激光晶化装置
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109676244B

    公开(公告)日:2022-06-07

    申请号:CN201811208687.2

    申请日:2018-10-17

    摘要: 本发明涉及一种激光晶化装置,根据本发明的实施例的激光晶化装置包括:光源部,产生激光束形态的多束输入光;光学系统,将从所述光源部接收的所述输入光转换为至少一束输出光;以及台面,安置有对象基板,并且被照射所述输出光,所述光学系统包括:混合部,将入射的光分割及混合;第一偏光调制部,在光路径上布置于所述光源部以及所述混合部之间;加工部,在所述光路径上布置于所述混合部的后方,并且形成所述输出光;以及第二偏光调制部,在所述光路径上布置于所述加工部以及所述混合部之间,并包括至少一个四分之一波长板。

    激光晶化装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109676244A

    公开(公告)日:2019-04-26

    申请号:CN201811208687.2

    申请日:2018-10-17

    摘要: 本发明涉及一种激光晶化装置,根据本发明的实施例的激光晶化装置包括:光源部,产生激光束形态的多束输入光;光学系统,将从所述光源部接收的所述输入光转换为至少一束输出光;以及台面,安置有对象基板,并且被照射所述输出光,所述光学系统包括:混合部,将入射的光分割及混合;第一偏光调制部,在光路径上布置于所述光源部以及所述混合部之间;加工部,在所述光路径上布置于所述混合部的后方,并且形成所述输出光;以及第二偏光调制部,在所述光路径上布置于所述加工部以及所述混合部之间,并包括至少一个四分之一波长板。

    干燥检测装置及利用干燥检测装置的干燥检测方法

    公开(公告)号:CN115144393A

    公开(公告)日:2022-10-04

    申请号:CN202210321169.1

    申请日:2022-03-24

    IPC分类号: G01N21/84 G01N21/01 G02B7/28

    摘要: 本发明提供干燥检测装置及利用干燥检测装置的干燥检测方法。干燥检测装置包括:腔室;台,布置在所述腔室的内部,并且支承被检测体;光学检测装置,布置在所述腔室的外部,并且测量所述被检测体上的处理液的干燥状态;压力测量部,测量所述腔室的内部的压力;以及控制部,根据由所述压力测量部测量的腔室的内部的压力来控制所述光学检测装置的驱动。

    制造显示设备的装置和方法
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114551316A

    公开(公告)日:2022-05-27

    申请号:CN202111339888.8

    申请日:2021-11-12

    IPC分类号: H01L21/68 H01L33/00 H01L27/15

    摘要: 本申请涉及用于制造显示设备的装置和方法。用于制造显示设备的装置包括:台;第一电场施加模块,包括第一探针引脚并且设置在台的第一侧上;光照射模块,包括发光元件并且设置在台上方;以及第一电压输出模块,输出驱动发光元件的发射驱动信号,向第一探针引脚中的一个输出第一对准信号,并且向第一探针引脚中的另一个输出第二对准信号。

    干燥检测装置
    9.
    实用新型

    公开(公告)号:CN217605665U

    公开(公告)日:2022-10-18

    申请号:CN202220677231.6

    申请日:2022-03-24

    IPC分类号: G01N21/84 G01N21/01 G02B7/28

    摘要: 本实用新型提供干燥检测装置。干燥检测装置包括:腔室;光学检测装置,布置在所述腔室的外部,并且测量布置于所述腔室的内部的被检测体上的处理液的干燥状态;压力测量部,测量所述腔室的内部的压力;以及控制部,根据由所述压力测量部测量的腔室的内部的压力来控制所述光学检测装置的驱动。