一种新型的Parylene真空镀膜装置
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    发明公开

    公开(公告)号:CN113832454A

    公开(公告)日:2021-12-24

    申请号:CN202111231513.X

    申请日:2021-10-22

    IPC分类号: C23C16/54 C23C16/52 C23C16/44

    摘要: 本发明涉及一种新型的Parylene真空镀膜装置,包括一体化蒸发裂解室、内置裂解加热器、蒸发区温控器、裂解区保护温控器、镀膜室、低温冷阱系统、真空系统和测控系统等,其中一体化蒸发裂解室分为蒸发区和裂解区,蒸发区和裂解区的外部分别设有蒸发区温控器和裂解区保护温控器;内置裂解加热器的加热部位于一体化蒸发裂解室内,且加热部包括与蒸发区对应的蒸发加热区和与裂解区对应的裂解加热区;一体化蒸发裂解室与镀膜室、低温冷阱系统、真空系统依次连接,测控系统控制一体化蒸发裂解室、镀膜室、低温冷阱系统和真空系统的工作状态。本发明有效降低了镀膜设备总长度,减少了设备加热过程的耗时和加热功耗,缩短了镀膜作业时间。

    一种适用于黑匣子的镀膜防护工艺及其设备

    公开(公告)号:CN115449772A

    公开(公告)日:2022-12-09

    申请号:CN202211004180.1

    申请日:2022-08-22

    摘要: 本发明涉及一种适用于黑匣子的镀膜防护工艺及其设备,包括工件架、真空除气及活化室、预处理室、沉积室等;除尘后的黑匣子组件放置在工件架上,传送辊道带动工件架定向移动;真空除气及活化室用于对黑匣子组件进行等离子清洗和表面活化处理;预处理室用于对活化后的黑匣子组件预蒸镀硅烷耦联合剂;沉积室用于对预蒸镀耦合剂后的黑匣子组件进行聚对二甲苯沉积镀膜,使黑匣子组件表面生成完全覆形、厚度均匀可控且透明的聚对二甲苯防护膜层,从而增强了存储器组件对防水防潮、防盐雾等恶劣特殊环境的抵抗能力,减少隔热材料内部的水气含量,增强隔热效果和表面的固化强度,避免掉粉,同时进一步保护壳体不被化学腐蚀和达到干燥封存的目的。

    空间环境5米量级立式自配重辐射屏蔽装置

    公开(公告)号:CN216841311U

    公开(公告)日:2022-06-28

    申请号:CN202122695391.1

    申请日:2021-11-05

    摘要: 本实用新型涉及一种空间环境5米量级立式自配重辐射屏蔽装置,包括温控屏蔽罩、可调距自润滑轮组机构、隔热平台、基础框架、上辐射屏蔽门、下辐射屏蔽门、正反向真空电机牵引机构和控制模块等;承重芳纶1414纤维绳穿过轮组机构后两端分别与上、下辐射屏蔽门连接;外侧牵引芳纶1414纤维绳连接下辐射屏蔽门和牵引机构,内侧牵引芳纶1414纤维绳连接上辐射屏蔽门和牵引机构;控制模块用于控制温控屏蔽罩的温度以及牵引机构中轮组的正转或者反转,实现辐射屏蔽装置的开门或者关门。本实用新型采用双门自配重结构来解决真空环境下的大动力需求,采用柔性结构克服大温差热胀冷缩变形问题,能够满足5米量级大口径相机定标试验的需求。

    一种新型的Parylene真空镀膜装置

    公开(公告)号:CN216039813U

    公开(公告)日:2022-03-15

    申请号:CN202122548600.X

    申请日:2021-10-22

    IPC分类号: C23C16/54 C23C16/52 C23C16/44

    摘要: 本实用新型涉及一种新型的Parylene真空镀膜装置,包括一体化蒸发裂解室、内置裂解加热器、蒸发区温控器、裂解区保护温控器、镀膜室、低温冷阱系统、真空系统和测控系统等,其中一体化蒸发裂解室分为蒸发区和裂解区,蒸发区和裂解区的外部分别设有蒸发区温控器和裂解区保护温控器;内置裂解加热器的加热部位于一体化蒸发裂解室内,且加热部包括与蒸发区对应的蒸发加热区和与裂解区对应的裂解加热区;一体化蒸发裂解室与镀膜室、低温冷阱系统、真空系统依次连接,测控系统控制一体化蒸发裂解室、镀膜室、低温冷阱系统和真空系统的工作状态。本实用新型有效降低了镀膜设备总长度,减少了设备加热过程的耗时和加热功耗,缩短了镀膜作业时间。

    一种Parylene沉积室使用的防污染观察窗

    公开(公告)号:CN216006010U

    公开(公告)日:2022-03-11

    申请号:CN202122302030.6

    申请日:2021-09-23

    发明人: 李志胜 李志安

    IPC分类号: C23C16/44

    摘要: 本实用新型涉及一种Parylene沉积室使用的防污染观察窗,包括观察窗法兰、密封胶圈、观察窗玻璃、环形聚酰亚胺薄膜加热器、薄膜型铂电阻、保温压环、压盖法兰、预紧螺钉和温控模块;观察窗玻璃的内侧与观察窗法兰上的密封胶圈紧密接触,外侧粘贴环形聚酰亚胺薄膜加热器和薄膜型铂电阻;保温压环压在加热器和观察窗玻璃的外缘上;压盖法兰压在保温压环上并通过预紧螺钉与观察窗法兰固定;温控模块通过薄膜型铂电阻和环形聚酰亚胺薄膜加热器使观察窗玻璃的温度维持在预设温度范围内。本实用新型利用环形聚酰亚胺薄膜加热器对观察窗玻璃进行100℃以上的有效控温,可以防止观察窗被生长的膜层污染,并且后期维护方便,结构简单,成本低。

    一种适用于黑匣子的镀膜防护工艺设备

    公开(公告)号:CN218580048U

    公开(公告)日:2023-03-07

    申请号:CN202222202805.7

    申请日:2022-08-22

    摘要: 本实用新型涉及一种适用于黑匣子的镀膜防护工艺设备,包括工件架、真空除气及活化室、预处理室、沉积室等;除尘后的黑匣子组件放置在工件架上,传送辊道带动工件架定向移动;真空除气及活化室用于对黑匣子组件进行等离子清洗和表面活化处理;预处理室用于对活化后的黑匣子组件预蒸镀硅烷耦联合剂;沉积室用于对预蒸镀耦合剂后的黑匣子组件进行聚对二甲苯沉积镀膜,使黑匣子组件表面生成完全覆形、厚度均匀可控且透明的聚对二甲苯防护膜层,从而增强了存储器组件对防水防潮、防盐雾等恶劣特殊环境的抵抗能力,减少隔热材料内部的水气含量,增强隔热效果和表面的固化强度,避免掉粉,同时进一步保护壳体不被化学腐蚀和达到干燥封存的目的。

    空间环境5米量级可在线切换驱动机构的辐射屏蔽门装置

    公开(公告)号:CN216841312U

    公开(公告)日:2022-06-28

    申请号:CN202122696949.8

    申请日:2021-11-05

    IPC分类号: E06B5/18 E06B7/28 E05F15/635

    摘要: 本实用新型涉及一种空间环境5米量级可在线切换驱动机构的辐射屏蔽门装置,包括两扇对开式的辐射屏蔽门、基础框架、液氮波纹管、波纹管收放器、承载平台车、承重轨道、电机驱动机构和控制系统,电机驱动机构采用主、备用电机驱动机构冗余备份并可在线切换;辐射屏蔽门、波纹管收放器、承载平台车、承重轨道、电机驱动机构均安装在基础框架上,承载平台车在电机驱动机构的驱动下带动其上固定的辐射屏蔽门沿承重轨道运动,实现辐射屏蔽门的开关动作。本实用新型通过可在线切换驱动机构来保障试验顺利进行,避免试验过程被迫中止而造成的时间、人力、物力的消耗,同时兼容5米以下定标试验以及将来更大口径相机定标试验的需求,具有广泛的应用前景。

    一种采用半开式沉积罩的聚对二甲苯真空镀膜装置

    公开(公告)号:CN216765031U

    公开(公告)日:2022-06-17

    申请号:CN202220130341.0

    申请日:2022-01-18

    IPC分类号: C23C14/24 C23C14/12

    摘要: 本实用新型涉及一种采用半开式沉积罩的聚对二甲苯真空镀膜装置,包括密封胶圈、真空法兰、半开式沉积罩、流向约束器、真空计、蒸发炉、物料盒、柔性波纹管弯头、裂解炉、放气阀、柔性波纹管、移动机柜、低温冷阱、控制系统和真空泵,其中半开式沉积罩、真空法兰、密封胶圈组合成一体,用于对被镀膜的局部表面进行真空密封,低温冷阱、控制系统和真空泵集成在移动机柜内,两部分通过柔性波纹管连接,提高了镀膜设备的灵活应用性和应用的便捷性。本实用新型将半开式沉积罩和被镀膜的局部平面结合成完整的沉积室,利用局部面积逐次覆盖镀膜来实现大平面或局部平面镀膜的需求,突破了镀膜对不可控沉积空间的限制。