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公开(公告)号：CN102881550B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201210241887.4
申请日：2012-07-12
申请人： 三星显示有限公司
CPC分类号： C23C16/45542 , C23C16/45551 , C23C16/4587
摘要： 一种用于有效地执行沉积工艺以在基底上形成具有改善特性的薄膜的气相沉积装置和方法以及一种制造有机发光显示装置的方法。气相沉积装置包括：室，包括排放口；架台，设置在室内，并包括将基底设置在其上的安装表面；注入部分，包括至少一个注入开口，通过所述至少一个注入开口沿与基底的将形成有薄膜的表面平行的方向注入气体；等离子体发生器，设置成与基底分开并面向基底。
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公开(公告)号：CN102136551B
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201010578319.4
申请日：2010-12-01
申请人： 三星显示有限公司
IPC分类号： H01L51/52 , H01L27/32 , H01L51/56 , C08L101/00
CPC分类号： H01L51/0097 , H01L51/003 , H01L51/5237 , H01L2251/5338 , H01L2251/55 , Y02E10/549 , Y02P70/521
摘要： 公开了一种聚合物基板及形成方法和含该基板的显示设备及制造方法，所述聚合物基板在范围从大约420℃到大约600℃的温度下具有基于初始重量的小于大约1％的重量损失。所述用于形成聚合物基板的方法包括制备聚合物层并且在大于大约350℃的温度下对所述聚合物层执行退火工艺。
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公开(公告)号：CN102881550A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201210241887.4
申请日：2012-07-12
申请人： 三星显示有限公司
CPC分类号： C23C16/45542 , C23C16/45551 , C23C16/4587
摘要： 一种用于有效地执行沉积工艺以在基底上形成具有改善特性的薄膜的气相沉积装置和方法以及一种制造有机发光显示装置的方法。气相沉积装置包括：室，包括排放口；架台，设置在室内，并包括将基底设置在其上的安装表面；注入部分，包括至少一个注入开口，通过所述至少一个注入开口沿与基底的将形成有薄膜的表面平行的方向注入气体；等离子体发生器，设置成与基底分开并面向基底。
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公开(公告)号：CN202808936U
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201220338482.8
申请日：2012-07-12
申请人： 三星显示有限公司
IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/50 , C23C16/455 , C23C16/458
CPC分类号： C23C16/45542 , C23C16/45551 , C23C16/4587
摘要： 一种用于有效地执行沉积工艺以在基底上形成具有改善特性的薄膜的气相沉积装置。气相沉积装置包括：室，包括排放口；架台，设置在室内，并包括将基底设置在其上的安装表面；注入部分，包括至少一个注入开口，通过所述至少一个注入开口沿与基底的将形成有薄膜的表面平行的方向注入气体；等离子体发生器，设置成与基底分开并面向基底。
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