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公开(公告)号：CN114171361B
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202010954075.9
申请日：2020-09-11
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
Abstract: 本发明公开了一种电子显微镜，包括：电子源，用于产生电子束；物镜，用于聚焦所述电子束；调节极靴，可移动的设置在所述物镜与待测样品之间；第一驱动机构，所述第一驱动机构驱动所述调节极靴在第一位置和第二位置移动，所述第一位置为所述物镜的极靴方向朝向所述待测样品，所述第二位置为所述物镜的极靴方向朝向所述电子束的光轴。本发明提供的一种电子显微镜，实现电子显微镜在浸没式电子显微镜和非浸没式电子显微镜的切换，可以观察非磁性待测样品，也可以观察磁性待测样品，并且均能够获得高质量的图像。
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公开(公告)号：CN108807118B
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN201810589383.9
申请日：2018-06-08
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
IPC: H01J37/05 , H01J37/145 , H01J37/147 , H01J37/28
Abstract: 本发明公开了一种扫描电子显微镜系统，包括：电磁交叉场分析器、由电透镜和磁透镜构成的复合物镜、镜后偏转装置和样品台；其中，电磁交叉场分析器，位于磁透镜的上极靴与产生入射至所述扫描电子显微镜系统的初始电子束的电子源之间，用于使入射的具有第一能量的初始电子束沿光轴运动，具有第二能量的初始电子束偏转至所述初始电子束的光轴两侧；复合物镜，用于对经所述电磁交叉场分析器作用的初始电子束进行汇聚，形成汇聚电子束；镜后偏转装置，位于所述磁透镜的下极靴孔内，用于改变所述汇聚电子束的运动方向，以使所述汇聚电子束倾斜入射至所述样品台上的待测样品。本发明还公开了一种样品探测方法。
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公开(公告)号：CN113764246A
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN202010494563.6
申请日：2020-06-03
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
Abstract: 本发明公开了一种显微镜，包括：电子光学镜筒，用于发射扫描电子束；样品台，用于放置样品；靶材，可移动的设置于所述电子光学镜筒和所述样品台之间；驱动机构，所述驱动机构驱动所述靶材在第一位置和第二位置移动，所述第一位置为所述电子束作用于所述样品上的位置，所述第二位置为所述电子束作用于所述靶材上产生X射线照射于所述样品上的位置。本发明样品通过一次安装，完成扫描电子显微镜对样品的探测和纳米X射线显微镜对样品的探测的双功能探测。
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公开(公告)号：CN112611775A
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN202011484757.4
申请日：2020-12-16
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
IPC: G01N23/2206 , G01N23/2276 , G01N23/2202 , G01N23/203 , G01N23/20 , G01N23/20008 , H01J37/065 , H01J37/26
Abstract: 本发明公开了一种用于观察生物组织的方法及电子显微镜，该方法包括：对生物组织进行切片制样，以得到样品；采用第一电子源系统对所述样品进行辐照，以得到含有聚合物成分的待测样品；采用电子显微镜对所述待测样品进行观察。本发明可以使电子显微镜观察生物组织时成像分辨率高，成像速度快，成像清楚，观察准确性高。
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公开(公告)号：CN107516624A
公开(公告)日：2017-12-26
申请号：CN201710575510.5
申请日：2017-07-14
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
IPC: H01J37/20
CPC classification number: H01J37/20
Abstract: 本文提供了一种样品位置校准方法和装置，所述方法包括：将放置有样品的样品承载装置载入光学显微镜视场中；样品承载装置上设有定位标记；采用光学显微镜对样品承载装置成第一放大倍数的像，识别图像中定位标记并获取定位标记在光学显微镜下的第一坐标；将样品承载装置载入扫描电子显微镜视场中，采用扫描电子显微镜对样品承载装置成第二放大倍数的像，识别图像中定位标记并获取定位标记在扫描电子显微镜下的第二坐标；依据第一坐标和第二坐标，确定光学显微镜对应的坐标系和扫描电子显微镜对应的坐标系之间的相对位置关系；基于相对位置关系对样品进行定位。本申请可解决样品在光学系统和扫描电子显微镜之间转换时出现的定位不准确的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106783492A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611152870.6
申请日：2016-12-14
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
IPC: H01J37/141 , H01J37/24
Abstract: 本发明公开了一种磁透镜，所述磁透镜包括：导磁壳体、激励线圈和电源控制系统；其中，所述导磁壳体，在所述激励线圈的外部包围所述激励线圈；所述激励线圈由绞合线缠绕而形成；所述电源控制系统，用于对所述激励线圈供电，控制所述激励线圈的电流方向及电流大小。本发明实施例还公开了一种控制所述磁透镜的方法。通过本发明实施例，能够在改变所述磁透镜聚焦特性的同时，保持所述磁透镜具有均匀恒定的热损耗功率。
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公开(公告)号：CN113964006B
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202010703040.8
申请日：2020-07-21
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
IPC: H01J37/141 , H01J37/21 , H01J37/28
Abstract: 本发明公开了一种粒子束装置束斑追踪方法及系统，该方法包括：样品台放置设有凹槽的标块，粒子束装置发射粒子束的束斑聚焦在所述凹槽底面；获取激光发射装置发射的激光束经过所述标块表面反射后的第一图像，基于所述第一图像获得激光束的光斑位置信息，根据所述光斑位置信息，调节所述光斑位于所述凹槽底面；样品台放置样品，获取所述激光发射装置发射的激光束经过样品表面反射后的第二图像，基于所述第二图像获得所述样品位置信息，根据所述样品位置信息，调节所述样品位置。本发明通过激光束的光斑追踪束斑聚焦位置信息和样品位置信息，调节样品位置，使得束斑聚焦在样品表面。
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公开(公告)号：CN113964006A
公开(公告)日：2022-01-21
申请号：CN202010703040.8
申请日：2020-07-21
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
IPC: H01J37/141 , H01J37/21 , H01J37/28
Abstract: 本发明公开了一种粒子束装置束斑追踪方法及系统，该方法包括：样品台放置设有凹槽的标块，粒子束装置发射粒子束的束斑聚焦在所述凹槽底面；获取激光发射装置发射的激光束经过所述标块表面反射后的第一图像，基于所述第一图像获得激光束的光斑位置信息，根据所述光斑位置信息，调节所述光斑位于所述凹槽底面；样品台放置样品，获取所述激光发射装置发射的激光束经过样品表面反射后的第二图像，基于所述第二图像获得所述样品位置信息，根据所述样品位置信息，调节所述样品位置。本发明通过激光束的光斑追踪束斑聚焦位置信息和样品位置信息，调节样品位置，使得束斑聚焦在样品表面。
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公开(公告)号：CN109300759A
公开(公告)日：2019-02-01
申请号：CN201811250972.0
申请日：2018-10-25
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
IPC: H01J37/145 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/28 , G01N23/203 , G01N23/225
Abstract: 本发明公开了一种低能扫描电子显微镜系统，包括：电子源，用于产生电子束；电子加速结构，用于增加所述电子束的运动速度；复合物镜，用于对经所述电子加速结构加速的电子束进行汇聚；偏转装置，用于改变所述电子束的运动方向；探测装置，包括用于接收电子束作用于样品上产生的二次电子和背散射电子的第一子探测装置、用于接收所述背散射电子的第二子探测装置、以及用于改变所述二次电子和所述背散射电子的运动方向的控制装置；电透镜，包括第二子探测装置、样品台和控制电极，用于减小所述电子束的运动速度，并改变所述二次电子和所述背散射电子的运动方向。本发明还公开了扫描电子显微镜物镜系统及样品探测方法。
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公开(公告)号：CN106680305A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201611038903.4
申请日：2016-11-23
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
IPC: G01N23/22
CPC classification number: G01N23/2251
Abstract: 本发明公开了一种真空气氛处理装置，所述装置的顶部与外部的电子束产生装置连接，其特征在于，所述装置为轴对称结构，所述装置从中心轴向外依次包括：中心通道、第一抽气通道、供气腔室和至少一个第二抽气腔室；其中，所述中心通道的出口处设置有压差光阑，用于维持中心通道与外界环境的压强差，并使所述电子束产生装置产生的电子束通过所述中心通道；所述第一抽气通道与所述中心通道连通，用于对所述中心通道抽气；所述供气腔室顶端连接有供气通道，用于对所述装置与待测样品之间的区域供气；所述第二抽气腔室的顶端连接有第二抽气通道，用于对所述装置与待测样品之间的区域抽气。本发明还公开了一种样品观测系统及方法。
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