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公开(公告)号:CN109676244B
公开(公告)日:2022-06-07
申请号:CN201811208687.2
申请日:2018-10-17
申请人: 三星显示有限公司
IPC分类号: B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/53 , H01L21/02 , H01L21/268
摘要: 本发明涉及一种激光晶化装置,根据本发明的实施例的激光晶化装置包括:光源部,产生激光束形态的多束输入光;光学系统,将从所述光源部接收的所述输入光转换为至少一束输出光;以及台面,安置有对象基板,并且被照射所述输出光,所述光学系统包括:混合部,将入射的光分割及混合;第一偏光调制部,在光路径上布置于所述光源部以及所述混合部之间;加工部,在所述光路径上布置于所述混合部的后方,并且形成所述输出光;以及第二偏光调制部,在所述光路径上布置于所述加工部以及所述混合部之间,并包括至少一个四分之一波长板。
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公开(公告)号:CN115224163A
公开(公告)日:2022-10-21
申请号:CN202210320311.0
申请日:2022-03-29
申请人: 三星显示有限公司
摘要: 提供一种显示装置的制造装置及制造方法。显示装置的制造装置包括:台架;电压输出部,生成并输出电场信号;放大器,放大所述电场信号;电场施加部,将从所述放大器接收的电场信号供应至布置在所述台架上的面板单元;开关部,将所述放大器连接到所述电场施加部;以及测量部,计算所述开关部及所述电场施加部的等效电路参数。
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公开(公告)号:CN109676244A
公开(公告)日:2019-04-26
申请号:CN201811208687.2
申请日:2018-10-17
申请人: 三星显示有限公司
IPC分类号: B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/53 , H01L21/02 , H01L21/268
摘要: 本发明涉及一种激光晶化装置,根据本发明的实施例的激光晶化装置包括:光源部,产生激光束形态的多束输入光;光学系统,将从所述光源部接收的所述输入光转换为至少一束输出光;以及台面,安置有对象基板,并且被照射所述输出光,所述光学系统包括:混合部,将入射的光分割及混合;第一偏光调制部,在光路径上布置于所述光源部以及所述混合部之间;加工部,在所述光路径上布置于所述混合部的后方,并且形成所述输出光;以及第二偏光调制部,在所述光路径上布置于所述加工部以及所述混合部之间,并包括至少一个四分之一波长板。
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公开(公告)号:CN102094167B
公开(公告)日:2015-04-01
申请号:CN201010589194.5
申请日:2010-12-10
申请人: 三星显示有限公司
CPC分类号: B23K26/402 , B23K26/032 , B23K26/066 , B23K26/0661 , B23K26/702 , B23K2103/50 , H01L51/0011
摘要: 本发明提供了一种用于蒸发的掩模以及一种用于制造该掩模的方法和装置。该掩模包括第一分离掩模和第二分离掩模。第一分离掩模和第二分离掩模通过焊接彼此直接结合,由此在第一分离掩模和第二分离掩模之间形成焊接部分。根据实施例的分离掩模不使用子框架,并且通过焊接彼此直接结合,从而不发生阴影效应。用于制造用于蒸发的掩模的装置包括:工作台;夹具,将第一分离掩模和第二分离掩模固定到工作台;激光焊接部分,将第一分离掩模焊接到第二分离掩模。所述装置还可以包括引导激光焊接部分的第一辊和跟随激光焊接部分的第二辊。
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公开(公告)号:CN115144393A
公开(公告)日:2022-10-04
申请号:CN202210321169.1
申请日:2022-03-24
申请人: 三星显示有限公司
摘要: 本发明提供干燥检测装置及利用干燥检测装置的干燥检测方法。干燥检测装置包括:腔室;台,布置在所述腔室的内部,并且支承被检测体;光学检测装置,布置在所述腔室的外部,并且测量所述被检测体上的处理液的干燥状态;压力测量部,测量所述腔室的内部的压力;以及控制部,根据由所述压力测量部测量的腔室的内部的压力来控制所述光学检测装置的驱动。
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公开(公告)号:CN114551316A
公开(公告)日:2022-05-27
申请号:CN202111339888.8
申请日:2021-11-12
申请人: 三星显示有限公司
摘要: 本申请涉及用于制造显示设备的装置和方法。用于制造显示设备的装置包括:台;第一电场施加模块,包括第一探针引脚并且设置在台的第一侧上;光照射模块,包括发光元件并且设置在台上方;以及第一电压输出模块,输出驱动发光元件的发射驱动信号,向第一探针引脚中的一个输出第一对准信号,并且向第一探针引脚中的另一个输出第二对准信号。
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公开(公告)号:CN102560336B
公开(公告)日:2016-12-07
申请号:CN201110422163.5
申请日:2011-12-09
申请人: 三星显示有限公司
CPC分类号: G03F1/00 , C23C14/042 , H01L51/0011 , Y10T29/49826 , Y10T156/10
摘要: 公开了采用多个条状分割掩模板的掩模板框架组装件。公开的掩模板框架组装件包括多个分割掩模板,所述多个分割掩模板具有与单位画面对应的、用于沉积的图案,各个分割掩模板被形成为,多个部分掩模板得以结合以形成与单位画面对应的用于沉积的图案。根据这种结构,可以在未增加蚀刻误差的负担的情况下简单地制造能够容纳与大型画面对应的图案的分割掩模板。
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