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公开(公告)号：CN105453237B
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：CN201480044231.0
申请日：2014-07-29
申请人： 科理克株式会社
发明人： 志贺一哉
IPC分类号： H01L21/3065 , H01L21/02
CPC分类号： H01L21/67109 , H01J37/32009 , H01J37/32522 , H01J37/32724 , H01J2237/334 , H01L21/67017 , H01L21/67069
摘要： 一种循环冷却加热装置(3)，将对等离子体蚀刻装置的腔室供给的循环流体冷却、加热，并具备：在循环流体和冷却水之间进行热交换的热交换器、加热循环流体的加热单元、使循环流体在与腔室之间循环的泵(20)、使冷却水流通的冷却水流通块(29)、检测被冷却或加热的循环流体的压力的作为压力检测单元的压力传感器(22)，压力传感器(22)安装于冷却水流通块(29)。
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公开(公告)号：CN105103431B
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201480017504.2
申请日：2014-03-27
CPC分类号： H01L35/32 , B21B1/46 , B21B45/00 , H01L35/30 , Y02P70/123
摘要： 热电发电装置(3)具备热电发电单元(1)和使热电发电单元能够一体移动的移动构件(2)，由此能够得到具备热电发电单元的热电发电装置，在热源流动的钢材(5)的制造生产线中，该热电发电单元将释放状态变动的热能转换为电能并进行回收。
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公开(公告)号：CN104885026B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201380067966.0
申请日：2013-11-07
申请人： 科理克株式会社
发明人： 后藤大辅
IPC分类号： G05D23/00 , H01L21/3065
CPC分类号： H01J37/32724 , G05D23/19 , H01J37/32009 , H01J2237/334
摘要： 一种温度控制装置。本发明的温度控制装置却、加热，并且使循环流体在与腔室之间循环；控制部(6)，其调节循环流体的温度而将腔室的温度控制到目标温度；框体(7)，其收纳上述部件，在框体(7)内，将循环冷却加热部(5)配置用的循环室(46)和控制部(6)配置用的控制室(47)设置在同一平面上，在循环室(46)配置有贮存循环流体的罐(10)、使循环流体循环的泵(20)、将循环流体冷却的热交换器以及将循环流体加热的加热装置(17)，在控制室(47)配置有对泵(20)的驱动进行控制的变换器(31)、及对加热装置的接通断开进行切换的SSR(30)。(3)具有：循环冷却加热部(5)，其将循环流体冷
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公开(公告)号：CN105453237A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201480044231.0
申请日：2014-07-29
申请人： 科理克株式会社
发明人： 志贺一哉
IPC分类号： H01L21/3065 , H01L21/02
CPC分类号： H01L21/67109 , H01J37/32009 , H01J37/32522 , H01J37/32724 , H01J2237/334 , H01L21/67017 , H01L21/67069
摘要： 一种循环冷却加热装置(3)，将对等离子体蚀刻装置的腔室供给的循环流体冷却、加热，并具备：在循环流体和冷却水之间进行热交换的热交换器、加热循环流体的加热单元、使循环流体在与腔室之间循环的泵(20)、使冷却水流通的冷却水流通块(29)、检测被冷却或加热的循环流体的压力的作为压力检测单元的压力传感器(22)，压力传感器(22)安装于冷却水流通块(29)。
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公开(公告)号：CN104508575A
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201380039566.9
申请日：2013-07-18
申请人： 科理克株式会社
发明人： 三村和弘
IPC分类号： G05B11/36 , G05B13/02 , G05D23/19 , H01L21/304
CPC分类号： H01L21/67098 , G05D23/1919 , H01L21/67248
摘要： 一种半导体制造装置用温度调整装置(3)，为了调整在半导体制造装置中使用的流体的温度而具备热交换部(7)，所述热交换部(7)在内部具有对流体进行加热冷却的温度调整部件(72)，所述热交换部(7)在所流入的流体以及温度调整部件(72)之间进行热交换，所述半导体制造装置用温度调整装置(3)具备：PID常数运算部件(85)，基于流体的物理特性值、以及用于测定流体的温度的温度传感器(6)的时间常数，运算PID控制用的PID常数；以及PID控制运算部件(86)，基于由PID常数运算部件(85)运算出的PID常数，进行所述温度调整部件的PID控制。
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公开(公告)号：CN105103432B
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201480017655.8
申请日：2014-03-27
CPC分类号： H01L35/32 , B21B1/46 , B21B45/00 , H01L35/30 , Y02P70/123
摘要： 将热电发电装置(1)与钢材(2)对置设置，并且根据热电发电单元的输出进行设置，由此能够得到具备热电发电单元的热电发电装置，在热源流动的连续铸造生产线或板坯连铸生产线中，该热电发电单元将放出状态变动的热能转换为电能并进行回收。
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公开(公告)号：CN104903995B
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201380067968.X
申请日：2013-11-07
申请人： 科理克株式会社
发明人： 后藤大辅
IPC分类号： H01L21/3065 , F28D1/06
CPC分类号： H01J37/32009 , F28D1/0213 , H01J37/32431 , H01J37/32522 , H01J37/32724 , H01J2237/334 , H01L21/67069 , H01L21/67109
摘要： 一种循环冷却加热装置，将对等离子体蚀刻装置的腔室供给的循环流体冷却加热，其中，具有贮存循环流体的罐(10)、使循环流体在罐(10)及腔室间循环的泵、在循环流体与冷却水之间进行热交换的热交换器(14)、将罐(10)内循环流体加热的加热装置(17)，使热交换器(14)浸渍在罐(10)内的循环流体中。
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公开(公告)号：CN105103432A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201480017655.8
申请日：2014-03-27
CPC分类号： H01L35/32 , B21B1/46 , B21B45/00 , H01L35/30 , Y02P70/123
摘要： 将热电发电装置(1)与钢材(2)对置设置，并且根据热电发电单元的输出进行设置，由此能够得到具备热电发电单元的热电发电装置，在热源流动的连续铸造生产线或板坯连铸生产线中，该热电发电单元将放出状态变动的热能转换为电能并进行回收。
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公开(公告)号：CN104903995A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201380067968.X
申请日：2013-11-07
申请人： 科理克株式会社
发明人： 后藤大辅
IPC分类号： H01L21/3065 , F28D1/06
CPC分类号： H01J37/32009 , F28D1/0213 , H01J37/32431 , H01J37/32522 , H01J37/32724 , H01J2237/334 , H01L21/67069 , H01L21/67109
摘要： 一种循环冷却加热装置，将对等离子体蚀刻装置的腔室供给的循环流体冷却加热，其中，具有贮存循环流体的罐(10)、使循环流体在罐(10)及腔室间循环的泵、在循环流体与冷却水之间进行热交换的热交换器(14)、将罐(10)内循环流体加热的加热装置(17)，使热交换器(14)浸渍在罐(10)内的循环流体中。
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公开(公告)号：CN104040742B
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201280066552.1
申请日：2012-12-10
申请人： 科理克株式会社
摘要： 本发明提供一种热电元件及具备该热电元件的热电模块，热电元件(10)具备：p型、n型半导体元件(21、22)，其具有上端面和下端面；下电极(12)，其以将彼此邻接的p型、n型半导体元件(21、22)彼此连接的方式与其下端面接合，并且在该接合部分比下端面面积小；接合部(13)，其由焊料形成，具有面接合部(13b)和角焊部(13a)，面接合部(13b)将p型、n型半导体元件(21、22)的下端面与下电极(12)的对置面彼此接合，角焊部(13a)形成为，填充构成由下端面和下电极(12)形成的台阶部的相互交叉的下电极(12)的侧面与下端面之间。
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