公开(公告)号：CN106257637A

公开(公告)日：2016-12-28

申请号：CN201610421556.7

申请日：2016-06-13

申请人： 细美事有限公司 ,  哈纳新材料有限公司

发明人： 韩有东 ,  朴真庆

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01J37/32

CPC分类号： H01L21/6719 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/3288

摘要： 本发明提供紧固2个以上主体的装置。基板处理装置，其包括：腔室，其内部具有处理空间；支撑单元，其在上述处理空间支撑基板；以及气体供给单元，其向上述处理空间内供给工艺气体，上述气体供给单元包括：喷头，其与上述支撑单元相对；支撑板，其支撑上述喷头；紧固组件，其紧固上述喷头和上述支撑板，上述紧固组件包括：紧固主体，其形成为包绕上述支撑板的环状，可以以上述支撑板的中心轴为中心进行旋转。因而，本发明的基板处理装置可以迅速执行喷头的装卸。

公开(公告)号：CN106257637B

公开(公告)日：2019-03-08

申请号：CN201610421556.7

申请日：2016-06-13

申请人： 细美事有限公司 ,  哈纳新材料有限公司

发明人： 韩有东 ,  朴真庆

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01J37/32

摘要： 本发明提供紧固2个以上主体的装置。基板处理装置，其包括：腔室，其内部具有处理空间；支撑单元，其在上述处理空间支撑基板；以及气体供给单元，其向上述处理空间内供给工艺气体，上述气体供给单元包括：喷头，其与上述支撑单元相对；支撑板，其支撑上述喷头；紧固组件，其紧固上述喷头和上述支撑板，上述紧固组件包括：紧固主体，其形成为包绕上述支撑板的环状，可以以上述支撑板的中心轴为中心进行旋转。因而，本发明的基板处理装置可以迅速执行喷头的装卸。