公开(公告)号：CN106019852A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201610497314.6

申请日：2011-03-10

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/677 ,  B65G49/06

Abstract: 第1搬送单元(50a)，是藉由使从下方支承基板(Pa)的基板匣(90a)滑动于与基板表面平行的一轴方向(Y轴方向)而从基板保持具(22)上搬出。另一方面，第2搬送单元(50b)是与基板(Pa)的搬出动作并行地(在支承基板(Pa)的基板匣(90a)的一部分位于基板保持具(22)上的状态下)，藉由使从下方支承基板(Pb)的基板匣(90b)滑动于Y轴方向而搬入基板保持具(22)上。因此，能迅速地进行基板保持具上的基板的更换。

公开(公告)号：CN105842994A

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：CN201610289122.6

申请日：2011-09-05

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  B65G49/06

Abstract: 于基板载台(PST)，在Y粗动载台(23Y)移动于Y轴方向时，X粗动载台(23X)、重量消除装置(40)及X导件(102)与Y粗动载台(23Y)一体移动于Y轴方向，在X粗动载台(23X)于Y粗动载台(23Y)上移动于X轴方向时，重量消除装置(40)在X导件(102)上与X粗动载台(23X)一体移动于X轴方向。由于X导件(102)系涵盖重量消除装置(40)于X轴方向的移动范围延设于X轴方向，因此重量消除装置(40)不受其位置限制，恒被X导件(102)支承。

公开(公告)号：CN105388710A

公开(公告)日：2016-03-09

申请号：CN201510574172.4

申请日：2010-08-17

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫 ,  滨田智秀 ,  白数广 ,  户口学

IPC: G03F7/20 ,  B65G49/06 ,  H01L21/68

CPC classification number: G03F7/707 ,  B65G49/065 ,  G03F1/82 ,  G03F7/70791 ,  G03F7/70816 ,  H01L21/67784 ,  H01L21/68 ,  H01L21/6838

Abstract: 本发明是关于一种物体移动装置、物体处理装置、曝光装置、物体检查装置及元件制造方法。其中，基板(P)通过形成为框状的轻量基板保持框(60)所吸附保持，基板保持框(60)通过包含线性马达的驱动单元(70)沿水平面被驱动。在基板保持框(60)下方，配置有对基板(P)下面喷出空气而以非接触方式悬浮支承该基板(P)成大致水平的空气悬浮单元(50)。由于多个空气悬浮单元(50)涵盖基板保持框(60)的移动范围，因此驱动单元(70)能以高速且高精度将基板保持框(60)(基板(P))沿水平面导引。

公开(公告)号：CN104662481A

公开(公告)日：2015-05-27

申请号：CN201380049848.7

申请日：2013-08-05

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫 ,  原笃史

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/677

CPC classification number: G03F7/707

Abstract: 曝光方法包含如下步骤：使具有掩模图案的掩模(M)的上表面与掩模导流构件(40)的下表面相对；使掩模(M)以非接触方式悬垂支承在掩模导流构件(40)上；使掩模保持装置(60)保持悬垂支承在掩模导流构件(40)上的掩模(M)；使用掩模保持装置(60)，使掩模(M)在扫描方向上相对于曝光用照明光移动，并且，相对于曝光用照明光而在扫描方向上驱动作为曝光对象物体的基板，将掩模图案转印到基板上。

公开(公告)号：CN104662478A

公开(公告)日：2015-05-27

申请号：CN201380049087.5

申请日：2013-08-07

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  B65G49/06 ,  H01L21/027 ,  H01L21/677

CPC classification number: G03F7/70733 ,  B65G49/065 ,  B65G2249/04 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/6838

Abstract: 将载置于基板载台装置(20)上的基板(P1)交换成其他基板(P2)，其包含：使保持有基板(P1)的基板载台装置(20)位于既定的物体交换位置的动作；使基板(P1)悬垂支撑于设在物体交换位置的悬垂支撑装置(50)的动作；使悬垂支撑于悬垂支撑装置(50)的基板(P1)从基板载台装置(20)离开的动作；将基板(P2)插入悬垂支撑于悬垂支撑装置(50)的基板(P1)与基板载台装置(20)之间而将该基板(P2)移交至基板载台装置(20)的动作；以及通过使基板(P1)相对悬垂支撑装置(50)移动以将基板(P1)从物体交换位置搬出的动作。

公开(公告)号：CN102518954B

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201110306079.7

申请日：2007-08-30

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 白数广 ,  青木保夫 ,  小山元夫 ,  菊池孝幸

IPC: G03F7/20

CPC classification number: F21V19/006 ,  G03F7/70016 ,  H01J5/56 ,  H01J61/523 ,  H01J61/822

Abstract: 本发明提供一种能够容易且短时间内进行放电灯相对于安装机构的安装等的光源装置。本发明的光源装置，具备：具有形成发光部的玻璃管(25)和与其连结的灯头部(26)的放电灯(1)；经由灯头部(26)保持放电灯(1)的安装装置(31)，其中，灯头部(26)具有与安装装置(31)的定位板(50)抵接的凸缘部(26a)；被施加将凸缘部(26a)向定位板(50)推压的推压力的固定部(26h)，安装装置(31)具有利用压缩螺旋弹簧(44A)推靠固定部(26h)的固定用臂(55A)。

公开(公告)号：CN104221128A

公开(公告)日：2014-12-17

申请号：CN201380018913.X

申请日：2013-04-03

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  H01L21/68

CPC classification number: G03F7/70716

Abstract: 本发明的基板载台装置(20A)，具备延伸于扫描方向(X轴方向)、能移动于扫描交叉方向(Y轴方向)的位置的第1步进导件(50)，被第1步进导件(50)从下方支承、能沿第1步进导件(50)上面移动于沿扫描方向的位置且与第1步进导件(50)一起移动于沿扫描交叉方向的位置的微动载台(30)，以及以第2步进导件(54)的上面为基准面并使用设于微动载台(30)的Z感测器(38z)求出微动载台(30)的Z倾斜位置信息的位置测量系。

公开(公告)号：CN103534787A

公开(公告)日：2014-01-22

申请号：CN201280023704.X

申请日：2012-05-11

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/68742 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/67784

Abstract: 本发明的基板载台(20a)，从基板保持具(30a)喷出加压气体以使基板(P1)悬浮，基板搬出装置(93)以基板保持具(30a)的上面(基板装载面)为导引面使基板(P1)沿水平面移动藉此从基板保持具(30a)搬出。接着，预定曝光的另一基板(P2)在进行基板(P1)的搬出动作时，在基板保持具(30a)的上方待机，于基板(P1)的搬出动作完成后被交至基板载台(20a)所具有的数个基板顶起装置(46a)。

公开(公告)号：CN103119706A

公开(公告)日：2013-05-22

申请号：CN201180016854.3

申请日：2011-03-10

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: H01L21/677 ,  G03F7/20 ,  B65G49/06

CPC classification number: G03F7/7075 ,  B65G49/064 ,  G03F7/70791 ,  H01L21/67748

Abstract: 第1搬送单元(50a)，是藉由使从下方支承基板(Pa)的基板匣(90a)滑动于与基板表面平行的一轴方向(Y轴方向)而从基板保持具(22)上搬出。另一方面，第2搬送单元(50b)是与基板(Pa)的搬出动作并行地(在支承基板(Pa)的基板匣(90a)的一部分位于基板保持具(22)上的状态下)，藉由使从下方支承基板(Pb)的基板匣(90b)滑动于Y轴方向而搬入基板保持具(22)上。因此，能迅速地进行基板保持具上的基板的更换。

公开(公告)号：CN102483579A

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：CN201080036924.7

申请日：2010-08-17

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫 ,  滨田智秀 ,  白数广 ,  户口学

IPC: G03F7/20 ,  B65G49/06 ,  H01L21/68

CPC classification number: G03F7/707 ,  B65G49/065 ,  G03F1/82 ,  G03F7/70791 ,  G03F7/70816 ,  H01L21/67784 ,  H01L21/68 ,  H01L21/6838

Abstract: 基板(P)通过形成为框状的轻量基板保持框(60)所吸附保持，基板保持框(60)通过包含线性马达的驱动单元(70)沿水平面被驱动。在基板保持框(60)下方，配置有对基板(P)下面喷出空气而以非接触方式悬浮支承该基板(P)成大致水平的空气悬浮单元(50)。由于多个空气悬浮单元(50)涵盖基板保持框(60)的移动范围，因此驱动单元(70)能以高速且高精度将基板保持框(60)(基板(P))沿水平面导引。