公开(公告)号：CN109979814B

公开(公告)日：2022-11-25

申请号：CN201811581609.7

申请日：2018-12-24

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金庆燮 ,  田炅烨 ,  韩涩琪

IPC: H01L21/308 ,  H01L21/331 ,  H01L29/739

Abstract: 可提供一种用于限定从基底突出的鳍的长度的方法，所述方法包括：使用多个硬掩模图案在设置在鳍之上的掩模材料层上形成多个第一切片壁；设置相对于多个第一切片壁自对准的多个填充掩模图案，以暴露位于多个第一切片壁中的一个或更多个成对的相邻第一切片壁之间的一个或更多个选定区域；以及设置包括一个或更多个开口并相对于多个第二切片壁自对准的修整掩模图案，以暴露多个第一切片壁中的一个或更多个。

公开(公告)号：CN109979814A

公开(公告)日：2019-07-05

申请号：CN201811581609.7

申请日：2018-12-24

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金庆燮 ,  田炅烨 ,  韩涩琪

IPC: H01L21/308 ,  H01L21/331 ,  H01L29/739

Abstract: 可提供一种用于限定从基底突出的鳍的长度的方法，所述方法包括：使用多个硬掩模图案在设置在鳍之上的掩模材料层上形成多个第一切片壁；设置相对于多个第一切片壁自对准的多个填充掩模图案，以暴露位于多个第一切片壁中的一个或更多个成对的相邻第一切片壁之间的一个或更多个选定区域；以及设置包括一个或更多个开口并相对于多个第二切片壁自对准的修整掩模图案，以暴露多个第一切片壁中的一个或更多个。