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公开(公告)号：CN114171361B
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202010954075.9
申请日：2020-09-11
申请人： 聚束科技(北京)有限公司
摘要： 本发明公开了一种电子显微镜，包括：电子源，用于产生电子束；物镜，用于聚焦所述电子束；调节极靴，可移动的设置在所述物镜与待测样品之间；第一驱动机构，所述第一驱动机构驱动所述调节极靴在第一位置和第二位置移动，所述第一位置为所述物镜的极靴方向朝向所述待测样品，所述第二位置为所述物镜的极靴方向朝向所述电子束的光轴。本发明提供的一种电子显微镜，实现电子显微镜在浸没式电子显微镜和非浸没式电子显微镜的切换，可以观察非磁性待测样品，也可以观察磁性待测样品，并且均能够获得高质量的图像。
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公开(公告)号：CN108807118B
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN201810589383.9
申请日：2018-06-08
申请人： 聚束科技(北京)有限公司
IPC分类号： H01J37/05 , H01J37/145 , H01J37/147 , H01J37/28
摘要： 本发明公开了一种扫描电子显微镜系统，包括：电磁交叉场分析器、由电透镜和磁透镜构成的复合物镜、镜后偏转装置和样品台；其中，电磁交叉场分析器，位于磁透镜的上极靴与产生入射至所述扫描电子显微镜系统的初始电子束的电子源之间，用于使入射的具有第一能量的初始电子束沿光轴运动，具有第二能量的初始电子束偏转至所述初始电子束的光轴两侧；复合物镜，用于对经所述电磁交叉场分析器作用的初始电子束进行汇聚，形成汇聚电子束；镜后偏转装置，位于所述磁透镜的下极靴孔内，用于改变所述汇聚电子束的运动方向，以使所述汇聚电子束倾斜入射至所述样品台上的待测样品。本发明还公开了一种样品探测方法。
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公开(公告)号：CN116337908A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202310282701.8
申请日：2023-03-21
申请人： 聚束科技(北京)有限公司
IPC分类号： G01N23/2202 , G01N23/2251
摘要： 本申请公开了一种扫描电子显微镜的样品及其制备方法。其中，该制备方法包括：将初始样品固定于制样模板的指定区域；在制样模板上相应于初始样品的边缘间隔设置与初始样品等高的第一导电胶层；对带有初始样品及第一导电胶层的制样模板进行镀膜处理，得到供扫描电子显微镜观测的成品样品。本申请实施例制备的成品样品，通过在初始样品的边缘设置等高的第一导电胶层，使得样品的边缘与中心所受的电场力均匀，像散接近一致，利于在图像采集过程进行像散参数的调试，可以避免样品边缘的虚图情况，进而能够使得在减速模式下的扫描电子显微镜获取样品质量良好且图像质量较佳的完整数据。
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公开(公告)号：CN113764246A
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN202010494563.6
申请日：2020-06-03
申请人： 聚束科技(北京)有限公司
摘要： 本发明公开了一种显微镜，包括：电子光学镜筒，用于发射扫描电子束；样品台，用于放置样品；靶材，可移动的设置于所述电子光学镜筒和所述样品台之间；驱动机构，所述驱动机构驱动所述靶材在第一位置和第二位置移动，所述第一位置为所述电子束作用于所述样品上的位置，所述第二位置为所述电子束作用于所述靶材上产生X射线照射于所述样品上的位置。本发明样品通过一次安装，完成扫描电子显微镜对样品的探测和纳米X射线显微镜对样品的探测的双功能探测。
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公开(公告)号：CN112611775A
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN202011484757.4
申请日：2020-12-16
申请人： 聚束科技(北京)有限公司
IPC分类号： G01N23/2206 , G01N23/2276 , G01N23/2202 , G01N23/203 , G01N23/20 , G01N23/20008 , H01J37/065 , H01J37/26
摘要： 本发明公开了一种用于观察生物组织的方法及电子显微镜，该方法包括：对生物组织进行切片制样，以得到样品；采用第一电子源系统对所述样品进行辐照，以得到含有聚合物成分的待测样品；采用电子显微镜对所述待测样品进行观察。本发明可以使电子显微镜观察生物组织时成像分辨率高，成像速度快，成像清楚，观察准确性高。
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公开(公告)号：CN107516624A
公开(公告)日：2017-12-26
申请号：CN201710575510.5
申请日：2017-07-14
申请人： 聚束科技(北京)有限公司
IPC分类号： H01J37/20
CPC分类号： H01J37/20
摘要： 本文提供了一种样品位置校准方法和装置，所述方法包括：将放置有样品的样品承载装置载入光学显微镜视场中；样品承载装置上设有定位标记；采用光学显微镜对样品承载装置成第一放大倍数的像，识别图像中定位标记并获取定位标记在光学显微镜下的第一坐标；将样品承载装置载入扫描电子显微镜视场中，采用扫描电子显微镜对样品承载装置成第二放大倍数的像，识别图像中定位标记并获取定位标记在扫描电子显微镜下的第二坐标；依据第一坐标和第二坐标，确定光学显微镜对应的坐标系和扫描电子显微镜对应的坐标系之间的相对位置关系；基于相对位置关系对样品进行定位。本申请可解决样品在光学系统和扫描电子显微镜之间转换时出现的定位不准确的问题。
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公开(公告)号：CN105092289B
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：CN201510261212.X
申请日：2015-05-21
申请人： 聚束科技(北京)有限公司
发明人： 陈仲玮
IPC分类号： G01N1/06
CPC分类号： G01N1/06 , B26D7/1845 , G01N1/286 , G01N2001/061 , G01N2001/063 , G01N2001/066 , G01N2001/2873 , Y10T83/0448 , Y10T83/0453 , Y10T83/2066 , Y10T83/2096
摘要： 提供一种用于制备供显微镜检查的切片的切片系统和工艺。所述系统中的切割刃可以切穿样品块并制出切片，所述切片的一端保持附连到切割刃。电压生成器可以产生电压并将电压施加在所述切割刃和诸如半导体芯片格栅的切片接收器之间。通过由所述电压产生的静电力，所述切片的另一端可锚定到所述切片接收器。然后所述切片平铺在所述切片接收器上。所述切片系统可以为自动化的、高效的，且不需要液体来漂浮样品切片，从而可以保持样品切片的完整性。
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公开(公告)号：CN106783492A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611152870.6
申请日：2016-12-14
申请人： 聚束科技(北京)有限公司
IPC分类号： H01J37/141 , H01J37/24
摘要： 本发明公开了一种磁透镜，所述磁透镜包括：导磁壳体、激励线圈和电源控制系统；其中，所述导磁壳体，在所述激励线圈的外部包围所述激励线圈；所述激励线圈由绞合线缠绕而形成；所述电源控制系统，用于对所述激励线圈供电，控制所述激励线圈的电流方向及电流大小。本发明实施例还公开了一种控制所述磁透镜的方法。通过本发明实施例，能够在改变所述磁透镜聚焦特性的同时，保持所述磁透镜具有均匀恒定的热损耗功率。
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公开(公告)号：CN113675061B
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202010404520.4
申请日：2020-05-13
申请人： 聚束科技(北京)有限公司
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244
摘要： 本发明公开了一种扫描电子显微镜，包括：电子光学镜筒，用于产生电子束，并将电子束聚焦到样品上；第一探测器，用于接收电子束作用于所述样品上产生的光子；其中，所述第一探测器包括反射器和光子检测器，所述反射器将由所述样品上产生的光子反射到所述光子检测器上；所述反射器至少包括第一反射面和第二反射面，所述第一反射面和所述第二反射面用于反射所述样品上产生的不同角度散射的光子。本发明反射器实现了反射样品上产生的不同角度散射的光子到光子检测器上，光子检测器收集光子的范围大，效率高。
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公开(公告)号：CN114220725B
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202011393110.0
申请日：2020-12-02
申请人： 聚束科技(北京)有限公司
发明人： 李帅
IPC分类号： H01J37/26 , H01J37/28 , H01J37/244
摘要： 本发明公开了一种电子显微镜，包括：电子源，用于产生电子束；第一束导管，用于加速所述电子束；第二束导管，用于加速所述电子束；第一探测器，设置于所述第一束导管和所述第二束导管之间，用于接收所述电子束作用于待测样品上产生的二次电子；控制电极，设置于所述第一探测器与所述电子束的光轴之间，用于改变所述电子束作用于待测样品上产生的背散射电子和二次电子的运动方向。本发明提供的一种电子显微镜，能够探测到纯的电子束作用于待测样品上产生的二次电子。
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