公开(公告)号：CN111937114B

公开(公告)日：2024-09-17

申请号：CN201980021613.4

申请日：2019-04-08

申请人： 东京毅力科创株式会社 ,  万机仪器公司

发明人： 吉田祐介 ,  谢尔盖·沃罗宁 ,  阿洛科·兰詹 ,  大卫·库穆 ,  斯科特·怀特

IPC分类号： H01J37/32 ,  H01L21/3065

摘要： 在等离子体加工中，多个谐波频率分量用于等离子体激发。控制不同频率分量之间的相对幅度和/或相移，以便提供期望的离子能量等离子体属性。可以在不进行直接测量和/或手动离子能量测量的情况下控制相对幅度和/或相移。而是，可以通过监测该等离子体装置内的诸如例如阻抗水平等一个或多个电特性、该射频(RF)发生器中的电信号、匹配网络中的电信号、以及该等离子体加工装置的其他电路中的电信号来动态地控制该等离子体内的离子能量。可以在等离子体工艺期间动态地实现对该离子能量的监测和控制，以便维持期望的离子能量分布。

公开(公告)号：CN112204696A

公开(公告)日：2021-01-08

申请号：CN201980036571.1

申请日：2019-05-21

申请人： 万机仪器公司

发明人： G·A·布鲁克 ,  T·C·斯文尼 ,  C·L·珀西

IPC分类号： H01J41/06 ,  G01M3/20

摘要： 公开了一种总压力冷阴极电离计。倒磁控管电极设计能够同时检测和测量高真空系统中的总气体压力以及诸如氢气、氦气以及水的这样的一种或更多种气体的部分压力。另外，公开了一种泄漏检测器，诸如氦泄漏检测器，其具有到离子检测通道的进气通道的紧凑的逆流结构。

公开(公告)号：CN112204493A

公开(公告)日：2021-01-08

申请号：CN201980030414.X

申请日：2019-04-24

申请人： 万机仪器公司

发明人： 丁军华 ,  M·勒巴塞伊 ,  W·科勒

IPC分类号： G05D11/13 ,  G01F1/40 ,  G01F1/50

摘要： 提供了流体控制系统以及用于流体控制的对应方法，该流体控制系统包括质量流量控制系统、质量流量比率控制系统以及质量流量和比率控制系统。这些系统允许一个共享的压力传感器被用于多个流道，以及控制器，该控制器可以基于由该共享的压力传感器检测到的流体压力来准确地确定质量流量。

公开(公告)号：CN111220321A

公开(公告)日：2020-06-02

申请号：CN202010025978.9

申请日：2016-01-13

申请人： 万机仪器公司

发明人： B·J·凯利 ,  C·L·珀西 ,  S·C·海因布赫 ,  G·A·布鲁克 ,  T·C·斯文尼 ,  T·R·皮万卡-科尔

IPC分类号： G01L21/30 ,  G01L21/34 ,  G01L19/00 ,  B29C45/14

摘要： 本发明涉及聚合物复合真空部件。一种测量计具有由聚合物材料形成的壳体以及布置在壳体中的一个或者多个电馈通引脚。电馈通引脚可以大体相互垂直地取向并且具有复杂的形状。

公开(公告)号：CN110192265A

公开(公告)日：2019-08-30

申请号：CN201780083316.3

申请日：2017-12-07

申请人： 万机仪器公司

发明人： G·A·布鲁克 ,  T·C·斯文尼

IPC分类号： H01J41/06

摘要： 一种冷阴极电离计(CCIG)包括延伸的阳极、沿着所述阳极的一段围绕所述阳极的阴极以及支承所述阳极的馈通绝缘体。所述阴极在所述阳极周围形成放电空间，使得能够在所述阳极与所述阴极之间形成等离子体以及所产生的流入所述阴极的离子电流。所述CCIG还包括磁体，所述磁体施加贯穿所述放电空间的磁场，以延长自由电子路径来维持所述等离子体。屏蔽件与所述绝缘体电隔离并且将所述绝缘体屏蔽以免受所述等离子体的电子的影响。所述屏蔽件可以安装至所述阴极并且围绕所述阳极并与所述阳极隔开。电控制器在所述阳极与所述阴极之间施加电压以在所述阳极与所述阴极之间利用等离子体放电产生电离，所述控制器基于测得的流向所述阴极的离子电流来确定压力。

公开(公告)号：CN107110730A

公开(公告)日：2017-08-29

申请号：CN201680005708.3

申请日：2016-01-13

申请人： 万机仪器公司

发明人： B·J·凯利 ,  C·L·珀西 ,  S·C·海因布赫 ,  G·A·布鲁克 ,  T·C·斯文尼 ,  T·R·皮万卡-科尔

IPC分类号： G01L21/30 ,  B29C45/14 ,  B29K23/00 ,  B29K69/00 ,  B29K71/00

摘要： 一种测量计具有由聚合物材料形成的壳体以及布置在壳体中的一个或者多个电馈通引脚。电馈通引脚可以大体相互垂直地取向并且具有复杂的形状。

公开(公告)号：CN104205604A

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：CN201380014703.3

申请日：2013-03-18

申请人： 万机仪器公司

发明人： 陈肯 ,  陈星 ,  纽曼罗素L ,  李国华

IPC分类号： H02M7/48

CPC分类号： H05B33/0803 ,  Y02B20/348

摘要： 一种诸如用于产生臭氧的介质阻挡放电系统的电力系统可以包括全桥逆变器级和并联谐振槽，该并联谐振槽输出用于为介质阻挡放电电池堆供电的信号。使用脉宽调制(PWM)和频率调制(FM)的组合控制逆变器级，以能够通过所有负载状况即从满负载到轻负载进行软切换。电流控制回路误差放大器补偿器可以向相移PWM控制器芯片提供占空比调节信号，相移PWM控制器芯片产生用于逆变器级的切换信号。还使用反馈信号调节PWM控制器芯片的时钟频率时间常数，以提供FM。在一个实施方式中，反馈信号是连接在电流控制回路误差放大器补偿器的输出端处的反相放大器。

公开(公告)号：CN112204696B

公开(公告)日：2021-10-22

申请号：CN201980036571.1

申请日：2019-05-21

申请人： 万机仪器公司

发明人： G·A·布鲁克 ,  T·C·斯文尼 ,  C·L·珀西

IPC分类号： H01J41/06 ,  G01M3/20

摘要： 倒磁控管冷阴极电离真空计、电离源、测量压力的方法。公开了一种总压力冷阴极电离计。倒磁控管电极设计能够同时检测和测量高真空系统中的总气体压力以及诸如氢气、氦气以及水的这样的一种或更多种气体的部分压力。另外，公开了一种泄漏检测器，诸如氦泄漏检测器，其具有到离子检测通道的进气通道的紧凑的逆流结构。

公开(公告)号：CN111670420B

公开(公告)日：2021-09-21

申请号：CN201980011115.1

申请日：2019-01-28

申请人： 万机仪器公司

发明人： 丁军华 ,  M·勒巴塞伊 ,  G·希尔

IPC分类号： G05D7/06 ,  G01F1/34

摘要： 用于流体的脉冲输送的流体控制系统和输送流体脉冲的方法。提供了一种对流体进行脉冲输送的流体控制系统，该系统包括：流道、发起和终止来自流道的流体脉冲的隔离阀以及脉冲质量流量控制器(MFC)。该MFC包括：对流道中的流体流量进行控制的控制阀、对流道中的流量进行测量的流量传感器以及控制器，该控制器对通过控制阀的流体流量和隔离阀的开关进行控制，以对流体脉冲期间输送的流体质量进行控制。可以基于在由隔离阀发起和终止的脉冲期间来自流量传感器的反馈，对通过控制阀的流体流量进行控制。

公开(公告)号：CN111937114A

公开(公告)日：2020-11-13

申请号：CN201980021613.4

申请日：2019-04-08

申请人： 东京毅力科创株式会社 ,  万机仪器公司

发明人： 吉田祐介 ,  谢尔盖·沃罗宁 ,  阿洛科·兰詹 ,  大卫·库穆 ,  斯科特·怀特

IPC分类号： H01J37/32 ,  H01L21/3065

摘要： 在等离子体加工中，多个谐波频率分量用于等离子体激发。控制不同频率分量之间的相对幅度和/或相移，以便提供期望的离子能量等离子体属性。可以在不进行直接测量和/或手动离子能量测量的情况下控制相对幅度和/或相移。而是，可以通过监测该等离子体装置内的诸如例如阻抗水平等一个或多个电特性、该射频(RF)发生器中的电信号、匹配网络中的电信号、以及该等离子体加工装置的其他电路中的电信号来动态地控制该等离子体内的离子能量。可以在等离子体工艺期间动态地实现对该离子能量的监测和控制，以便维持期望的离子能量分布。