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公开(公告)号：CN109917504A
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201910249645.1
申请日：2019-03-29
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明公开了一种光致变多色的零级衍射光栅及其制造方法，属于光致变多色衍射光栅领域。该制造方法包括：按照给定的能够实现光致变多色的设计目标，先获得多组满足设计目标的光栅的光学结构和配置参数Q的解；对这些解分别进行蒙特卡洛模拟，在同样误差条件下，选择包络线内整体光谱曲线最多的一组解作为Q的最优解，并对最优解中的各个参数进行灵敏度分析和灵敏度排序；然后按照最优解的制造参数制备全息防伪包装的零级衍射光栅，并在制备过程中按照确定的灵敏度顺序，优先保证灵敏度高的制造参数的精度。本发明能够在实际生产中提高成品率，降低制造成本。
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公开(公告)号：CN109000798A
公开(公告)日：2018-12-14
申请号：CN201810504060.5
申请日：2018-05-23
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G01J4/00
摘要： 本发明属于光学检测装置领域，并具体公开了一种偏振调制结构及偏振测量系统，其包括旋转补偿器和偏振器，所述旋转补偿器为连续旋转的复合波片，该复合波片由多个同种材料的单波片组合而成，该复合波片的整体结构由各单波片的厚度和光轴夹角依据偏振特性传递矩阵优化设计确定。本发明的偏振调制结构具有结构简单，容易加工，波长适用范围广的优点，并且基于该偏振调制结构可设计出宽波段偏振测量系统，适应于宽波段精密偏振测量的需求。
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公开(公告)号：CN108841716A
公开(公告)日：2018-11-20
申请号：CN201810543475.3
申请日：2018-05-31
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明属于培养皿温度控制领域，并公开了一种实现培养皿梯度温控的装置。该装置包括加热模块、散热模块、测量模块和控制模块，加热模块实现对培养皿各个小井内溶液精准独立的加热，通过调节该模块中导热针的长度和排列方式，实现待加热培养皿中不同深度和不同区域的加热，以此在待加热培养皿中形成梯度温度场；散热模块用于降低加热模块的温度；测量模块用于实时监控待加热培养皿中的温度；控制模块用于调节和控制各个模块，使得待加热的培养皿中的温度达到预设温度阈值。相较于传统的加热装置，本发明的装置实现对培养皿溶液的更加直接有效的加热以及更加精确的温度控制。
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公开(公告)号：CN108801930A
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201810536399.3
申请日：2018-05-30
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明公开了一种高时间分辨率的穆勒矩阵椭偏测量装置及测量方法。入射光路采用4个偏振调制通道将一束脉冲激光分束且调制成4束偏振态相互独立的偏振光束，利用不同光程差使得各脉冲之间产生数纳秒的时间间隔，并将此4束脉冲激光依次辐照在样品表面。反射光路采用六通道偏振检测模块同步测量样品表面的反射光束的斯托克斯向量。利用此4束脉冲的已知入射与反射斯托克斯向量，可通过解线性方程组来求取样品的穆勒矩阵。本发明的装置及方法能够将穆勒矩阵的分辨率提高至脉冲光源的一个重复周期内，根据设定的脉冲光源的脉冲周期，穆勒矩阵的时间分辨率可以提高至数十纳秒级，能够广泛应用于光全息聚合物、有序材料等复杂纳米结构的原位动态测量。
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公开(公告)号：CN108061709A
公开(公告)日：2018-05-22
申请号：CN201711323981.3
申请日：2017-12-13
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G01N21/21
摘要： 本发明属于材料冲击动力学参数测量领域，并公开了一种透明材料冲击动力学参数获取方法。该方法包括：(a)建立了平稳冲击波加载下透明薄膜样品的双层薄膜分层模型(b)利用第一性原理，证明了P偏振光以布儒斯特角入射样品时，反射光相位对时间导数的波形呈周期性震荡特性，推导出了震荡特性与冲击动力学参数之间的表达式；(c)采用泵浦探测测试系统测量待测样品的实际震荡周期、实际幅值、和实际震荡偏离值；(d)将获得的测量实际值带入获得的表达式中进而获得实际冲击动力学参数。通过本发明，实现了双层薄膜模型中，使用公式直接提取透明材料冲击动力学参数，该方法使用的测量光路简单，易于实施，数据易于处理。
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公开(公告)号：CN105158165B
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201510361849.6
申请日：2015-06-26
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G01N21/21
摘要： 本发明公开了一种超快椭偏仪装置及测量方法，其包括用于产生皮秒量级啁啾脉冲的啁啾脉冲发生单元、泵浦光路单元、探测光路单元和反射光路单元，啁啾脉冲经非偏振分光镜后分为泵浦光和探测光，泵浦光经泵浦光路单元对样品进行泵浦冲击；探测光经探测光路单元斜入射至样品表面；探测光经样品表面反射后的反射光分为P光和S光，使P光和S光进行干涉，产生频域干涉图，根据频域干涉图计算获得包括幅值比和相位差的偏振光偏振状态的改变，然后通过偏振光幅值比和相位差的理论表达式与测量结果进行拟合，获取冲击动力学和光学参数。本发明通过单发脉冲同时测量材料的冲击动力学特性和光学特性，可准确描述冲击波作用下的材料响应特性。
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公开(公告)号：CN118348748A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202410540973.8
申请日：2024-04-30
申请人： 华中科技大学
摘要： 本申请属于光刻分析领域，具体公开了一种套刻标记的衍射场仿真、误差测量灵敏度分析方法及设备，衍射场仿真方法包括：结合套刻标记的参数和测量参数数确定入射光经过套刻标记后的出射点位置，所述出射光包括零级衍射光和高级次衍射光中的至少一级衍射光；根据各出射点的位置，结合测量参数获取各出射点的琼斯矩阵；结合各出射点的琼斯矩阵确定各出射点处的出射光电场矢量；根据所述出射光电场矢量获取各出射点的光强。通过本申请，通过套刻标记物镜后焦面衍射光频域图像的不同区域以及测量条件、套刻标记形貌参数等配置参数对套刻信息的灵敏度进行分析，能获得对套刻误差感知灵敏度更高的探测区域，能对测量条件配置组合进行优化。
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公开(公告)号：CN117437488A
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN202311592745.7
申请日：2023-11-27
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G06V10/764 , G06V10/82 , G06N3/0464 , G06N3/045 , G06N3/084 , G06T7/00
摘要： 本发明属于缺陷分类检测领域，并具体公开了一种基于双通道卷积神经网络的晶圆缺陷分类方法及系统，其包括：分别获取各种晶圆缺陷类型对应的多组图像对，构建缺陷类型‑图像对数据集；其中，一组图像对包括缺陷晶圆的远场空间像二阶差分图像及其一阶横向梯度图像；通过缺陷类型‑图像对数据集对双通道卷积神经网络进行训练，训练好的双通道卷积神经网络即为缺陷分类模型；获取待分类缺陷晶圆的图像对，并将其输入缺陷分类模型，得到晶圆缺陷类型。本发明可实现快速、准确地晶圆缺陷分类检测。
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公开(公告)号：CN114264632B
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202111535604.2
申请日：2021-12-15
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明属于系统参数校准相关技术领域，其公开了一种角分辨式散射仪中物镜偏振效应的原位校准方法，包括以下步骤：(1)通过角分辨式散射测量系统对标准薄膜进行测量以得到物镜后焦面实测图像；同时，建立、包含物镜偏振效应的系统仿真模型，并以该标准薄膜为样品，通过系统仿真模型生成物镜后焦面仿真图像；(2)基于样品的椭偏参数系统方程、物镜后焦面实测图像及物镜后焦面仿真图像计算得到实测及理论多入射角椭偏参数；(3)基于物镜偏振效应传递矩阵来确定物镜椭偏参数求解方程，进而求解得到物镜多入射角椭偏参数，以完成角分辨式散射测量系统中物镜偏振效应的原位校准。本发明够有效降低因仪器中物镜偏振效应误差引起的测量误差。
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公开(公告)号：CN113281268B
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202110602165.6
申请日：2021-05-31
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明提供了一种旋转偏振器件光谱椭偏仪的数据分析方法及系统，属于精密光学测量仪器领域，方法包括：将各理论参数以及待测样件的预估膜厚输入至旋转偏振器件光谱椭偏仪的系统模型中，获取包含理论傅里叶系数的系统方程；采用旋转偏振器件光谱椭偏仪测量待测样件，获取包含测量傅里叶系数的系统方程；采用Hadamard分析方法，获取全光谱范围内的测量傅里叶系数和理论傅里叶系数；采用非线性迭代拟合方法对全光谱范围内的测量傅里叶系数和理论傅里叶系数进行拟合，获取待测样件的光学信息。本发明可一次测量得到全光谱范围内的待测样件光学信息，同时避免了由傅里叶系数转为椭偏参数拟合时造成的信息缺失和数据突变的问题。
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