公开(公告)号：CN102560336B

公开(公告)日：2016-12-07

申请号：CN201110422163.5

申请日：2011-12-09

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 申义信 ,  朴宰奭 ,  曹永根 ,  金玗冬 ,  金圭范 ,  许晸宇

IPC分类号： C23C14/04 ,  C23C16/04

CPC分类号： G03F1/00 ,  C23C14/042 ,  H01L51/0011 ,  Y10T29/49826 ,  Y10T156/10

摘要： 公开了采用多个条状分割掩模板的掩模板框架组装件。公开的掩模板框架组装件包括多个分割掩模板，所述多个分割掩模板具有与单位画面对应的、用于沉积的图案，各个分割掩模板被形成为，多个部分掩模板得以结合以形成与单位画面对应的用于沉积的图案。根据这种结构，可以在未增加蚀刻误差的负担的情况下简单地制造能够容纳与大型画面对应的图案的分割掩模板。

公开(公告)号：CN111468820A

公开(公告)日：2020-07-31

申请号：CN202010060932.0

申请日：2020-01-19

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 郑昇桓 ,  金硕焕 ,  丁祥玄 ,  金玗冬 ,  金在一 ,  丁一荣 ,  韩种吉

IPC分类号： B23K26/00 ,  B23K26/046 ,  B23K26/70

摘要： 提供了用于激光加工的设备及用于补偿其误差的方法。该用于激光加工的设备包括支承衬底的台和生成误差补偿表的控制器、使台移动的电机驱动器和生成用于补偿误差的表的误差补偿单元。误差补偿单元包括：布置在台上的栅格板和对栅格板进行成像的成像单元。电机驱动器根据台的位置将位置同步信号输出到成像单元。成像单元从电机驱动器接收位置同步信号，并且在使台移动期间对栅格板进行成像。