公开(公告)号：CN102586738A

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN201210008397.X

申请日：2012-01-09

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 崔永默 ,  康熙哲 ,  金綵雄 ,  金茂显 ,  李东规

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/12

CPC classification number: H01L51/0004 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  H01L51/56

Abstract: 一种沉积源和有机层沉积装置，其可以简单地用于制造大规模的大尺寸显示装置，并且可以防止或者基本防止沉积源喷嘴在沉积材料的沉积过程中被阻塞，从而提高制造产量和沉积效率。沉积源包括具有多个第一沉积源喷嘴的第一沉积源；以及具有多个第二沉积源喷嘴的第二沉积源，其中所述多个第一沉积源喷嘴和所述多个第二沉积源喷嘴朝向彼此倾斜。