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公开(公告)号：CN104708192A
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201310683559.4
申请日：2013-12-12
申请人： 有研亿金新材料有限公司
CPC分类号： B23K20/021 , B23K20/023 , B22F7/04 , B23K20/233 , B23K20/24 , C23C14/3414
摘要： 本发明公开了属于微电子技术领域的一种镀膜用的W-Ti合金靶材组件扩散焊接方法。本发明的方法为将将W-Ti合金靶材粉末原料及对应的待焊接复合的板坯材料置于热压模具内置于热压烧结炉内，一次进行靶坯热压烧结成型、靶坯与板坯扩散焊接，得到焊接复合的W-Ti合金靶材组件；将板坯作为背板或作为过渡层，得到W-Ti合金靶材组件或W-Ti合金靶材/过渡层/背板复合的三层结构。本发明的方法同步实现靶坯热压烧结成型和靶坯与板坯热压扩散焊接，焊接抗拉强50MPa以上，焊合率99%以上。
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公开(公告)号：CN104227219A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201410342246.7
申请日：2014-07-17
申请人： 有研亿金新材料有限公司
CPC分类号： B23K20/021 , B23K20/023 , B23K20/2333 , B23K33/00
摘要： 本发明属于金属焊接技术领域，特别涉及一种扩散焊接方法。本发明方法具体步骤为：提供铝及铜；在铜焊接面上加工形成凹槽；在焊接面上形成扩散阻挡层；采用热等静压方法将铝与铜进行焊接。本方法利用扩散阻挡层实现了铝与铜的大面积扩散焊接，获得了高强度焊接组件。本发明方法在铝与铜的焊接面上形成扩散阻挡层能够有效阻止铝铜金属间化合物的生成，获得较高的焊接强度；采用热等静压方法能够实现铝铜的大面积焊接，获得稳定一致的焊接质量；当铝作为铜与其他金属焊接的过渡层时能够实现一步焊接，减少工艺步骤，缩短加工周期，降低生产成本。
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公开(公告)号：CN204325482U
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201420821774.6
申请日：2014-12-22
申请人： 有研亿金新材料有限公司
IPC分类号： C23C14/34
摘要： 本实用新型公开了一种溅射靶材与背板的连接组件。靶材连接面上有凸台，背板连接面上有嵌槽，与靶材连接面上的凸台相对应；靶材的凸台上加工有环状凸缘，背板的嵌槽内加工有凹槽，同时凹槽间隙上加工有齿；连接形成的组件中靶材的凸台与背板的嵌槽配合，凹槽间隙上的齿直接压合嵌入靶材中；靶材与背板边缘采用真空封焊连接。该组件连接界面的结构设计，有效提高了靶材组件的结合强度；该组件可采用热等静压、冷等静压、热压等方法，在较低的温度下实现可靠连接，手段多样化，操作简单，成本较低，并且可避免高温扩散焊接下靶材晶粒的异常长大。
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公开(公告)号：CN217453540U
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202122678822.3
申请日：2021-11-04
申请人： 有研亿金新材料有限公司
IPC分类号： B24C9/00
摘要： 本实用新型属于金属材料加工和微电子材料制造领域，特别涉及一种靶材喷砂装置，包括：上盖、中间压圈、底座环、底座中心升降装置和法兰喷砂靶材。该喷砂装置的使用步骤为：放置底座环；底座中心升降装置升起，并在其上放置靶材；底座中心升降装置落下，连同靶材平稳置于底座环内径中；依据中间压圈和底座环的尺寸配合和安装孔连接关系，安装中间压圈；通过把手在靶面处放置上盖。该实用新型有效的解决了正面没有吊装孔靶材的喷砂难题。
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公开(公告)号：CN204209247U
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201420587783.3
申请日：2014-10-11
申请人： 有研亿金新材料有限公司
IPC分类号： B23K3/047
摘要： 本实用新型提供一种精确控温加热平台，包括架体、台面、隔热层、加热管、第一控温仪及第二控温仪；架体上从下到上依次架设有隔热层和台面，隔热层上交替、平行、等距的铺设有若干加热管，且每根加热管与台面之间相距一安全距离；在隔热层上的每个加热区域的中间位置设置第一控温仪的热电偶；台面上与第一控温仪的热电偶相对应的位置设置第二控温仪的热电偶。第一控温仪及第二控温仪通过导线连接，第二控温仪的热电偶感测的台面温度经第二控温仪及导线传输给第一控温仪，第一控温仪根据台面温度对加热管的温度进行控制。本实用新型的台面尺寸可根据靶材组件尺寸进行配置，且无论配置的台面尺寸大小，均可精确控制台面温度，并保持台面温度的均匀性。
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公开(公告)号：CN204223506U
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201420655815.9
申请日：2014-11-05
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种大尺寸靶材的包装，包括粘贴在靶材工作面上的保护膜，以及设置在靶材外部的内层包装袋，设置在该内层包装袋外部的次外层包装袋，以及设置在该次外层包装袋外部的外层包装袋；粘贴有保护膜的靶材、内层包装袋、次外层包装袋和外层包装袋中相邻两者之间均为真空状态。本实用新型结构简单，可以有效保证大尺寸靶材在生产和运输过程中工作面不受损伤。
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公开(公告)号：CN204097558U
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201420452183.6
申请日：2014-08-12
申请人： 有研亿金新材料有限公司
IPC分类号： C23C14/35
摘要： 本实用新型公开了一种长寿命溅射靶材，包括溅射面和冷却面，所述溅射面的溅射区域在靶材原溅射区的基础上增厚2mm以内，增厚的部分小于靶材原溅射区域，且增厚部分的边缘与靶材原溅射区域之间呈台阶状或斜坡状。所述靶材原溅射区的厚度为5.8～6.2mm。本实用新型通过增加溅射区域厚度提高靶材使用寿命，未参与溅射的边缘保持原尺寸，这样可以避免影响靶材安装及整体的溅射性能。在靶材边缘为台阶结构或斜坡结构，其作用是防止在靶材溅射过程产生的反溅物质与机台阴极保护框接触而导致短路。本实用新型的有益效果是通过所述靶材的设计解决了溅射靶材使用寿命比较短、使用效率比较低与原材料浪费等问题，降低了生产成本。
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