一种新型的Parylene真空镀膜装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113832454A

    公开(公告)日:2021-12-24

    申请号:CN202111231513.X

    申请日:2021-10-22

    IPC分类号: C23C16/54 C23C16/52 C23C16/44

    摘要: 本发明涉及一种新型的Parylene真空镀膜装置,包括一体化蒸发裂解室、内置裂解加热器、蒸发区温控器、裂解区保护温控器、镀膜室、低温冷阱系统、真空系统和测控系统等,其中一体化蒸发裂解室分为蒸发区和裂解区,蒸发区和裂解区的外部分别设有蒸发区温控器和裂解区保护温控器;内置裂解加热器的加热部位于一体化蒸发裂解室内,且加热部包括与蒸发区对应的蒸发加热区和与裂解区对应的裂解加热区;一体化蒸发裂解室与镀膜室、低温冷阱系统、真空系统依次连接,测控系统控制一体化蒸发裂解室、镀膜室、低温冷阱系统和真空系统的工作状态。本发明有效降低了镀膜设备总长度,减少了设备加热过程的耗时和加热功耗,缩短了镀膜作业时间。

    一种适用于黑匣子的镀膜防护工艺及其设备

    公开(公告)号:CN115449772A

    公开(公告)日:2022-12-09

    申请号:CN202211004180.1

    申请日:2022-08-22

    摘要: 本发明涉及一种适用于黑匣子的镀膜防护工艺及其设备,包括工件架、真空除气及活化室、预处理室、沉积室等;除尘后的黑匣子组件放置在工件架上,传送辊道带动工件架定向移动;真空除气及活化室用于对黑匣子组件进行等离子清洗和表面活化处理;预处理室用于对活化后的黑匣子组件预蒸镀硅烷耦联合剂;沉积室用于对预蒸镀耦合剂后的黑匣子组件进行聚对二甲苯沉积镀膜,使黑匣子组件表面生成完全覆形、厚度均匀可控且透明的聚对二甲苯防护膜层,从而增强了存储器组件对防水防潮、防盐雾等恶劣特殊环境的抵抗能力,减少隔热材料内部的水气含量,增强隔热效果和表面的固化强度,避免掉粉,同时进一步保护壳体不被化学腐蚀和达到干燥封存的目的。

    空间环境5米量级立式自配重辐射屏蔽装置

    公开(公告)号:CN216841311U

    公开(公告)日:2022-06-28

    申请号:CN202122695391.1

    申请日:2021-11-05

    摘要: 本实用新型涉及一种空间环境5米量级立式自配重辐射屏蔽装置,包括温控屏蔽罩、可调距自润滑轮组机构、隔热平台、基础框架、上辐射屏蔽门、下辐射屏蔽门、正反向真空电机牵引机构和控制模块等;承重芳纶1414纤维绳穿过轮组机构后两端分别与上、下辐射屏蔽门连接;外侧牵引芳纶1414纤维绳连接下辐射屏蔽门和牵引机构,内侧牵引芳纶1414纤维绳连接上辐射屏蔽门和牵引机构;控制模块用于控制温控屏蔽罩的温度以及牵引机构中轮组的正转或者反转,实现辐射屏蔽装置的开门或者关门。本实用新型采用双门自配重结构来解决真空环境下的大动力需求,采用柔性结构克服大温差热胀冷缩变形问题,能够满足5米量级大口径相机定标试验的需求。

    一种新型的Parylene真空镀膜装置

    公开(公告)号:CN216039813U

    公开(公告)日:2022-03-15

    申请号:CN202122548600.X

    申请日:2021-10-22

    IPC分类号: C23C16/54 C23C16/52 C23C16/44

    摘要: 本实用新型涉及一种新型的Parylene真空镀膜装置,包括一体化蒸发裂解室、内置裂解加热器、蒸发区温控器、裂解区保护温控器、镀膜室、低温冷阱系统、真空系统和测控系统等,其中一体化蒸发裂解室分为蒸发区和裂解区,蒸发区和裂解区的外部分别设有蒸发区温控器和裂解区保护温控器;内置裂解加热器的加热部位于一体化蒸发裂解室内,且加热部包括与蒸发区对应的蒸发加热区和与裂解区对应的裂解加热区;一体化蒸发裂解室与镀膜室、低温冷阱系统、真空系统依次连接,测控系统控制一体化蒸发裂解室、镀膜室、低温冷阱系统和真空系统的工作状态。本实用新型有效降低了镀膜设备总长度,减少了设备加热过程的耗时和加热功耗,缩短了镀膜作业时间。

    一种采用半开式沉积罩的聚对二甲苯真空镀膜装置

    公开(公告)号:CN216765031U

    公开(公告)日:2022-06-17

    申请号:CN202220130341.0

    申请日:2022-01-18

    IPC分类号: C23C14/24 C23C14/12

    摘要: 本实用新型涉及一种采用半开式沉积罩的聚对二甲苯真空镀膜装置,包括密封胶圈、真空法兰、半开式沉积罩、流向约束器、真空计、蒸发炉、物料盒、柔性波纹管弯头、裂解炉、放气阀、柔性波纹管、移动机柜、低温冷阱、控制系统和真空泵,其中半开式沉积罩、真空法兰、密封胶圈组合成一体,用于对被镀膜的局部表面进行真空密封,低温冷阱、控制系统和真空泵集成在移动机柜内,两部分通过柔性波纹管连接,提高了镀膜设备的灵活应用性和应用的便捷性。本实用新型将半开式沉积罩和被镀膜的局部平面结合成完整的沉积室,利用局部面积逐次覆盖镀膜来实现大平面或局部平面镀膜的需求,突破了镀膜对不可控沉积空间的限制。

    低水分种子的镀膜贮藏方法及其设备

    公开(公告)号:CN114246026A

    公开(公告)日:2022-03-29

    申请号:CN202111411442.1

    申请日:2021-11-25

    IPC分类号: A01C1/00 A01F25/14 A01F25/13

    摘要: 本发明公开了一种低水分种子的镀膜贮藏方及其设备,包括以下步骤:步骤1:将派瑞林材料放入蒸发室内,所述蒸发室通过管路连接裂解室,将待镀膜的种子放置在沉积室内;步骤2:通过第一管路将所述蒸发室和所述裂解室进行抽真空;步骤3:控制所述蒸发室、裂解室和沉积室达到预设温度;步骤4:当所述蒸发室和裂解室的温度和气压均达到预设值时,通过第二管路将所述沉积室抽真空到预设压力值;步骤5:关闭所述第一管路和所述第二管路,裂解后的派瑞林气体通过第三管路进入所述沉积室开始镀膜。本发明能够减少种子长期暴露在真空环境下的时间,避免过度脱水。

    低水分种子的镀膜贮藏方法及其设备

    公开(公告)号:CN114246026B

    公开(公告)日:2022-08-16

    申请号:CN202111411442.1

    申请日:2021-11-25

    IPC分类号: A01C1/00 A01F25/14 A01F25/13

    摘要: 本发明公开了一种低水分种子的镀膜贮藏方及其设备,包括以下步骤:步骤1:将派瑞林材料放入蒸发室内,所述蒸发室通过管路连接裂解室,将待镀膜的种子放置在沉积室内;步骤2:通过第一管路将所述蒸发室和所述裂解室进行抽真空;步骤3:控制所述蒸发室、裂解室和沉积室达到预设温度;步骤4:当所述蒸发室和裂解室的温度和气压均达到预设值时,通过第二管路将所述沉积室抽真空到预设压力值;步骤5:关闭所述第一管路和所述第二管路,裂解后的派瑞林气体通过第三管路进入所述沉积室开始镀膜。本发明能够减少种子长期暴露在真空环境下的时间,避免过度脱水。

    一种适用于黑匣子的镀膜防护工艺设备

    公开(公告)号:CN218580048U

    公开(公告)日:2023-03-07

    申请号:CN202222202805.7

    申请日:2022-08-22

    摘要: 本实用新型涉及一种适用于黑匣子的镀膜防护工艺设备,包括工件架、真空除气及活化室、预处理室、沉积室等;除尘后的黑匣子组件放置在工件架上,传送辊道带动工件架定向移动;真空除气及活化室用于对黑匣子组件进行等离子清洗和表面活化处理;预处理室用于对活化后的黑匣子组件预蒸镀硅烷耦联合剂;沉积室用于对预蒸镀耦合剂后的黑匣子组件进行聚对二甲苯沉积镀膜,使黑匣子组件表面生成完全覆形、厚度均匀可控且透明的聚对二甲苯防护膜层,从而增强了存储器组件对防水防潮、防盐雾等恶劣特殊环境的抵抗能力,减少隔热材料内部的水气含量,增强隔热效果和表面的固化强度,避免掉粉,同时进一步保护壳体不被化学腐蚀和达到干燥封存的目的。