公开(公告)号：CN102560336B

公开(公告)日：2016-12-07

申请号：CN201110422163.5

申请日：2011-12-09

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 申义信 ,  朴宰奭 ,  曹永根 ,  金玗冬 ,  金圭范 ,  许晸宇

IPC分类号： C23C14/04 ,  C23C16/04

CPC分类号： G03F1/00 ,  C23C14/042 ,  H01L51/0011 ,  Y10T29/49826 ,  Y10T156/10

摘要： 公开了采用多个条状分割掩模板的掩模板框架组装件。公开的掩模板框架组装件包括多个分割掩模板，所述多个分割掩模板具有与单位画面对应的、用于沉积的图案，各个分割掩模板被形成为，多个部分掩模板得以结合以形成与单位画面对应的用于沉积的图案。根据这种结构，可以在未增加蚀刻误差的负担的情况下简单地制造能够容纳与大型画面对应的图案的分割掩模板。

公开(公告)号：CN102094167B

公开(公告)日：2015-04-01

申请号：CN201010589194.5

申请日：2010-12-10

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 金俊亨 ,  曹永根 ,  申义信 ,  金钟宪 ,  崔丞镐 ,  卢喆来 ,  曹昌睦 ,  朴宰奭

IPC分类号： C23C14/04 ,  C23C14/24 ,  B23K26/24

CPC分类号： B23K26/402 ,  B23K26/032 ,  B23K26/066 ,  B23K26/0661 ,  B23K26/702 ,  B23K2103/50 ,  H01L51/0011

摘要： 本发明提供了一种用于蒸发的掩模以及一种用于制造该掩模的方法和装置。该掩模包括第一分离掩模和第二分离掩模。第一分离掩模和第二分离掩模通过焊接彼此直接结合，由此在第一分离掩模和第二分离掩模之间形成焊接部分。根据实施例的分离掩模不使用子框架，并且通过焊接彼此直接结合，从而不发生阴影效应。用于制造用于蒸发的掩模的装置包括：工作台；夹具，将第一分离掩模和第二分离掩模固定到工作台；激光焊接部分，将第一分离掩模焊接到第二分离掩模。所述装置还可以包括引导激光焊接部分的第一辊和跟随激光焊接部分的第二辊。