声波谐振器、包括其的声波谐振器滤波器及其制造方法

    公开(公告)号:CN110611493A

    公开(公告)日:2019-12-24

    申请号:CN201910122951.9

    申请日:2019-02-18

    Abstract: 本公开提供一种声波谐振器、包括其的声波谐振器滤波器及其制造方法,所述声波谐振器包括:基板;以及谐振部,包括顺序地层叠在所述基板上的第一电极、压电层和第二电极,并且被划分为中央部以及沿着所述中央部的外周设置的延伸部,其中,所述谐振部被构造为具有不对称的多边形平面,在所述延伸部中的所述压电层的下方设置有内置层,并且在所述延伸部中的所述压电层被构造为具有升高以符合所述内置层的形状的形状,并且所述内置层被构造为具有与所述延伸部的形状对应的不对称的多边形形状。

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