基于MEMS的量热计及其制造和使用

    公开(公告)号:CN105408730A

    公开(公告)日:2016-03-16

    申请号:CN201480040229.6

    申请日:2014-06-05

    发明人: 林桥 王斌 贾员

    IPC分类号: G01K17/00

    CPC分类号: G01K17/006 G01N25/4893

    摘要: 提供了基于MEMS的量热计,该量热计包括在聚合层上形成的薄膜基板中支撑的两个微腔室。该薄膜基板包括配置为测量这两个微腔室之间的温度差的热电传感器,并且也包括热稳定和高强度的聚合物膜片。也提供了用于制造该基于MEMS的量热计的方法,以及利用该量热计来测量诸如生物分子的材料的热性质,或者化学反应或物理相互作用的热力学性质的方法。

    具有浓缩功能的氢气传感器以及其中使用的氢气传感器探头

    公开(公告)号:CN105229451B

    公开(公告)日:2018-09-14

    申请号:CN201480029219.2

    申请日:2014-05-22

    申请人: 木村光照

    发明人: 木村光照

    IPC分类号: G01N25/20 G01N27/12 G01N25/48

    摘要: 本发明提供一种小型、具有量产性、廉价、对氢气的选择性高、并且是高灵敏度、高精度的氢气传感器。在从基板(1)上热分离的薄膜(10)上具有加热器(25)和温度传感器(20)以及氢吸收材料(5)的氢气的浓缩部(300)与氢气传感器元件(500)设置在相同的微腔室(100)内。通过氢气传感器元件(500),对经过加热器加热而从浓缩部(300)释出并成为高浓度化的氢气进行测量。通过使氢吸收材料(5)具有氢气的选择性,从而氢气传感器元件(500)不需要具有氢气选择性。通过在微腔室(100)的出入口设置气流限制部(250),从而防止因外部气体的流入而引起的氢气的稀薄化。可以使用泵等导入机构(150),以规定的周期进行被检测气体向微腔室(100)的导入。

    基于微机电系统的热量计及有关制造和应用

    公开(公告)号:CN103392114A

    公开(公告)日:2013-11-13

    申请号:CN201280009647.X

    申请日:2012-02-22

    发明人: 林巧 王斌

    IPC分类号: G01K17/00

    CPC分类号: G01K17/006 G01N25/4893

    摘要: 本发明提供了基于微机电系统的热量计,它包括两个支撑在薄膜基片内的微室。所述薄膜基片包括一个被构设为测量两个微室之间温差的热电传感器,还包括一个具有热稳定性且高强度的聚合物膜片。此外,提供了基于MEMS的热量计的制造方法,以及利用热量计测量生物分子等材料的热性能或化学反应/物理相互作用中热力学特性的方法。

    气体传感器、气体检测装置、气体检测方法及包括气体检测装置的装置

    公开(公告)号:CN108700534A

    公开(公告)日:2018-10-23

    申请号:CN201780012589.9

    申请日:2017-02-15

    IPC分类号: G01N25/48

    摘要: 本发明提供一种可提高气体检测性能的气体传感器、气体检测装置、气体检测方法及包括气体检测装置的装置。气体检测装置包括:气体传感器(1),具有感热电阻元件(2)与多孔性的气体分子吸附材料(3),所述多孔性的气体分子吸附材料(3)与所述感热电阻元件(2)热耦合,并且通过加热及冷却而解吸指定气体分子;及电力供给控制部,对所述感热电阻元件(2)进行电力的供给、控制来进行加热及冷却。气体检测方法包括:加热步骤,将多孔性的气体分子吸附材料(3)设为加热状态;及检测步骤,通过由加热所引起的所述感热电阻元件(2)的温度变化来检测指定气体。

    基于微机电系统的热量计及有关制造和应用

    公开(公告)号:CN103392114B

    公开(公告)日:2016-01-20

    申请号:CN201280009647.X

    申请日:2012-02-22

    发明人: 林巧 王斌

    IPC分类号: G01K17/00

    CPC分类号: G01K17/006 G01N25/4893

    摘要: 本发明提供了基于微机电系统的热量计,它包括两个支撑在薄膜基片内的微室。所述薄膜基片包括一个被构设为测量两个微室之间温差的热电传感器,还包括一个具有热稳定性且高强度的聚合物膜片。此外,提供了基于MEMS的热量计的制造方法,以及利用热量计测量生物分子等材料的热性能或化学反应/物理相互作用中热力学特性的方法。

    具有浓缩功能的氢气传感器以及其中使用的氢气传感器探头

    公开(公告)号:CN105229451A

    公开(公告)日:2016-01-06

    申请号:CN201480029219.2

    申请日:2014-05-22

    申请人: 木村光照

    发明人: 木村光照

    IPC分类号: G01N25/20 G01N27/12 G01N25/48

    摘要: 本发明提供一种小型、具有量产性、廉价、对氢气的选择性高、并且是高灵敏度、高精度的氢气传感器。在从基板(1)上热分离的薄膜(10)上具有加热器(25)和温度传感器(20)以及氢吸收材料(5)的氢气的浓缩部(300)与氢气传感器元件(500)设置在相同的微腔室(100)内。通过氢气传感器元件(500),对经过加热器加热而从浓缩部(300)释出并成为高浓度化的氢气进行测量。通过使氢吸收材料(5)具有氢气的选择性,从而氢气传感器元件(500)不需要具有氢气选择性。通过在微腔室(100)的出入口设置气流限制部(250),从而防止因外部气体的流入而引起的氢气的稀薄化。可以使用泵等导入机构(150),以规定的周期进行被检测气体向微腔室(100)的导入。