一种干法刻蚀聚酰亚胺牺牲层的方法

    公开(公告)号:CN108346571A

    公开(公告)日:2018-07-31

    申请号:CN201810116934.X

    申请日:2018-02-06

    IPC分类号: H01L21/311 G01J5/00

    摘要: 本发明提供了一种干法刻蚀聚酰亚胺牺牲层的方法,属于非制冷红外辐射热计的加工技术领域。包括步骤:s1,在半导体晶圆衬底上均匀涂覆聚酰亚胺牺牲层薄膜;s2,在所述聚酰亚胺牺牲层薄膜上涂覆光刻胶,并对光刻胶进行曝光、显影,使所述光刻胶上形成预定图形;s3,进行等离子体刻蚀,使得所述预定图形转移至所述聚酰亚胺牺牲层薄膜上;s4,对所述光刻胶表面进行预处理,清除硬化的胶层;s5,采用有机溶液湿法剥离所述光刻胶;s6,清洗残留的胶体。本发明提供的一种干法刻蚀聚酰亚胺牺牲层的方法,通过打胶工艺去除的表面变性光刻胶,以用于非制冷红外辐射热计的牺牲层制备。

    一种用于汽车挡风玻璃即时显示的红外探测器

    公开(公告)号:CN105522980A

    公开(公告)日:2016-04-27

    申请号:CN201511014102.X

    申请日:2015-12-31

    IPC分类号: B60R11/02

    摘要: 一种用于汽车挡风玻璃即时显示的红外探测器,包括显示装置以及探测装置,显示装置包括厚度为2mm的透明电子显示板、与电子显示板连接的无线信号接收器,所述电子显示板一表面设置有透明粘层,电子显示板贴附于汽车挡风玻璃上;探测装置包括壳体,设置于壳体顶端的无线信号发射器、设置于壳体表面的红外透镜、正对红外透镜设置于壳体内的红外传感器、壳体底端设置有可充电电池电池槽以及设置于壳体内的微处理器,所述无线信号发射器、红外传感器均通过导线连接微处理器。通过无线信号连接,并且设置便携式壳体,体积小巧,安装方便,便于产业化应用。

    一种头盔前挡板可显式红外探测器

    公开(公告)号:CN105520253A

    公开(公告)日:2016-04-27

    申请号:CN201511014101.5

    申请日:2015-12-31

    IPC分类号: A42B3/04 G01J5/04 G01J5/02

    CPC分类号: A42B3/046 G01J5/028 G01J5/041

    摘要: 一种头盔前挡板可显式红外探测器,包括设置于头盔前挡板内的显示装置、设置于头盔顶端夹层内的探测装置,显示装置包括透明显示板以及与显示板连接的信号传输导线,所述探测装置包括壳体以及设置于壳体底端的固定板,固定板表面设置有粘结层,通过粘结层与头盔顶端夹层粘结固定,所述壳体表面设置有凸出的球面红外镜片,头盔上对应开设有通孔,球面红外镜片嵌接于通孔内,壳体内正对球面红外镜片处设置有红外传感器,红外传感器后侧设置有微处理器,壳体顶端设置有太阳能光电板,光电板嵌接于对应开设于头盔顶端的方形孔内,太阳能光电板连接壳体内的蓄电池,太阳能光电板、红外传感器通过导线连接微处理器,显示板通过信号传输导线连接微处理器。

    一种红外探测器的制备方法

    公开(公告)号:CN109470369A

    公开(公告)日:2019-03-15

    申请号:CN201811329238.3

    申请日:2018-11-09

    IPC分类号: G01J5/10

    摘要: 本发明提供了一种红外探测器的制备方法,涉及红外探测器技术领域。其包括:涂覆聚酰亚胺层;涂覆光刻胶,对聚酰亚胺进行等离子体反应刻蚀,形成桥墩处的通道图形Ⅰ;沉积介质层覆盖聚酰亚胺;沉积热敏感膜、介质层;并形成图形;沉积介质层作为保护薄膜;涂覆光刻胶,刻蚀桥墩处的通道图形Ⅱ;沉积厚金属填充通道图形Ⅱ,并图形化;在热敏感膜上的介质层上,刻蚀形成槽状结构;沉积金属并图形化;沉积介质层保护层;光刻刻蚀释放通道;释放聚酰亚胺层,形成桥墩支撑、悬空的像元结构。本发明提供的一种红外探测器的制备方法,加强像元的导电性和牢靠性,以改善和解决像元尺寸缩小引进的新问题,且工艺稳定,重复性好,适用于大批量的在线生产。

    基于震荡式反应气体控制的反应溅射系统

    公开(公告)号:CN103436847B

    公开(公告)日:2016-11-23

    申请号:CN201310312221.8

    申请日:2013-07-24

    发明人: 郭俊

    IPC分类号: C23C14/34 C23C14/54 C23C14/08

    摘要: 本发明涉及一种基于震荡式反应气体控制的反应溅射系统,包括真空腔室及反应气体管路与载气管路,所述真空腔室内设置有相对的阳极晶圆载台与阴极靶材;所述反应溅射系统还包括气体流量控制系统,所述气体流量控制系统包括计算机、流量控制器、反应气体质量流量计及载气质量流量计,所述反应气体质量流量计与所述载气质量流量计分别设置在所述反应气体管路与所述载气管路中;所述计算机通过所述流量控制器控制所述反应气体质量流量计,使进入所述真空腔室的反应气体流量为周期性震荡流量。本发明通过周期性震荡的反应气体流量,使得整个溅射过程实现了动态的稳定,并进而稳定获得所需要的金属化合物成分。

    一种红外探测器响应率测试装置

    公开(公告)号:CN105571724A

    公开(公告)日:2016-05-11

    申请号:CN201610063706.1

    申请日:2016-01-29

    IPC分类号: G01J5/00 G01J5/02

    CPC分类号: G01J5/00 G01J5/02

    摘要: 一种红外探测器响应率测试装置,包括光学测试平台、设置于光学测试平台上的可在X、Y、Z三个方向移动的三维位移台、固定于光学测试平台一端的黑体支架、光源系统以及测试处理系统,所述光源系统安装于黑体支架上,包括黑体、光阑、滤光片以及黑体控制器,三维位移台上安装有被测探测器,测试处理系统包括测试计算机、测试板卡,测试计算机信号连接黑体控制器,控制黑体辐射温度,黑体发出的辐射信号通过光阑和滤光片垂直入射到被测探测器上,被测探测器信号连接测试板卡,测试板卡与测试计算机电连接,由测试计算机采集测试板卡上的各项测试数据,本装置方法简便实用,测试精度较高,可广泛推广使用。

    基于MEMS的红外辐射热计及其制作方法

    公开(公告)号:CN103728029B

    公开(公告)日:2016-05-11

    申请号:CN201310712997.9

    申请日:2013-12-19

    发明人: 郭俊

    IPC分类号: G01J5/22

    摘要: 本发明涉及一种基于MEMS的红外辐射热计及其制作方法。本发明中的红外辐射热计包括桥面、导热导电桥臂以及桥墩组件;桥面上布置有温敏层;导热导电桥臂有两根,分别是第一导热导电桥臂与第二导热导电桥臂,第一导热导电桥臂与第二导热导电桥臂相对布置在桥面的两侧;桥墩组件包括第一桥墩与第二桥墩,第一桥墩与第二桥墩的底部分别设置有与温敏层电连接的第一读出电路连接点与第二读出电路连接点;桥面与第一读出电路连接点或第二读出电路连接点所在平面之间的间隙大于第一桥墩或者第二桥墩的高度。本发明中桥墩的高度小于桥面的高度,可减小桥墩占用的面积,提高器件单元的有效面积,提高器件的性能。

    一种红外探测器晶圆封装方法

    公开(公告)号:CN108365021A

    公开(公告)日:2018-08-03

    申请号:CN201810117369.9

    申请日:2018-02-06

    IPC分类号: H01L31/0203 H01L31/101

    CPC分类号: H01L31/0203 H01L31/101

    摘要: 本发明提供了一种红外探测器晶圆封装方法,属于红外探测器封装技术领域。红外探测器在封装过程中,将探测器芯片与管壳封装时,在探测器芯片基底的背面做金属层化,使得通过金属层化实现芯片与管壳的黏合。本发明提供了一种红外探测器晶圆封装方法,通过在探测器晶圆衬底背面做金属层化以替代传统的点银浆工艺,使得可以节省昂贵的点银浆浆料,节约了封装成本。

    一种红外探测器
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105571725A

    公开(公告)日:2016-05-11

    申请号:CN201610062796.2

    申请日:2016-01-29

    IPC分类号: G01J5/08 G01J5/34

    CPC分类号: G01J5/0806 G01J5/34

    摘要: 一种红外探测器,包括光学滤镜、传感系统、电路系统、显示系统、电源系统和封装壳体,光学滤镜包括菲涅尔透镜和抛物面反射镜,传感系统包括热释传感芯片和半导体制冷器,所述光学滤镜使探测器探测范围更广、聚焦更准确,所述每个组件均通过相应的固定座与封装壳体连接,安装简易,组件更换更加方便。