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公开(公告)号:CN1244719C
公开(公告)日:2006-03-08
申请号:CN01821356.1
申请日:2001-12-04
申请人: 高级技术材料公司
发明人: 威廉·A·沃伊特恰克 , 法蒂玛·玛·塞约 , 戴维·伯恩哈德 , 朗·柬
CPC分类号: H01L21/02071 , C11D3/2072 , C11D7/02 , C11D7/261 , C11D7/264 , C11D7/265 , C11D7/266 , C11D7/32 , C11D7/3209 , C11D7/3218 , C11D7/3245 , C11D7/3263 , C11D7/3272 , C11D7/3281 , C11D7/34 , C11D7/5009 , C11D7/5013 , C11D11/0047 , C23G5/02 , G03F7/425 , H01L21/02052 , H01L21/02063 , H01L21/31133 , H01L21/31138
摘要: 半导体晶片清洗剂,包括2-98重量%有机胺,0-50重量%水,0.1-60重量%1,3-二羰基化合物螯合剂,0-25重量%另外的不同螯合剂,0.5-40重量%含氮羧酸或亚胺,以及2-98重量%极性有机溶剂。该清洗剂用于从晶片上除去抗蚀剂等离子体灰化步骤后残留的残余物,例如从具有精密铜互连结构的半导体晶片上除去无机残余物。
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公开(公告)号:CN1711349A
公开(公告)日:2005-12-21
申请号:CN200380102813.1
申请日:2003-10-10
申请人: 巴斯福股份公司
IPC分类号: C11D7/06 , C11D7/32 , C11D3/39 , H01L21/306
CPC分类号: H01L21/02052 , C11D3/3947 , C11D7/06 , C11D7/32 , C11D7/3245 , C11D11/0047
摘要: 本发明涉及表面处理组合物和用其处理底物表面的方法。更具体地,本发明涉及主要组分为液体介质的表面处理组合物,其防止底物表面被表面处理组合物中的金属杂质污染并且稳定地提供极其洁净的底物表面,还涉及使用该组合物处理底物表面的方法。该组合物包括水、过氧化氢、碱性化合物和2,2-双(羟乙基)-(亚氨基三)-(羟甲基)甲烷和/或氨三乙酸。
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公开(公告)号:CN1224864C
公开(公告)日:2005-10-26
申请号:CN02141841.1
申请日:2002-08-23
申请人: 东京应化工业株式会社
IPC分类号: G03F7/42
CPC分类号: H01L21/02068 , C11D1/62 , C11D7/32 , C11D11/0047 , G03F7/425 , G03F7/426
摘要: 本发明提供这样一种光刻胶用剥离液,其中含有(a)氢氧化四丁基铵、氢氧化四丙基铵、氢氧化甲基三丁基铵、氢氧化甲基三丙基铵等季铵氢氧化物、(b)水溶性胺、(c)水、(d)防腐蚀剂、以及(e)水溶性有机溶剂,(a)成分与(b)成分的配合比例为(a)成分∶(b)成分=1∶3~1∶10(质量比)。另外还提供使用该剥离液的光刻胶剥离方法。本发明的剥离液对于Al和Cu等金属布线的防腐蚀性、以及对于光刻胶膜和灰化残渣物、金属淀积物的剥离性优良。另外,对于Si类残渣物的剥离性和对于基板(特别是Si基板内面)的防腐蚀性也优良。
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公开(公告)号:CN1670147A
公开(公告)日:2005-09-21
申请号:CN200510067629.9
申请日:2005-03-18
申请人: 气体产品与化学公司
IPC分类号: C11D3/20 , C11D3/33 , H01L21/304
CPC分类号: H01L21/02074 , C11D3/2086 , C11D3/26 , C11D3/33 , C11D7/265 , C11D7/32 , C11D7/3245 , C11D11/0047
摘要: 本文公开了一种后CMP清洗组合物和其使用方法。一方面,提供的组合物包括:水、有机碱和多种包含聚氨基多羧酸和羟基羧酸的螯合剂,其中组合物pH值从9.5到11.5变化。
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公开(公告)号:CN1498354A
公开(公告)日:2004-05-19
申请号:CN03800095.4
申请日:2003-01-31
申请人: 欧得士株式会社
CPC分类号: A61L12/142 , A61L12/14 , A61L12/143 , C11D3/0078 , C11D3/3719 , C11D3/48 , C11D7/16 , C11D7/32 , C11D7/3245 , C11D7/3272
摘要: 本发明提供一种接触透镜用液剂,其含有聚赖氨酸、作为抑制聚赖氨酸吸附在接触透镜上的物质的多磷酸和/或其盐、除聚赖氨酸以外的含氮有机抗菌剂和水。根据本发明,可不用擦洗接触透镜,进一步在配戴接触透镜之前不用洗涤,仅通过将接触透镜浸渍在该液剂中既可洗涤、消毒和保存接触透镜。
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公开(公告)号:CN1127121C
公开(公告)日:2003-11-05
申请号:CN98801111.5
申请日:1998-08-04
IPC分类号: H01L21/302 , C11D3/06 , C11D7/16 , C23C22/07
CPC分类号: H01L21/31116 , C11D3/3784 , C11D7/16 , C11D7/32 , C11D7/3272 , C11D11/0023 , C11D11/0047 , G02F2001/133302 , H01L21/02063
摘要: 本发明的清洁剂包含作为活性成分的由正磷酸和脲反应产生的多磷酸-脲缩合物或磷酸-脲聚合物。这种清洁剂用于半导体器件生产过程或液晶器件生产过程中至少一步中的金属表面和/或玻璃表面的清洁。根据本发明,可以在高的环境和工作安全性条件下,有效地清洁金属(包括半金属)和玻璃表面的蚀刻残余物及杂质,而且不会引起金属腐蚀的问题。
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公开(公告)号:CN1184501A
公开(公告)日:1998-06-10
申请号:CN96193931.1
申请日:1996-05-15
申请人: 美国3M公司
CPC分类号: C11D7/261 , C09D7/20 , C09K5/04 , C09K5/045 , C09K2205/102 , C09K2205/108 , C09K2205/11 , C09K2205/112 , C09K2205/114 , C09K2205/122 , C09K2205/132 , C09K2205/32 , C11D7/24 , C11D7/263 , C11D7/264 , C11D7/266 , C11D7/267 , C11D7/28 , C11D7/32 , C11D7/5063 , C11D7/5072 , C11D7/5077 , C11D7/5095 , C23G5/032
摘要: 一种共沸物状组合物,主要包括RfOC2H5和有机溶剂。其中Rf是4个碳原子的支链或直链全氟烷基,有机溶剂选自含6—8个碳原子的直链、支链和环烷烃;含4个碳原子酯;含4个碳原子的酮;含6个碳原子的二硅氧烷;含4—6个碳原子的有环和无环醚;含3至4个碳原子的氯化烷烃以及含2个碳原子的氯化烯烃。该组合物可用于清洗,作为溶剂或载体用于涂层以及用作传热材料。
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公开(公告)号:CN1070903A
公开(公告)日:1993-04-14
申请号:CN92110069.8
申请日:1992-08-28
申请人: 纳幕尔杜邦公司
CPC分类号: C23G5/02803 , C07C17/087 , C07C17/25 , C07C17/278 , C07C17/354 , C07C17/358 , C07C19/08 , C07C21/18 , C07C23/08 , C11D7/28 , C11D7/32 , C11D7/5013 , C11D7/5018 , C11D7/5081
摘要: 公开了一种催化方法,用来在高温下从化学式为RCHFCHFR的化合物制备化学式RCH2CF2R和RFC=CHR的氟代烃产物。合适的催化剂包括碳催化剂和以碳为载体的含有某选定金属(如,Na,K,Rb,Cs,Y,La,Ce,Pr,Nd,Sm,Cr,Fe,Co,Rh,Ni,Cu和/或Zn)的至少一种化合物的催化剂。饱和的偕二氢产物也可以通过在高温下将相应的烯烃产物在这些催化剂上氢氟化来制得,它们可以与其它各种可混溶的溶剂组合,形成可用于清洗的组合物。
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公开(公告)号:CN109694780A
公开(公告)日:2019-04-30
申请号:CN201811619168.5
申请日:2018-12-28
申请人: 诺而曼环保科技(江苏)有限公司
IPC分类号: C11D1/72 , C11D3/60 , C11D3/18 , C11D3/20 , C11D3/382 , C11D3/24 , C11D7/60 , C11D7/44 , C11D7/26 , C11D7/24 , C11D7/30 , C11D7/32
CPC分类号: C11D1/72 , C11D3/181 , C11D3/185 , C11D3/2003 , C11D3/2013 , C11D3/2068 , C11D3/245 , C11D3/382 , C11D7/241 , C11D7/245 , C11D7/261 , C11D7/263 , C11D7/30 , C11D7/32 , C11D7/44
摘要: 本发明提供一种环保锂电池外壳碳氢清洗剂,其特征在于,包含以下重量分数的组分:正构烷烃溶剂油:50-90%、复合添加剂:0-10%、食品级醇醚溶剂:10-20%、食品级单环单萜溶剂:0-10%、卤代烃:0-1%、分散剂:0-10%。本发明的一种环保锂电池外壳碳氢清洗剂,清洗力强、气味小,能够有效清洗锂电池壳表面的金属粉屑、防止因为分子间作用力而再次吸附,造成清洗过程中的再次污染;另外,本发明的清洗剂还可以回收,重复利用,降低了成本。
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公开(公告)号:CN109042725A
公开(公告)日:2018-12-21
申请号:CN201810981085.4
申请日:2018-08-27
申请人: 欧普康视科技股份有限公司
IPC分类号: A01N59/00 , A01N59/06 , A01N43/64 , A01P1/00 , A01P3/00 , C11D3/48 , C11D7/60 , C11D7/04 , C11D7/10 , C11D7/14 , C11D7/26 , C11D7/32
CPC分类号: A01N59/00 , A01N43/64 , A01N59/06 , C11D3/0078 , C11D3/48 , C11D7/04 , C11D7/10 , C11D7/14 , C11D7/261 , C11D7/268 , C11D7/32
摘要: 本发明提供一种用于清洁硬性接触镜的护理液及其制备方法,所述护理液包括按重量百分比的以下组分:含有效氯的化合物0.05‑0.5%,水溶性硅酸盐0.5‑5%,渗透压调整剂0.9‑1%,增黏剂0.5‑2%,纯水加至100%;其中所述护理液的pH为12‑14,渗透压为220~350 mosm/kg∙H2O。本发明提供选用含有效氯的化合物和水溶性硅酸盐两种活性成分,能20 min快速杀灭一切细菌繁殖体、病毒、真菌及其孢子等,对细菌芽孢也有一定杀灭作用;其形成的碱性环境能在20 min‑60min内对生物膜、蛋白质沉淀物、脂质沉淀物、无机盐、病原微生物等沉淀物达到清洁效果。
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