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公开(公告)号：CN102881550B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201210241887.4
申请日：2012-07-12
申请人： 三星显示有限公司
CPC分类号： C23C16/45542 , C23C16/45551 , C23C16/4587
摘要： 一种用于有效地执行沉积工艺以在基底上形成具有改善特性的薄膜的气相沉积装置和方法以及一种制造有机发光显示装置的方法。气相沉积装置包括：室，包括排放口；架台，设置在室内，并包括将基底设置在其上的安装表面；注入部分，包括至少一个注入开口，通过所述至少一个注入开口沿与基底的将形成有薄膜的表面平行的方向注入气体；等离子体发生器，设置成与基底分开并面向基底。
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公开(公告)号：CN102851648A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201210127050.7
申请日：2012-04-26
申请人： 三星显示有限公司
IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/455 , H01L51/56
CPC分类号： C23C16/4412 , C23C16/45551 , C23C16/45563 , H01L51/5253
摘要： 公开了一种原子层沉积设备、一种使用该原子层沉积设备密封有机发光装置的方法以及一种用于沉积的喷嘴组。在一个实施例中，该原子层沉积设备改进了吹扫气体注射喷嘴的结构，从而提高原子层沉积工艺中的吹扫气体的排出效率，这提高了吹扫工艺的速度。因此，当通过使用该原子层沉积设备来实施用于密封有机发光装置的密封工艺时，可以提高沉积速度和密封膜的质量。
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公开(公告)号：CN102881548A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201210180420.3
申请日：2012-06-04
申请人： 三星显示有限公司
CPC分类号： C23C16/042 , C23C16/45544 , C23C16/45563 , C23C16/4587 , H01L51/001
摘要： 本发明公开了气相沉积装置和方法以及制造有机发光显示装置的方法。该气相沉积装置能够执行薄膜沉积工艺并改善形成的薄膜的特性，并且该气相沉积装置包括：室，具有排放开口；架台，位于室内，并包括多个安装表面，所述多个基底可安装在所述多个安装表面上；注入单元，具有至少一个注入开口，所述至少一个注入开口将气体沿与所述多个基底的表面平行的方向注入到室中。
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公开(公告)号：CN102851648B
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201210127050.7
申请日：2012-04-26
申请人： 三星显示有限公司
IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/455 , H01L51/56
CPC分类号： C23C16/4412 , C23C16/45551 , C23C16/45563 , H01L51/5253
摘要： 公开了一种原子层沉积设备、一种使用该原子层沉积设备密封有机发光装置的方法以及一种用于沉积的喷嘴组。在一个实施例中，该原子层沉积设备改进了吹扫气体注射喷嘴的结构，从而提高原子层沉积工艺中的吹扫气体的排出效率，这提高了吹扫工艺的速度。因此，当通过使用该原子层沉积设备来实施用于密封有机发光装置的密封工艺时，可以提高沉积速度和密封膜的质量。
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公开(公告)号：CN102054935B
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201010226620.9
申请日：2010-07-08
申请人： 三星显示有限公司
发明人： 金镇圹
CPC分类号： H01L51/5203 , H01L27/3206 , H01L51/5209 , H01L2251/5361 , H01L2251/5392
摘要： 本发明公开了一种有机发光二极管照明装置。该装置包括多条电极线和柔性印刷电路板(FPCB)，多条电极线将电流提供给多个发光二极管或从发光二极管提供电流，柔性印刷电路板(FPCB)具有通过多个接触孔电连接到多条电极线的多条连接线。在一些实施例中，FPCB具有用于每个电极线的熔丝。
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公开(公告)号：CN102877039A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201210102038.0
申请日：2012-04-09
申请人： 三星显示有限公司
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/458 , H05B33/10 , H01L51/56
CPC分类号： C23C16/042 , C23C16/45551 , C23C16/45589 , C23C16/4587 , H01L27/3244 , H01L51/001 , H05B33/10
摘要： 本发明提供了一种能够执行薄膜沉积工艺并提高所形成的薄膜的特性的气相沉积装置、一种气相沉积方法和一种制造有机发光显示装置的方法，所述气相沉积装置包括：室，具有排放开口；架台，设置在所述室内，并包括安装表面，所述基底可以安装在所述安装表面上；注入单元，具有至少一个注入开口，所述至少一个注入开口用于将气体沿与所述基底的其上将形成所述薄膜的表面平行的方向注入到所述室内；引导构件，面向所述基底，以在所述基底和所述引导构件之间提供设定的或预定的空间；驱动单元，用于传送所述架台和所述引导构件。
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公开(公告)号：CN102877039B
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201210102038.0
申请日：2012-04-09
申请人： 三星显示有限公司
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/458 , H05B33/10 , H01L51/56
CPC分类号： C23C16/042 , C23C16/45551 , C23C16/45589 , C23C16/4587 , H01L27/3244 , H01L51/001 , H05B33/10
摘要： 本发明提供了一种能够执行薄膜沉积工艺并提高所形成的薄膜的特性的气相沉积装置、一种气相沉积方法和一种制造有机发光显示装置的方法，所述气相沉积装置包括：室，具有排放开口；架台，设置在所述室内，并包括安装表面，所述基底可以安装在所述安装表面上；注入单元，具有至少一个注入开口，所述至少一个注入开口用于将气体沿与所述基底的其上将形成所述薄膜的表面平行的方向注入到所述室内；引导构件，面向所述基底，以在所述基底和所述引导构件之间提供设定的或预定的空间；驱动单元，用于传送所述架台和所述引导构件。
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公开(公告)号：CN102881548B
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201210180420.3
申请日：2012-06-04
申请人： 三星显示有限公司
CPC分类号： C23C16/042 , C23C16/45544 , C23C16/45563 , C23C16/4587 , H01L51/001
摘要： 本发明公开了气相沉积装置和方法以及制造有机发光显示装置的方法。该气相沉积装置能够执行薄膜沉积工艺并改善形成的薄膜的特性，并且该气相沉积装置包括：室，具有排放开口；架台，位于室内，并包括多个安装表面，所述多个基底可安装在所述多个安装表面上；注入单元，具有至少一个注入开口，所述至少一个注入开口将气体沿与所述多个基底的表面平行的方向注入到室中。
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公开(公告)号：CN102881550A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201210241887.4
申请日：2012-07-12
申请人： 三星显示有限公司
CPC分类号： C23C16/45542 , C23C16/45551 , C23C16/4587
摘要： 一种用于有效地执行沉积工艺以在基底上形成具有改善特性的薄膜的气相沉积装置和方法以及一种制造有机发光显示装置的方法。气相沉积装置包括：室，包括排放口；架台，设置在室内，并包括将基底设置在其上的安装表面；注入部分，包括至少一个注入开口，通过所述至少一个注入开口沿与基底的将形成有薄膜的表面平行的方向注入气体；等离子体发生器，设置成与基底分开并面向基底。
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公开(公告)号：CN202808936U
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201220338482.8
申请日：2012-07-12
申请人： 三星显示有限公司
IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/50 , C23C16/455 , C23C16/458
CPC分类号： C23C16/45542 , C23C16/45551 , C23C16/4587
摘要： 一种用于有效地执行沉积工艺以在基底上形成具有改善特性的薄膜的气相沉积装置。气相沉积装置包括：室，包括排放口；架台，设置在室内，并包括将基底设置在其上的安装表面；注入部分，包括至少一个注入开口，通过所述至少一个注入开口沿与基底的将形成有薄膜的表面平行的方向注入气体；等离子体发生器，设置成与基底分开并面向基底。
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