一种粒子束显微镜的样品除污方法

    公开(公告)号:CN111530851B

    公开(公告)日:2021-08-06

    申请号:CN202010410016.5

    申请日:2020-05-15

    Inventor: 杨润潇 李帅 何伟

    Abstract: 本发明公开了一种粒子束显微镜的样品除污方法,接通电源后,送样装置开始向预抽室送样;除静电吹扫装置上的排气口向下排出气流,射至样品表面,气流中的离子与样品表面吸附的微粒所带电荷发生中和,使一部分微粒失去静电吸引力后被所述气流带走;以及所述预抽室内的高压电极启动,产生一个高压静电场,部分微粒在高压静电场的作用下发生静电感应作用吸到所述高压电极上,本发明采用的清洗方法先采用除静电吹扫和高压电极吸附的方法除去大部分的样品表层微粒,再采用真空环境下的等离子清洗,提高了清洗控制的精准度和提高了清洗效率。

    一种亲水性基片制作方法及装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114256058A

    公开(公告)日:2022-03-29

    申请号:CN202110774469.0

    申请日:2021-07-08

    Abstract: 本发明公开了一种亲水性基片制作方法及装置,该方法包括:真空腔室内通入反应气体;对所述真空腔室施加第一电压,对样品台施加第二电压,电子源发射电子束轰击所述反应气体产生第一等离子体;所述第一等离子体作用于基片表面;对所述样品台施加第三电压,所述电子源停止发射所述电子束;辉光放电产生的第二等离子体作用于所述基片表面。本发明提供的一种亲水性基片制作方法在产生第一等离子体和第二等离子体过程中启辉容易,第一等离子体和第二等离子体作用于基片后,基片的亲水性效果稳定,次品率低。

    一种粒子束显微镜样品除污方法及装有除污装置的预抽室

    公开(公告)号:CN111530851A

    公开(公告)日:2020-08-14

    申请号:CN202010410016.5

    申请日:2020-05-15

    Inventor: 杨润潇 李帅 何伟

    Abstract: 本发明公开了一种粒子束显微镜的样品除污方法及装有除污装置的预抽室,接通电源后,送样装置开始向预抽室送样;除静电吹扫装置上的排气口向下排出气流,射至样品表面,气流中的离子与样品表面吸附的微粒所带电荷发生中和,使一部分微粒失去静电吸引力后被所述气流带走;以及所述预抽室内的高压电极启动,产生一个高压静电场,部分微粒在高压电场的作用下发生静电感应作用吸到所述高压电极上,本发明采用的清洗方法先采用除静电吹扫和高压电极吸附的方法除去大部分的样品表层微粒,再采用真空环境下的等离子清洗,提高了清洗控制的精准度和提高了清洗效率。

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