一种掩膜版及其制备方法
    87.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108563098A

    公开(公告)日:2018-09-21

    申请号:CN201810043444.1

    申请日:2018-01-17

    IPC分类号: G03F1/62

    摘要: 本发明公开了一种掩膜版及其制备方法,该掩膜版包括:基板,以及位于所述基板上的至少一个第一曝光结构和至少一个第二曝光结构;其中,所述第一曝光结构包括第一遮光膜层和滤光膜层,所述滤光膜层至少紧邻所述第一遮光膜层的相对两侧;所述第二曝光结构仅包括第二遮光膜层。通过在至少紧邻第一遮光膜层的相对两侧设置滤光膜层,可以使第一遮光膜层的相对两侧的曝光量减少,避免通过第一曝光结构形成的图形出现过曝光现象,从而使对曝光量要求不同的待形成图形可以通过设置有第一曝光结构和第二曝光结构的一道掩膜版来形成,以简化制备工艺。

    一种阵列基板及制作方法、显示面板

    公开(公告)号:CN108010924A

    公开(公告)日:2018-05-08

    申请号:CN201711277247.8

    申请日:2017-12-06

    IPC分类号: H01L27/12 H01L21/77

    摘要: 本发明提供了一种阵列基板及制作方法、显示面板,用以在避免铜离子污染TFT的导电沟道时,避免源漏极与像素电极的搭接处Cu金属表面氧化,该方法包括:在衬底基板上依次形成栅极、栅极绝缘层、有源层膜层、欧姆接触层膜层和铜金属膜层;在铜金属膜层上涂光刻胶,并对该光刻胶进行曝光、显影;根据显影后的光刻胶,对铜金属膜层、欧姆接触层膜层和有源层膜层进行刻蚀,在对铜金属膜层进行第二道湿法刻蚀,形成源漏极后,对所述源漏极上的光刻胶进行湿法剥离,并在所述剥离光刻胶的源漏极上形成与所述源漏极部分接触的像素电极;以所述源漏极为掩膜版,对所述欧姆接触层膜层和有源层膜层进行第二道干法刻蚀,以形成欧姆接触层和有源层。