公开(公告)号：CN109390245B

公开(公告)日：2024-03-12

申请号：CN201810902836.9

申请日：2018-08-09

申请人： 三星电子株式会社

发明人： 朴民哲 ,  高汀勳 ,  朴志庸 ,  李济铉 ,  金大新

IPC分类号： H01L21/66 ,  G06V10/774 ,  G06V10/764 ,  G06T7/00

摘要： 一种使用晶片图分析器分析晶片图的方法包括：产生多个第一晶片图，所述多个第一晶片图各自显示出对于多个信道中的对应信道而言第一晶片的特性。对所述多个第一晶片图一同进行自动编码以提取第一特征。所述方法还包括：判断所述第一特征是否是是有效图案；在所述第一特征是有效图案时，基于非监督学习对所述第一特征的类型进行分类；以及提取被分类成与所述第一特征同一类型的特征的代表性图像。

公开(公告)号：CN109390245A

公开(公告)日：2019-02-26

申请号：CN201810902836.9

申请日：2018-08-09

申请人： 三星电子株式会社

发明人： 朴民哲 ,  高汀勳 ,  朴志庸 ,  李济铉 ,  金大新

IPC分类号： H01L21/66 ,  G06K9/62 ,  G06T7/00

摘要： 一种使用晶片图分析器分析晶片图的方法包括：产生多个第一晶片图，所述多个第一晶片图各自显示出对于多个信道中的对应信道而言第一晶片的特性。对所述多个第一晶片图一同进行自动编码以提取第一特征。所述方法还包括：判断所述第一特征是否是是有效图案；在所述第一特征是有效图案时，基于非监督学习对所述第一特征的类型进行分类；以及提取被分类成与所述第一特征同一类型的特征的代表性图像。