面;圆形玻璃棒的一端设置有激光器,所述激光器的光束从圆形玻璃棒的一个端面沿轴向射入,另一端的端面上贴设有反光条或涂有反光层;所述激光器的光束经弧形面或另一端贴设的反光条或反光层反射后经粗糙散射面射出。采用相机成像即可实现对器件的损伤进行检测。采用相机成像即可实现对器件的损伤进行检测。适用于光学元件损伤检测使用。

    基于调焦清晰度评价函数的激光频率扫描干涉仪色散相位补偿方法

    公开(公告)号:CN105136021B

    公开(公告)日:2017-10-03

    申请号:CN201510443485.6

    申请日:2015-07-24

    IPC分类号: G01B9/02

    摘要: 基于调焦清晰度评价函数的激光频率扫描干涉仪色散相位补偿方法,本发明涉及高分辨率激光频率扫描干涉仪色散补偿方法。本发明是要解决现有方法测量分辨率低并且对测量信号的影响需要进行补偿的问题。建立高分辨率激光频率扫描干涉仪光纤色散条件下的测量信号拍频模型;采用相位法对测量信号拍频模型的光纤色散进行补偿:(1)将测量信号乘以复相位补偿项,通过调节色散补偿系数补偿测量信号中的色散相位畸变;(2)提出调焦清晰度评价函数作为判断测量信号拍频模型的相位畸变是否得到补偿的标准;(3)采用三分法寻找最佳色散补偿系数对高分辨率激光频率扫描干涉仪光纤色散进行补偿。本发明应用于高分辨率激光频率扫描干涉仪领域。

    基于连接向量特征匹配的暗场图像配准方法

    公开(公告)号:CN106373122A

    公开(公告)日:2017-02-01

    申请号:CN201610835435.7

    申请日:2016-09-20

    摘要: 基于连接向量特征匹配的暗场图像配准方法,属于光学元件检测技术领域。解决了现有暗场图像配准方法存在对同一个光学元件在多次在线检测中得到多幅暗场图像之间的配准,配准不适用且准确性差的问题。本发明首先对基准图像及待配准图像分别进行图像预处理,尽可能消除干扰,接着求取损伤点的轮廓,并求其外接圆圆心坐标,作为损伤点的位置值。然后构建损伤点连接向量并计算连接向量特征,之后使用借鉴BBF算法实现特征精确匹配,最后利用匹配后的特征点对进行仿射变换参数计算,完成配准。本发明适用于光学元件检测的图像匹配。