-
公开(公告)号：CN107036772A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201610115375.1
申请日：2016-03-01
申请人： 昇佳电子股份有限公司
IPC分类号： G01M3/40
CPC分类号： G01P21/00 , B81C99/0045 , G01C19/5783 , G01C25/00 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P2015/0814 , G01P2015/0831 , G01M3/40
摘要： 本发明公开了一种判断一微机电系统装置是否气密的方法。该方法包含有施加至少三电压差于该微机电系统装置的一可动元件与一感应电极间，以量测至少三等效电容值；根据该至少三等效电容值，计算该微机电系统装置一电容值对电压曲线及一偏移电压；以及判断该偏移电压是否落在一预设范围内，以判断该微机电系统装置为是否为气密。
-
公开(公告)号：CN104620605B
公开(公告)日：2018-03-30
申请号：CN201380047697.1
申请日：2013-09-12
申请人： 罗伯特·博世有限公司
CPC分类号： H04R29/004 , B81C99/0045 , G01H3/005 , H04R2201/003 , H04R2410/03
摘要： 用于测试麦克风封装的方法和系统被教导‑包括测量对于该封装的非声学噪声。封装定位器保持麦克风封装，从而使麦克风封装的声学输入端口与插塞对准。致动器将插塞相对于麦克风封装在第一位置和第二位置之间移动，在所述第一位置，插塞不阻挡麦克风封装的声学输入端口，在所述第二位置，插塞阻挡声学输入端口并限制声压通过声学输入端口进入麦克风封装。控制器监测麦克风封装的输出并在插塞处于第二位置时将该输出识别为隔离的非声学噪声的指示。
-
公开(公告)号：CN102037331B
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN200980104856.0
申请日：2009-02-05
申请人： 高通MEMS科技公司
发明人： 阿洛科·戈维尔
IPC分类号： G01D5/241
CPC分类号： G01D5/2417 , B81B2201/042 , B81C99/0045 , G01R31/2829 , G01R31/2837
摘要： 本发明描述用以表征干涉式调制器或类似装置的各种方法。干涉式调制器上测得的电压可用于表征所述干涉式调制器的转变电压。可通过对测得的电流的积分来分析测得的电流以提供所述干涉式调制器的动态响应的指示。可使用频率分析来提供所述干涉式调制器的滞后窗或所述干涉式调制器的机械性质的指示。可通过信号相关来确定电容，且可使用扩展频谱分析来使噪声或干扰对各种干涉式调制器参数的测量的影响最小化。
-
公开(公告)号：CN103373696A
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201310141828.4
申请日：2013-04-23
申请人： 英飞凌科技股份有限公司
CPC分类号： H03K3/01 , B81C1/0023 , B81C99/0045 , H01L2924/16151 , H01L2924/16152 , H03G3/3005 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R29/006 , H04R2201/003
摘要： 公开了封装的MEMS器件和用于对封装的MEMS器件进行校准的方法。在一个实施例中，封装的MEMS器件包括载体、设置在基板上的MEMS器件、设置在载体上的信号处理器件、设置在载体上的确认电路；以及设置在载体上的密封，其中，该密封将MEMS器件、信号处理器件和存储元件密封。
-
公开(公告)号：CN101970340A
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：CN200980104858.X
申请日：2009-02-06
申请人： 高通MEMS科技公司
发明人： 阿洛科·戈维尔 , 科斯塔丁·乔尔杰夫 , 艾伦·刘易斯 , 威廉默斯·约翰尼斯·罗伯特斯·范利尔
IPC分类号： B81C5/00
CPC分类号： B81C99/0045 , B81B2201/042 , G01R19/0046 , G02B26/001 , G09G3/006 , G09G3/346 , G09G5/003 , G09G2310/061 , G09G2320/0693
摘要： 本发明揭示用以测量MEMS装置的阈值电压的方法和装置。所述阈值电压是基于使所述装置改变状态的测试电压。通过监视用于驱动所述测试电压的经积分的电流或电荷来检测所述装置的状态改变。
-
公开(公告)号：CN1711623A
公开(公告)日：2005-12-21
申请号：CN200380103500.8
申请日：2003-11-17
申请人： 红杉微系统股份有限公司
CPC分类号： H01L22/20 , B81B7/0012 , B81B2201/054 , B81B2201/058 , B81C99/0045 , B81C2203/038 , F16K99/0001 , F16K99/0015 , F16K99/0034 , F16K99/0036 , F16K99/0059 , F16K2099/0074 , H01L21/02071 , H01L22/24 , H01L22/34
摘要： 用来制造硅器件的润湿通道中的耐腐蚀槽的方法能使该器件与腐蚀性化合物，例如氟一同使用。MEMS器件的润湿通道用(1)耐原子氟侵蚀的有机化合物，或者(2)能被原子氟钝化的材料覆盖。然后，将该器件暴露在当通过等离子体放电活化时分解生成活性氟的气体中。该气体的一个例子是CF4，它是一种比操作挥发性的气体如ClF3要简单和安全的惰性气体。该气体将使所述材料(如果使用的话)钝化，并腐蚀任何露出的硅。以这样一种方式试验该器件：任何润湿通道的不可接受的腐蚀都将导致器件无法工作。如果该器件能正确地操作，则认为所述润湿通道耐氟或耐其它腐蚀性化合物(当它们使用时)的腐蚀。
-
公开(公告)号：CN104620606B
公开(公告)日：2018-03-30
申请号：CN201380047789.X
申请日：2013-09-12
申请人： 罗伯特·博世有限公司
CPC分类号： G01N29/14 , B81C99/0045 , B81C99/005 , H04R29/004 , H04R2201/003
摘要： 一种用于测试MEMS压力传感器装置、例如MEMS麦克风封装的方法。所述MEMS压力传感器装置包括定位在壳体内的压力传感器和用于从壳体外部向所述压力传感器引导声压的压力入口。激活声压源并且将来自所述声压源的声压引导到所述压力入口并且引导到所述壳体的除所述压力入口以外的外部位置。根据所述压力传感器的输出信号确定是否存在允许声压通过所述壳体外部在除所述压力入口以外的位置处到达所述压力传感器的一些缺陷。
-
公开(公告)号：CN103998894B
公开(公告)日：2017-12-05
申请号：CN201280059912.5
申请日：2012-12-03
申请人： 萨甘安全防护公司
发明人： A·金洛伊
IPC分类号： G01C19/574
CPC分类号： G01C19/574 , B81B3/0021 , B81B7/02 , B81C99/0025 , B81C99/003 , B81C99/0045
摘要： MEMS类型的惯性角传感器，包括：至少两个质块(2)的支承件(1)，这些质块被安装成能相对于支承件移动；至少一个静电致动器(3)；以及至少一个静电检测器(4)。这些质块(2)被悬挂在框架(6)中，该框架(6)本身通过悬挂装置连接到支承件。致动器和检测器被设计成分别产生和检测这些质块的振动。用于使此类传感器平衡的方法，该传感器提供有至少一个负载检测器以及至少一个静电弹簧(8)，至少一个负载检测器被安装在框架和支承件之间，并且至少一个静电弹簧被放置在框架和质块之一之间并根据负载传感器的测量信号被役使以便确保该传感器的动态平衡。
-
公开(公告)号：CN104620606A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201380047789.X
申请日：2013-09-12
申请人： 罗伯特·博世有限公司
CPC分类号： G01N29/14 , B81C99/0045 , B81C99/005 , H04R29/004 , H04R2201/003
摘要： 一种用于测试MEMS压力传感器装置、例如MEMS麦克风封装的方法。所述MEMS压力传感器装置包括定位在壳体内的压力传感器和用于从壳体外部向所述压力传感器引导声压的压力入口。激活声压源并且将来自所述声压源的声压引导到所述压力入口并且引导到所述壳体的除所述压力入口以外的外部位置。根据所述压力传感器的输出信号确定是否存在允许声压通过所述壳体外部在除所述压力入口以外的位置处到达所述压力传感器的一些缺陷。
-
公开(公告)号：CN103150985A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201310048762.4
申请日：2009-02-06
申请人： 高通MEMS科技公司
发明人： 阿洛科·戈维尔 , 科斯塔丁·乔尔杰夫 , 艾伦·刘易斯 , 威廉默斯·约翰尼斯·罗伯特斯·范利尔
CPC分类号： B81C99/0045 , B81B2201/042 , G01R19/0046 , G02B26/001 , G09G3/006 , G09G3/346 , G09G5/003 , G09G2310/061 , G09G2320/0693
摘要： 本发明揭示用以测量MEMS装置的阈值电压的方法和装置。所述阈值电压是基于使所述装置改变状态的测试电压。通过监视用于驱动所述测试电压的经积分的电流或电荷来检测所述装置的状态改变。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
23 条记录 (耗时 0.018 秒)