光刻胶用剥离液和使用该剥离液的光刻胶剥离方法

    公开(公告)号:CN1224864C

    公开(公告)日:2005-10-26

    申请号:CN02141841.1

    申请日:2002-08-23

    IPC分类号: G03F7/42

    摘要: 本发明提供这样一种光刻胶用剥离液,其中含有(a)氢氧化四丁基铵、氢氧化四丙基铵、氢氧化甲基三丁基铵、氢氧化甲基三丙基铵等季铵氢氧化物、(b)水溶性胺、(c)水、(d)防腐蚀剂、以及(e)水溶性有机溶剂,(a)成分与(b)成分的配合比例为(a)成分∶(b)成分=1∶3~1∶10(质量比)。另外还提供使用该剥离液的光刻胶剥离方法。本发明的剥离液对于Al和Cu等金属布线的防腐蚀性、以及对于光刻胶膜和灰化残渣物、金属淀积物的剥离性优良。另外,对于Si类残渣物的剥离性和对于基板(特别是Si基板内面)的防腐蚀性也优良。