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公开(公告)号:CN1711623A
公开(公告)日:2005-12-21
申请号:CN200380103500.8
申请日:2003-11-17
申请人: 红杉微系统股份有限公司
CPC分类号: H01L22/20 , B81B7/0012 , B81B2201/054 , B81B2201/058 , B81C99/0045 , B81C2203/038 , F16K99/0001 , F16K99/0015 , F16K99/0034 , F16K99/0036 , F16K99/0059 , F16K2099/0074 , H01L21/02071 , H01L22/24 , H01L22/34
摘要: 用来制造硅器件的润湿通道中的耐腐蚀槽的方法能使该器件与腐蚀性化合物,例如氟一同使用。MEMS器件的润湿通道用(1)耐原子氟侵蚀的有机化合物,或者(2)能被原子氟钝化的材料覆盖。然后,将该器件暴露在当通过等离子体放电活化时分解生成活性氟的气体中。该气体的一个例子是CF4,它是一种比操作挥发性的气体如ClF3要简单和安全的惰性气体。该气体将使所述材料(如果使用的话)钝化,并腐蚀任何露出的硅。以这样一种方式试验该器件:任何润湿通道的不可接受的腐蚀都将导致器件无法工作。如果该器件能正确地操作,则认为所述润湿通道耐氟或耐其它腐蚀性化合物(当它们使用时)的腐蚀。
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公开(公告)号:CN1756876A
公开(公告)日:2006-04-05
申请号:CN200480005760.6
申请日:2004-03-02
申请人: 红杉微系统股份有限公司
IPC分类号: E03B1/00
CPC分类号: F15B13/081 , F15B13/0814 , F15B13/0857 , F15B13/0871 , F15B13/0892 , F15B13/0896 , F16K27/003 , Y10T137/87885
摘要: 一新颖的流体传送系统包括一安装板,其中安装板包括限定安装在安装板上的任何流体控制元件之间的流体流动的若干通道。安装板包括顶板和底板,若干通道被雕刻在顶板的下侧上、并被底板包围。在具有许多流体通道的复杂的流体传送系统中,安装板可以包括一块或多个内板,内板具有雕刻在该内板上的若干附加通道,用于容纳全部流动路径。若干通道在两个或多个方向延伸,用于将两个或多个通气棒/气通道串连接在一起。
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