公开(公告)号：CN1743935A

公开(公告)日：2006-03-08

申请号：CN200510113265.3

申请日：2005-09-05

申请人： 三星电子株式会社

发明人： 边宰成 ,  姜镐民 ,  李仁成 ,  闵勋基 ,  洪性秀 ,  安基完

IPC分类号： G02F1/1368 ,  H01L29/786

CPC分类号： G02F1/1368 ,  G02F1/136213 ,  G02F1/136227 ,  G02F2001/13629 ,  H01L27/12 ,  H01L27/124

摘要： 一种显示器件的基板包括绝缘基板、数据线、绝缘层和像素电极。该绝缘基板具有开关元件。数据线形成于该绝缘基板上，以电连接到该开关元件的第一电极。该绝缘层形成于具有该开关元件和该数据线的绝缘基板上。该绝缘层具有部分暴露该开关元件的第二电极的接触孔和与该数据线相邻的槽。该像素电极形成于该绝缘层上，通过该接触孔电连接到第二电极。因此，图像显示质量可以得到提高，并且LCD器件的制造成本可以得到降低。

公开(公告)号：CN1828886A

公开(公告)日：2006-09-06

申请号：CN200610006610.8

申请日：2006-01-26

申请人： 三星电子株式会社

发明人： 许成权 ,  闵勋基 ,  姜镐民 ,  李仁成 ,  洪性秀 ,  安基完

IPC分类号： H01L23/532 ,  H01L27/12 ,  H01L21/84 ,  H01L21/283 ,  H01L21/768

CPC分类号： H01L29/458 ,  G02F2001/136295 ,  H01L27/12 ,  H01L27/124 ,  H01L27/3279

摘要： 本发明涉及一种用于提供包括铜合金的信号线的系统和技术，所述铜合金包括钼、钨和铬中的至少一种。本公开提供薄膜晶体管阵列面板，包括：绝缘基板；形成在该绝缘基板上的栅极线；形成在该栅极线上的栅极绝缘层；形成在该栅极绝缘层上的半导体层；形成在该栅极绝缘层和该半导体层上的欧姆接触；具有形成在该欧姆接触之一上且具有比其下的欧姆接触窄的宽度的源极电极的数据线；以其间一间隙对着该源极电极且具有比其下的欧姆接触窄的宽度的漏极电极；以及连接至所述漏极电极的象素电极，其中所述栅极线和所述数据线中的至少一种包括Cu合金，所述Cu合金包括Cu以及选自含有钼(Mo)、钨(W)和铬(Cr)的组的一种。

公开(公告)号：CN1987570B

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN200610064054.X

申请日：2006-12-19

申请人： 三星电子株式会社

发明人： 姜镐民 ,  闵勋基 ,  沈承焕 ,  洪性秀 ,  朴鲜 ,  许成权

IPC分类号： G02F1/133 ,  G02F1/1362 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26 ,  H01L21/027 ,  H01L21/00 ,  C01B31/00

CPC分类号： H05K3/388 ,  H01L21/76841 ,  H01L27/124 ,  H01L29/4908 ,  H05K2201/0323 ,  Y10T428/2933

摘要： 在一种金属线路、形成该金属线路的方法、具有该金属线路的显示器基板以及该显示器基板的制造方法中，金属线路包括金属膜和第一无定形碳膜，其中所述第一无定形碳膜的由所述金属膜暴露的部分在去除光致抗蚀剂图案的同时被去除。金属膜利用含铜材料形成在基片上，第一无定形碳膜形成在金属膜下面。形成包括无定形碳膜的金属线路的方法可以大大地简化，并且可以防止或减少在金属线路中产生缺陷。

公开(公告)号：CN100521189C

公开(公告)日：2009-07-29

申请号：CN200610006610.8

申请日：2006-01-26

申请人： 三星电子株式会社

发明人： 许成权 ,  闵勋基 ,  姜镐民 ,  李仁成 ,  洪性秀 ,  安基完

IPC分类号： H01L23/532 ,  H01L27/12 ,  H01L21/84 ,  H01L21/283 ,  H01L21/768

CPC分类号： H01L29/458 ,  G02F2001/136295 ,  H01L27/12 ,  H01L27/124 ,  H01L27/3279

摘要： 本发明涉及一种用于提供包括铜合金的信号线的系统和技术，所述铜合金包括钼、钨和铬中的至少一种。本公开提供薄膜晶体管阵列面板，包括：绝缘基板；形成在该绝缘基板上的栅极线；形成在该栅极线上的栅极绝缘层；形成在该栅极绝缘层上的半导体层；形成在该栅极绝缘层和该半导体层上的欧姆接触；具有形成在该欧姆接触之一上且具有比其下的欧姆接触窄的宽度的源极电极的数据线；以其间一间隙对着该源极电极且具有比其下的欧姆接触窄的宽度的漏极电极；以及连接至所述漏极电极的像素电极，其中所述栅极线和所述数据线中的至少一种包括Cu合金，所述Cu合金包括Cu以及选自含有钼(Mo)、钨(W)和铬(Cr)的组的一种。

公开(公告)号：CN1987570A

公开(公告)日：2007-06-27

申请号：CN200610064054.X

申请日：2006-12-19

申请人： 三星电子株式会社

发明人： 姜镐民 ,  闵勋基 ,  沈承焕 ,  洪性秀 ,  朴鲜 ,  许成权

IPC分类号： G02F1/133 ,  G02F1/1362 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26 ,  H01L21/027 ,  H01L21/00 ,  C01B31/00

CPC分类号： H05K3/388 ,  H01L21/76841 ,  H01L27/124 ,  H01L29/4908 ,  H05K2201/0323 ,  Y10T428/2933

摘要： 在一种金属线路、形成该金属线路的方法、具有该金属线路的显示器基板以及该显示器基板的制造方法中，金属线路包括金属膜和第一无定形碳膜。金属膜利用含铜材料形成在基片上，第一无定形碳膜形成在金属膜下面。形成包括无定形碳膜的金属线路的方法可以大大地简化，并且可以防止或减少在金属线路中产生缺陷。

公开(公告)号：CN1743935B

公开(公告)日：2011-02-23

申请号：CN200510113265.3

申请日：2005-09-05

申请人： 三星电子株式会社

发明人： 边宰成 ,  姜镐民 ,  李仁成 ,  闵勋基 ,  洪性秀 ,  安基完

IPC分类号： G02F1/1368 ,  H01L29/786

CPC分类号： G02F1/1368 ,  G02F1/136213 ,  G02F1/136227 ,  G02F2001/13629 ,  H01L27/12 ,  H01L27/124

摘要： 一种显示器件的基板和液晶显示器件的制造方法，包括：在绝缘基板上形成开关元件和数据线，数据线电连接到开关元件的第一电极；形成具有部分暴露出开关元件的第二电极的接触孔和与数据线相邻的槽的绝缘层；形成像素电极，其通过绝缘层上的接触孔电连接到第二电极。在第一电极和第二电极之间形成有源图案。绝缘层如此形成：在具有开关元件和数据线的绝缘基板上淀积绝缘材料；除去对应于第二电极的一部分绝缘材料；除去与数据线相邻的绝缘材料和与数据线相邻的有源图案，使得数据线的宽度小于设置在数据线下方的有源图案剩余部分的宽度。通过同一蚀刻工艺除去对应于第二电极的绝缘材料、与数据线相邻的绝缘材料、和与数据线相邻的有源图案。