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公开(公告)号:CN103687977A
公开(公告)日:2014-03-26
申请号:CN201280032640.X
申请日:2012-06-29
Applicant: 宇部材料工业株式会社 , 日本钨株式会社
CPC classification number: H01J37/3429 , C04B35/053 , C04B35/5607 , C04B35/5611 , C04B35/5626 , C04B35/58014 , C04B35/6261 , C04B35/645 , C04B2235/3206 , C04B2235/3839 , C04B2235/3843 , C04B2235/3847 , C04B2235/3886 , C04B2235/5445 , C04B2235/761 , C04B2235/762 , C04B2235/77 , C23C14/081 , C23C14/3407 , C23C14/3414 , G11B5/851 , H01J37/34 , H01J37/3426
Abstract: 本发明提供一种溅射用MgO靶材,即使在使用MgO作为溅射用靶材的情况下,也能够在形成MgO膜时使成膜速度高速化。本发明的溅射用MgO靶材以MgO和导电性物质作为主要成分,其特征在于,所述导电性物质在通过DC溅射法与MgO一起成膜时,能够为所形成的MgO膜赋予取向性。
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公开(公告)号:CN101460279B
公开(公告)日:2011-12-28
申请号:CN200780020535.3
申请日:2007-06-06
IPC: B23K35/32 , B23K103/12
CPC classification number: B23K11/3009 , B23K35/0266 , B23K35/32 , C22F1/18
Abstract: 本发明涉及以Cu或Cu合金作为电极主体(2),在与被焊接材料相接的相接面埋设有W、Mo、W基合金或Mo基合金制芯材(3)的双重结构的电极(1)。芯材(3)使用经烧结、挤锻、退火得到的横截面平均粒径为50μm以上、纵横比为1.5以上的纤维状组织在电极轴向延伸的W、Mo、W基合金或Mo基合金。提供反复实施加热、加压的点焊用电极的脱粒损耗、缺损得到抑制,且稳定地提高耐久性的廉价电极。
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公开(公告)号:CN103687977B
公开(公告)日:2016-08-17
申请号:CN201280032640.X
申请日:2012-06-29
Applicant: 宇部材料工业株式会社 , 日本钨株式会社
CPC classification number: H01J37/3429 , C04B35/053 , C04B35/5607 , C04B35/5611 , C04B35/5626 , C04B35/58014 , C04B35/6261 , C04B35/645 , C04B2235/3206 , C04B2235/3839 , C04B2235/3843 , C04B2235/3847 , C04B2235/3886 , C04B2235/5445 , C04B2235/761 , C04B2235/762 , C04B2235/77 , C23C14/081 , C23C14/3407 , C23C14/3414 , G11B5/851 , H01J37/34 , H01J37/3426
Abstract: 本发明提供一种溅射用MgO靶材,即使在使用MgO作为溅射用靶材的情况下,也能够在形成MgO膜时使成膜速度高速化。本发明的溅射用MgO靶材以MgO和导电性物质作为主要成分,其特征在于,所述导电性物质在通过DC溅射法与MgO一起成膜时,能够为所形成的MgO膜赋予取向性。
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公开(公告)号:CN101460279A
公开(公告)日:2009-06-17
申请号:CN200780020535.3
申请日:2007-06-06
IPC: B23K35/32 , B23K11/30 , C22F1/18 , B23K103/12
CPC classification number: B23K11/3009 , B23K35/0266 , B23K35/32 , C22F1/18
Abstract: 本发明涉及以Cu或Cu合金作为电极主体(2),在与被焊接材料相接的相接面埋设有W、Mo、W基合金或Mo基合金制芯材(3)的双重结构的电极(1)。芯材(3)使用经烧结、挤锻、退火得到的横截面平均粒径为50μm以上、纵横比为1.5以上的纤维状组织在电极轴向延伸的W、Mo、W基合金或Mo基合金。提供反复实施加热、加压的点焊用电极的脱粒损耗、缺损得到抑制,且稳定地提高耐久性的廉价电极。
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